一、定片式真空泵　　其結(jié)構(gòu)簡單且使用壽命長，檢修容易，雙級泵的極限真空度可達(dá)10ndash，3Torr，但抽速較小，應(yīng)用很少　　二、旋片式真空泵　　分為單級旋片式真空泵（由定子、旋片、轉(zhuǎn)子等組成，只有一個(gè)工作室）和雙級旋片式真空泵（它由兩個(gè)工作室組成，兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，Ⅰ室為Ⅱ室的前級）?！　∪⒒y式真空泵　　主要由泵體及內(nèi)部做偏心轉(zhuǎn)動的滑閥部件、半圓形的滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等組成。。

當(dāng)工作室的容積擴(kuò)大時(shí)抽（吸）入氣體；當(dāng)工作室的容積縮小時(shí)．被抽（吸）入的氣體出于被壓縮f而排出，如此往復(fù)運(yùn)動．使泵內(nèi)產(chǎn)生真空，達(dá)到輸送的目的。無油往復(fù)活塞式真空泵的構(gòu)造和原理與往復(fù)式壓縮機(jī)相同，但它們的目的不同。壓縮機(jī)是為了提高氣體的壓強(qiáng)，而w型往復(fù)活塞式真窄泵則是為了降低入口氣體的壓強(qiáng)，從而得到盡可能高的真空度。無油往復(fù)活塞式真空泵的構(gòu)造與往復(fù)式壓縮機(jī)相同，是由泵體、氣缸、氣閥組件、活塞、活塞桿、十字頭、連桿、曲軸等零件組成。。

另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用　　5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求?！　?、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化（詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作?！　?、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外?！　?、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，能達(dá)到1mmHg。

1．各級噴嘴的工作點(diǎn)和A/m、Fc/A和G/A比參數(shù)的確定具有兩級擴(kuò)散噴嘴、兩級噴射噴嘴的四級油擴(kuò)散噴射泵，在它的工作壓力（10^-2Pa～10Pa）范圍內(nèi)，各級噴嘴出口平面上的蒸氣流壓力值按表4-12選取　　　　油擴(kuò)散噴射泵在不同噴嘴出口平面上的蒸氣射流壓力下，比參數(shù)A/m、F。/A和G/A的變化關(guān)系如圖4-23、圖4-24和圖4-25的曲線所示。圖中，A-噴嘴出口平面上的環(huán)形抽氣面積[cm^2]，F(xiàn)。mdash，mdash，噴嘴的喉部面積[cm2]，G-噴嘴在單位時(shí)間內(nèi)的蒸氣噴射量[g/s]，m-泵能抽除的z*大的空氣的質(zhì)量流量[g/s]?！　　　∮筛骷墖娮斓墓ぷ鼽c(diǎn)和圖4-23、圖4-24和圖4-25的曲線可以求出各級噴嘴的A/Fc及G值。　　　　2.擴(kuò)散噴嘴的直徑、角度、導(dǎo)致管直徑及噴嘴間距的確定　　　　根據(jù)空氣動力學(xué)理論，擴(kuò)散噴嘴在單位時(shí)間內(nèi)噴出的蒸汽量G為　　　　350　　　　L2mdash，mdash，第二級導(dǎo)流管入口平面與該級噴嘴喉部中心平面間的距離[cm]；　　　　Pmdash，mdash，油鍋中的油蒸汽壓力[Pa]?！　　　?．噴射噴嘴喉部直徑的確定。

這排除了油泄漏的可能性，過程氣體和環(huán)境之間也不存在任何交換M系列標(biāo)準(zhǔn)泵適合于Table4.19中顯示的所有應(yīng)用。此外，這些泵還可用于抽吸有毒氣體的工業(yè)/化學(xué)應(yīng)用以及超潔凈氣體應(yīng)用：例如，用于半導(dǎo)體行業(yè)中的CVD和PVD工藝或排空預(yù)真空鎖/傳輸室以及用于平面屏幕的生產(chǎn)。M系統(tǒng)可提供的大小范圍從250m3middot，h-1到6000m3middot，h-1。表4.19：OktaLine性能數(shù)據(jù)。

三、關(guān)于微型真空泵與氣體采樣泵的區(qū)別1、通常我們把能產(chǎn)生負(fù)壓的小體積泵都稱作微型真空泵，但在產(chǎn)品選型時(shí)卻要嚴(yán)格區(qū)分2、真正意義上的微型真空泵是可以長時(shí)間對密閉容器抽真空的泵，它可以帶動較大的負(fù)載。而氣體取樣泵，工作時(shí)泵腔內(nèi)外的壓差較小，所以它帶的負(fù)載是很小的。就是因?yàn)閷лd能力的要求不同，造成微型真空泵與氣體采樣泵所選用的零配件有很大的差別。3、微型真空泵對隔膜和電機(jī)都有很高的要求。對這兩個(gè)主要零件而言，疲勞強(qiáng)度、可靠性、壽命等技術(shù)指標(biāo)都是要求在帶負(fù)載的條件達(dá)標(biāo)，而不同于氣體采樣泵只要求在極輕載荷下達(dá)標(biāo)（試驗(yàn)證明，負(fù)載稍大氣體采樣泵就容易損壞）。因此，兩種微型泵的成本差別很大。4、綜上所述，如果把微型真空泵用于氣體采樣，勢必得到很高的可靠性、更長的壽命，但成本偏高；如果把氣體采樣泵用在負(fù)載稍大的場合，可靠性壽命就、大打折扣，甚至無法正常工作，雖然它在成本上有較大優(yōu)勢。選型時(shí)z*好向技術(shù)部門咨詢清楚，以便兼顧成本和性能。有些氣體采樣泵也能達(dá)到較好的真空度和流量指標(biāo)。但是，達(dá)到這個(gè)技術(shù)指標(biāo)和能在這個(gè)指標(biāo)下長時(shí)間可靠工作是兩回事。

