干式螺桿真空泵是技術(shù)含量非常高的科技產(chǎn)品，主要應(yīng)用于高純凈的真空工藝過程真空度極高，可適應(yīng)惡劣工況，具有抽取凝性、含顆粒物氣體的能力，特別適宜于潔凈環(huán)境，且易做防腐處理，特別適用于電子，化工，生物醫(yī)藥，金屬加工，食品加工等領(lǐng)域干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙。因此，泵工作時，相互之間無磨擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。而日前，一種全新型干式螺桿真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功，用國產(chǎn)車床替代價格昂貴的國外設(shè)備生產(chǎn)出螺桿轉(zhuǎn)子，不僅節(jié)能30%，還具有設(shè)備易損件少、真空度高、抽速大、使用壽命長等特點，可在冶金、電子、石油化工、航空航天等100多個領(lǐng)域替代進口產(chǎn)品?！　?。

這排除了油泄漏的可能性，過程氣體和環(huán)境之間也不存在任何交換M系列標準泵適合于Table4.19中顯示的所有應(yīng)用。此外，這些泵還可用于抽吸有毒氣體的工業(yè)/化學(xué)應(yīng)用以及超潔凈氣體應(yīng)用：例如，用于半導(dǎo)體行業(yè)中的CVD和PVD工藝或排空預(yù)真空鎖/傳輸室以及用于平面屏幕的生產(chǎn)。M系統(tǒng)可提供的大小范圍從250m3middot，h-1到6000m3middot，h-1。表4.19：OktaLine性能數(shù)據(jù)。

　?、陔p級旋片式真空泵的工作原理（圖3-23）　　雙級旋片式真空泵由兩個工作室組成。兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，工室是Ⅱ室的前級，工室是低真空級，Ⅱ室是較高真空級。被抽氣體由進氣管道進入Ⅱ室。當進入氣體壓力較高時，氣體經(jīng)Ⅱ室壓縮、壓強急增，被壓縮的氣體除經(jīng)通道2進人工室外，還能推開排氣閥1，從排氣閥1排出?！　‘斶M入Ⅱ室的氣體壓力較低時，雖經(jīng)Ⅱ室的壓縮也推不開排氣閥1，氣體全部經(jīng)通道2進入工室，經(jīng)I室的繼續(xù)壓縮，由排氣閥3排出。因而雙級旋片式真空泵比單級旋片式真空泵的極限真空高。。

　　該渦旋真空泵能夠給用戶解決真空系統(tǒng)的污染與振動等基礎(chǔ)、共性問題，并且使系統(tǒng)制造與運行成本降低因此在國外市場擴展迅速，僅日本一個公司產(chǎn)品在中國z*近3年間銷售額就增長了10倍。是一項不容忽視的技術(shù)與產(chǎn)品。　　本文總結(jié)了無油渦旋真空泵的技術(shù)發(fā)展與應(yīng)用，內(nèi)容包括從渦旋技術(shù)的發(fā)展到無油渦旋真空泵的工作原理、制造工藝、技術(shù)指標、特點、基本用途和實際應(yīng)用方法；對無油渦旋真空泵技術(shù)有一個系統(tǒng)的介紹。。

排氣管道也要與泵的公稱直徑相一致，否側(cè)公稱尺寸過小或氣體流量過大都會導(dǎo)致不可接受的背壓，這給真空泵帶來持續(xù)的機械壓力，并導(dǎo)致泵的磨損和故障增加另外，噪音水平也會顯著上升。（2）如果排氣管道向上延伸，那么其點處應(yīng)形成虹吸管一樣的形狀，這樣管道中上升的冷凝蒸汽就不會重新流回到泵體內(nèi)。虹吸管可以通過底部出口清空。另外，在排氣管道中，冷凝分離器可以安裝在泵噴頭上方20-50cm米處，這樣也可以對冷凝液進行收集。我們不建議將過濾器直接安裝在真空泵的排氣管道上，因為直接相連，泵體的熱量就會傳遞到冷凝器上，導(dǎo)致冷凝效果降低。4、充足的通風(fēng)由于旋片式真空泵進行壓縮作業(yè)，因此勢必會釋放出一定的熱量，所以一定要為其提供足夠的通風(fēng)，如有必要，另外安裝風(fēng)扇以保證其正常散熱。這尤其適用于安裝在設(shè)備或吸音罩內(nèi)的泵。如果通風(fēng)要求不能實現(xiàn)，那么設(shè)備可能會過熱并損壞泵。旋片真空泵生產(chǎn)過程中怎樣降低噪音？旋片真空泵的噪聲，通常指泵在溫度穩(wěn)定時，在極限真空下測得的噪聲級。它包括泵本身的噪聲和電機噪聲對用戶來說，還關(guān)心泵溫未穩(wěn)定時的起動階段的噪聲和不同入口壓強下運轉(zhuǎn)的噪聲，還有開氣鎮(zhèn)工作時的噪聲。

