LRVP + Root's V.P. ( Max.: 3 Torr )
Operating :
Max.5 TorrMin.60 Torr
助力型真空系統(tǒng) CMW-2
Max.1 TorrMin.10 Torr
助力型真空系統(tǒng) CMW-3
LRVP + Ejector + Root's V.P. + Root's V.P. ( Max.: 0.03 Torr )
Max.0.1 TorrMin.5 Torr
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