真空行業(yè)中廣泛使用的油封式機(jī)械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑閥泵
真空行業(yè)中廣泛使用的油封式機(jī)械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑閥泵?! ∪?、滑閥式真空泵 主要由泵體及內(nèi)部做偏心轉(zhuǎn)動(dòng)的滑閥部件、半圓形的滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等組成。 一、定片式真空泵 其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且使用壽命長(zhǎng),檢修容易,雙級(jí)泵的極限真空度可達(dá)10ndash,3Torr,但抽速較小,應(yīng)用很少 二、旋片式真空泵 分為單級(jí)旋片式真空泵(由定子、旋片、轉(zhuǎn)子等組成,只有一個(gè)工作室)和雙級(jí)旋...