2、國產(chǎn)XZ型直連旋片式真空泵技術(shù)性能見表3-633、TRP型直連旋片式真空泵技術(shù)性能見表3-64。。

所列配件不一定建議用于或適用于本節(jié)所描述的泵的各個型號根據(jù)要求，可提供其他配件，如用于其他接口、電氣安全、連接或安全運送的配件。。

　　由于干式旋片泵在無油狀態(tài)下工作，所以旋片材料需具備自潤滑功能目前，國內(nèi)外一般采用碳素材料；同時也因其無油，為減少氣體的泄漏，該泵采用多個旋片結(jié)構(gòu)。。

③使用吸水性強的干燥劑，如五氧化二磷、三氧化二鋁、氯化鈣、分子篩等做成捕集阱吸收水蒸氣各種干燥劑性能見表9-6。④使用前級吸附阱，不僅能有效地吸附水蒸氣，還可阻擋機械泵油向高真空室的返流。工業(yè)上常用前兩種方法，實驗室及小型抽氣系統(tǒng)常用后兩種方法。。

9、當隔膜真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器儀器網(wǎng)-專業(yè)分析儀器服務(wù)平臺實驗室儀器設(shè)備交易網(wǎng)儀器行業(yè)專業(yè)網(wǎng)絡(luò)宣傳媒體。相關(guān)熱詞：等離子清洗機反應(yīng)釜旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀高精度溫濕度計露點儀高效液相色譜儀價格霉菌試驗箱跌落試驗臺離子色譜儀價格噪聲計高壓滅菌器集菌儀接地電阻測試儀型號柱溫箱旋渦混合儀電熱套場強儀萬能材料試驗機價格洗瓶機勻漿機耐候試驗箱熔融指數(shù)儀透射電子顯微鏡。真空泵的基本特點　　真空泵是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。　　一、渦旋式真空泵的基本特點　　渦旋式真空泵由渦旋式壓縮機演變而來，機構(gòu)原理最早由法國人Cruex于1905年發(fā)明，但受限于當時的工藝技術(shù)并未應(yīng)用于實際，直到上世紀80年代前后才應(yīng)用于真空技術(shù)領(lǐng)域。其結(jié)構(gòu)簡單，零部件少；間隙小、泄漏率小，具有較高的壓縮比，在較寬壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速；并且其壓縮腔內(nèi)容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動力矩變化小，功率變化??；振動噪聲小，無需冷卻水與潤滑油，維護簡單，可靠性高。　　由于渦旋式真空泵自身型線的特點，一般情況下，渦旋式真空泵泵的抽速不超過1000L/min；抽速大于4L/s的渦旋泵一般采用雙側(cè)渦旋結(jié)構(gòu)，而抽速小于4L/s的則多采用單側(cè)渦旋結(jié)構(gòu)，極限真空在1Pa左右?！　《?、渦旋式真空泵的工作原理　　渦旋真空泵的工作腔是由一對型線共軛的渦旋盤副嚙合安裝組成。渦旋盤就是在盤面開有一個或幾個漸開線螺旋槽的渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交錯組裝在一起，動、靜盤之間由防自轉(zhuǎn)機構(gòu)保證180°相位差，這樣組成的一對渦旋盤副構(gòu)成了無油渦旋真空泵的抽氣機構(gòu)。