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各種干式真空泵的極限壓力、特點(diǎn)見表3-114?！　∫话銓?duì)干式真空泵的要求為：①清潔；②安全；③耐磨；④造價(jià)低；⑤維修方便；⑥性能穩(wěn)定；⑦振動(dòng)小，噪聲低。干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中，2）半導(dǎo)體刻蝕工藝在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒，3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛猓瑒t用...

一般對(duì)干式真空泵的要求為：①清潔；②安全；③耐磨；④造價(jià)低；⑤維修方便；⑥性能穩(wěn)定；⑦振動(dòng)小，噪聲低只有這樣，干式真空泵才有使用和推廣的價(jià)值?！　∫话銓?duì)干式真空泵的要求為：①清潔；②安全；③耐磨；④造價(jià)低；⑤維修方便；⑥性能穩(wěn)定；⑦振動(dòng)小，噪聲低只有這樣，干式真空泵才有使用和推廣的價(jià)值。　　一般對(duì)干式真空泵的要求為：①清潔；②安全；③耐磨；④造價(jià)低；⑤維修方便；⑥性能穩(wěn)定；⑦振動(dòng)小，噪聲低只有這樣...

當(dāng)園地影響而導(dǎo)致循環(huán)用水壓力不夠時(shí)可以外加增長(zhǎng)泵對(duì)管道增長(zhǎng)，從而讓真空泵的供水量富足從理論上來講，真空便是不存在任何物質(zhì)的空間狀態(tài)。10、檢查真空泵的極限真空以壓縮式水銀真空計(jì)為準(zhǔn)，如計(jì)經(jīng)充分預(yù)抽效驗(yàn)，泵溫達(dá)到穩(wěn)定，泵口與計(jì)直接接通，運(yùn)轉(zhuǎn)30分鐘內(nèi)，將達(dá)到極限真空?！　《⑿秸婵毡谩　》譃閱渭?jí)旋片式真空泵（由定子、旋片、轉(zhuǎn)子等組成，只有一個(gè)工作室）和雙級(jí)旋片式真空泵（它由兩個(gè)工作室組成，兩室前...

萬得勒（廈門）機(jī)械設(shè)備有限公司廈門真空泵廈門液環(huán)真空泵廈門羅茨真空泵廈門油式螺桿真空泵廈門干式無油真空泵1、真空區(qū)域劃分真空區(qū)域壓強(qiáng)范圍托（Torr）帕（Pa）低真空760~10101325~1333中真空10~10-31333~1.33×10-1高真空10-3~10-81.33×10-1~10-6超高真空10-8~10-1210-6~10-10極高真空＜10-12＜10-102、長(zhǎng)度

為了有效解決真空泵汽蝕的問題，10機(jī)組在2010年A級(jí)檢修時(shí)，為兩臺(tái)真空泵分別加裝了大氣噴射器，投運(yùn)大氣噴射器運(yùn)行后，真空泵電流約為250A2.改造的提出某電廠10機(jī)組真空泵采用的是水環(huán)式真空泵，水環(huán)真空泵自身的特性決定了它易發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，并且效率較低，總效率一般低于30%，10機(jī)真空泵正常運(yùn)行時(shí)電流220A左右，投入大氣噴射器運(yùn)行時(shí)真空泵電流約250A，耗電量較高；而且電廠建設(shè)的設(shè)計(jì)部門在設(shè)計(jì)選...

供液管路──向液環(huán)真空泵提供工作液。8