這里所指的低真空領(lǐng)域,是指真空度在100 KPa至0.2 KPa,低真空領(lǐng)域真空腔體和泵的連接管內(nèi),氣體分子是黏性流時,抽氣時間可以通過初期壓強p1、到達壓強p2、抽氣速度S和容積V(含配管)來計算。
式中 :
p1———初期壓強(大氣壓)[Pa];
p2———到達壓強[Pa];
t———抽氣時間[min];
V———容積[L];
Se———實際抽氣速度[L/min]。
考慮到導(dǎo)管和閥門的瓶頸效應(yīng),實際抽氣速度大致可以估算為理論抽氣速度的80%。