接觸型的泵轉(zhuǎn)速不能太高，但z*大壓縮比大，尤其在大氣壓附近，因返流變小使后者的壓縮比為前者的5倍～8倍另外，干式真空泵的轉(zhuǎn)速越高，其壓縮比越大，因此非接觸型干式真空泵的轉(zhuǎn)速多為3000r/min?！　「鞣N干式真空泵的極限壓力、特點(diǎn)見表3-114。　　一般對干式真空泵的要求為：①清潔；②安全；③耐磨；④造價(jià)低；⑤維修方便；⑥性能穩(wěn)定；⑦振動小，噪聲低。只有這樣，干式真空泵才有使用和推廣的價(jià)值。在清潔的要求方面，對于那些用油潤滑的干式真空泵都有一個(gè)潛在的油蒸氣的污染源存在，要采取一定措施加以解決。。

）4、在連接管路中，用戶可在隔膜真空泵進(jìn)氣口上方安裝閥門及真空計(jì)，隨時(shí)可檢查隔膜真空泵的極限壓力5、按電動機(jī)標(biāo)牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。6、隔膜真空泵通電試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，須取下電機(jī)皮帶，確認(rèn)隔膜真空泵轉(zhuǎn)向符合規(guī)定方向方可投入使用，以防隔膜真空泵反轉(zhuǎn)噴油。（轉(zhuǎn)向按防護(hù)罩指示方向）7、對于有冷卻水的隔膜真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。8、如隔膜真空泵口安裝電磁閥時(shí)，閥與隔膜真空泵應(yīng)同時(shí)動作。9、當(dāng)隔膜真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時(shí)，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。儀器網(wǎng)-專業(yè)分析儀器服務(wù)平臺實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備交易網(wǎng)儀器行業(yè)專業(yè)網(wǎng)絡(luò)宣傳媒體。相關(guān)熱詞：等離子清洗機(jī)反應(yīng)釜旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀高精度溫濕度計(jì)露點(diǎn)儀高效液相色譜儀價(jià)格霉菌試驗(yàn)箱跌落試驗(yàn)臺離子色譜儀價(jià)格噪聲計(jì)高壓滅菌器集菌儀接地電阻測試儀型號柱溫箱旋渦混合儀電熱套場強(qiáng)儀萬能材料試驗(yàn)機(jī)價(jià)格洗瓶機(jī)勻漿機(jī)耐候試驗(yàn)箱熔融指數(shù)儀透射電子顯微鏡。真空泵的基本特點(diǎn)　　真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置?！　∫弧u旋式真空泵的基本特點(diǎn)　　渦旋式真空泵由渦旋式壓縮機(jī)演變而來，機(jī)構(gòu)原理最早由法國人Cruex于1905年發(fā)明，但受限于當(dāng)時(shí)的工藝技術(shù)并未應(yīng)用于實(shí)際，直到上世紀(jì)80年代前后才應(yīng)用于真空技術(shù)領(lǐng)域。

　　因?yàn)樵谛秸婵毡瞄_啟時(shí)，泵的出口管路內(nèi)還沒水，所以還不存在管路阻力和提升高度阻力，在泵啟動后，泵揚(yáng)程很低，流量很大，此時(shí)泵電機(jī)（軸功率）輸出很大（據(jù)泵性能曲線），很容易超載，就會使泵的電機(jī)及線路損壞，所以啟動時(shí)我們需要關(guān)閉出口閥，才能保證泵正常運(yùn)行　　1、K形動力密封正常運(yùn)行時(shí)不會有滴漏。　　2、有冷卻水裝置的，要檢查水流是否正常?！　≌婵毡猛１茫骸　?、旋片式真空泵停泵應(yīng)先關(guān)閉出口閥，以防逆止閥失靈致使出水管壓力水倒灌進(jìn)泵內(nèi)，引起葉輪反轉(zhuǎn)，造成泵損壞?！　?、停泵時(shí)如果慣性小，即斷電后泵很快就停下來，說明泵內(nèi)有摩卡或偏心現(xiàn)象。。

③使用吸水性強(qiáng)的干燥劑，如五氧化二磷、三氧化二鋁、氯化鈣、分子篩等做成捕集阱吸收水蒸氣各種干燥劑性能見表9-6。④使用前級吸附阱，不僅能有效地吸附水蒸氣，還可阻擋機(jī)械泵油向高真空室的返流。工業(yè)上常用前兩種方法，實(shí)驗(yàn)室及小型抽氣系統(tǒng)常用后兩種方法。。