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無油往復活塞式真空泵的構(gòu)造與往復式壓縮機相同，是由泵體、氣缸、氣閥組件、活塞、活塞桿、十字頭、連桿、曲軸等零件組成。6、盡量控制供應食品行業(yè)專用水環(huán)式真空泵的流量和真空度在標牌上注明的范圍內(nèi)，以保證供應食品行業(yè)專用水環(huán)式真空泵在效率點運轉(zhuǎn)，才能獲得的節(jié)能效果。10、供應食品行業(yè)專用水環(huán)式真空泵在工作個月內(nèi)，經(jīng)100小時更換潤滑油，以后每個500小時，換油一次。

水環(huán)式真空泵的分類1、單級單作用水環(huán)泵：單級是指只有一個葉輪，單作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣、排氣各進行一次。水環(huán)式真空泵的分類1、單級單作用水環(huán)泵：單級是指只有一個葉輪，單作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣、排氣各進行一次。這是長期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等，造成旋片式真空泵和定子之間磨損后的間隙增大。

國產(chǎn)XZ型直連旋片式真空泵技術(shù)性能見表3-633

按吸氣和排氣方式：水環(huán)式真空泵有軸向吸排氣和徑向吸排氣之分。如果需要實現(xiàn)較低的壓力，必須在上游連接附加的羅茨真空泵。同時，還需要注意無水

使用氣體噴射裝置的液環(huán)真空泵羅茨真空泵、氣體噴射裝置和液環(huán)真空泵組合實現(xiàn)0.2hPa的極限壓力如果需要實現(xiàn)較低的壓力，必須在上游連接附加的羅茨真空泵。使用氣體噴射裝置的液環(huán)真空泵羅茨真空泵、氣體噴射裝置和液環(huán)真空泵組合實現(xiàn)0.2hPa的極限壓力如果需要實現(xiàn)較低的壓力，必須在上游連接附加的羅茨真空泵。極限真空度要求在（1X10－2Pa～1X10－1Pa）之間可選用單級油封機械泵作為前級泵，極限真空度...

目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。水環(huán)真空泵是一種需要外接水潤滑循環(huán)的真空泵類產(chǎn)品，它是液環(huán)泵類的一種。干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中，2）半導體刻蝕工藝在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒，3）除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求...