根據(jù)真空系統(tǒng)的使用目的而決定所需的真空度和抽氣時間，然后選擇合適的真空泵。本節(jié)介紹不同真空范圍內(nèi)的抽氣時間計算。

1、大氣壓-低真空領域的抽氣時間計算

　　這里所指的低真空領域，是指真空度在100 KPa至0.2 KPa，低真空領域真空腔體和泵的連接管內(nèi)，氣體分子是黏性流時，抽氣時間可以通過初期壓強p1、到達壓強p2、抽氣速度S和容積V(含配管)來計算。

　　式中:

   　p1———初期壓強(大氣壓)[Pa]；

　　p2———到達壓強[Pa]；

　　t———抽氣時間[min]；

　　V———容積[L]；

　　Se———實際抽氣速度[L/min]。

　　考慮到導管和閥門的瓶頸效應，實際抽氣速度大致可以估算為理論抽氣速度的80%。

2、中真空領域的抽氣時間計算

　　這里所指的高真空至超高真空領域，是指真空度在200 Pa 至 0.2Pa之間，中真空領域?qū)Ч軆?nèi)的氣體分子，處于黏性流和分子流的中間狀態(tài)，不能單純地像低真空或下面第三章節(jié)講解的高真空那樣簡單地計算。一般情況下，通過兩種方式分別計算抽氣時間，然后取計算值較大的結(jié)果。

　　真空抽氣要考慮的要素：

　　(1)到達真空度；

　　(2)抽氣速度；

　　(3)導通率；

　　(4)實際抽氣速度；

　　(5)氣體放出率；

　　(6)漏率。

　　用真空泵對真空腔體抽氣時，最初腔體內(nèi)的壓強迅速降低，但是經(jīng)過一段時間后壓強下降變緩，并且趨于一個恒定值。導致這種現(xiàn)象的主要原因是材料的表面放氣。如圖1所示，壓強變化的不同領域，分別稱之為空間抽氣和表面抽氣。為了進一步提高真空度，通常采用的對策如下：

圖1  壓強和抽氣時間的關系

　　(1)選擇表面放出氣體少的材料；

　　(2)通過電解拋光等手段，減小材料表面積，繼而減少氣體分子的吸附