2X雙級(jí)旋片式真空泵SZ系列水環(huán)式真空泵SK系列水環(huán)式真空泵2SK系列兩級(jí)水環(huán)真空泵2XZ旋片式真空泵SKA系列真空泵。

下面，賢集網(wǎng)小編就介紹一下真空泵油和使用注意事項(xiàng)真空泵油一種專門為真空設(shè)備上的真空泵而研制的潤(rùn)滑油，分礦物油和合成油兩種。真空泵油需要較強(qiáng)的抗乳化能力，要根據(jù)設(shè)備制造商用油規(guī)定，選用適當(dāng)使用性能和粘度等級(jí)的真空泵油。真空泵油具有氧化穩(wěn)定性：長(zhǎng)期在高溫條件下與空氣、樹脂、化學(xué)原料等直接接觸亦不易變質(zhì)，減少有害漆膜和油垢的形成，提供較長(zhǎng)的換油周期。防銹防腐蝕性：能在金屬表面形成非常有效的防腐膜，從而可以全面防止因吸入腐蝕性氣體和水分而導(dǎo)致的系統(tǒng)腐蝕。能迅速將油液中夾帶的水分分離出來，達(dá)到所需的真空度。具較底的蒸汽壓，防止油品從泵的內(nèi)腔向真空系統(tǒng)返流擴(kuò)散造成返油。從而保證有足夠的極限真空。真空泵油的使用注意事項(xiàng)1、要根據(jù)設(shè)備制造商用油規(guī)定，選用適當(dāng)使用性能和粘度等級(jí)的真空泵油。2、為保證真空系統(tǒng)的正常工作，在使用及儲(chǔ)運(yùn)過程中要防止污染物如機(jī)械雜質(zhì)及水的進(jìn)入，以免影響真空油的使用壽命和系統(tǒng)的正常工作。3、殘油往往含有大量的污染物和老化產(chǎn)物，會(huì)嚴(yán)重地影響新油的使用質(zhì)量和壽命，因此在換油時(shí)，油箱及油路要清洗干凈。

二、渦旋式真空泵的工作原理渦旋式真空泵工作原理渦旋真空泵的工作腔是由一對(duì)型線共軛的渦旋盤副嚙合安裝組成渦旋盤就是在盤面開有一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋槽的渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤相互交錯(cuò)組裝在一起，動(dòng)、靜盤之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180°相位差，這樣組成的一對(duì)渦旋盤副構(gòu)成了無油渦旋真空泵的抽氣機(jī)構(gòu)。靜渦旋盤與動(dòng)渦旋盤彼此之間在幾條直線（在橫截面上是幾個(gè)點(diǎn)）上接觸形成幾對(duì)月牙形封閉腔，動(dòng)渦旋盤在曲軸的驅(qū)動(dòng)下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運(yùn)動(dòng)，接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。在電機(jī)的帶動(dòng)下，曲軸每轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實(shí)現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)，對(duì)被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送。通過動(dòng)圖我們可以更直觀的了解渦旋式真空泵轉(zhuǎn)子的運(yùn)行模式。渦旋式真空泵運(yùn)行圖渦旋式真空泵轉(zhuǎn)子動(dòng)態(tài)運(yùn)行圖三、渦旋式真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)渦旋式真空泵的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，主要由5個(gè)部件組成①動(dòng)靜渦旋盤副與基座；②曲軸；③密封件；④防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；⑤電機(jī)渦旋真空泵結(jié)構(gòu)渦旋式真空泵簡(jiǎn)易結(jié)構(gòu)圖渦旋式真空泵的主要運(yùn)動(dòng)件只有動(dòng)渦旋盤，動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小，所以其具備了結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、運(yùn)行平穩(wěn)，幾乎無磨損，消耗功率小等特點(diǎn)，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。渦旋式真空泵抽速較小，同時(shí)也不適宜用于有毒、易燃易爆氣體、腐蝕性氣體及藥品、溶劑、粉狀體等介質(zhì)工況環(huán)境。因此目前渦旋式真空泵較多應(yīng)用于分析儀器、半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線、液晶顯示器生產(chǎn)線和科研設(shè)備上。因其可以直接在大氣壓下啟動(dòng)，很多時(shí)候作為分子泵與小型低溫泵的前級(jí)泵出現(xiàn)。。

2.羅茨泵基本參數(shù)應(yīng)符合表3-81規(guī)定。

該廠生產(chǎn)的羅茨真空泵機(jī)組包括7個(gè)系列：①羅茨泵一滑閥泵機(jī)組，②氣冷式羅茨泵一羅茨泵直排機(jī)組，③氣冷式羅茨泵一滑閥泵機(jī)組，④氣冷式羅茨泵一往復(fù)泵機(jī)組，⑤羅茨泵一水環(huán)泵機(jī)組，⑥羅茨一水環(huán)一大氣泵機(jī)組，⑦羅茨泵一油環(huán)泵機(jī)組圖9-25為JZPS300-21P機(jī)組抽速曲線。表9-15～表9-21為羅茨泵機(jī)組型號(hào)及技術(shù)參數(shù)。

真空行業(yè)中廣泛使用的油封式機(jī)械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑閥泵因此，它已在國(guó)民經(jīng)濟(jì)的很多部門，例如電真空、電子、輕化工、鋼鐵、有色冶煉等工業(yè)部門中發(fā)揮著越來越大的作用。由于油封式真空泵均裝有氣鎮(zhèn)裝置，故也可以抽除潮濕氣體。但現(xiàn)在還不適于抽除含氧過高、有爆炸性、對(duì)黑色金屬有腐蝕性，對(duì)泵密封油起化學(xué)作用、及含有顆粒灰塵的氣體。　　　　目前，國(guó)內(nèi)的許多研究單位和生產(chǎn)廠家正在設(shè)計(jì)和生產(chǎn)出抽除水蒸氣和耐腐蝕的油封真空泵系列。隨著新技術(shù)、新材料的發(fā)展和應(yīng)用，性能更好的、能滿足各種工業(yè)需要的、適應(yīng)能力強(qiáng)的各種油封式真空泵必將生產(chǎn)出來。。

2、國(guó)產(chǎn)XZ型直連旋片式真空泵技術(shù)性能見表3-633、TRP型直連旋片式真空泵技術(shù)性能見表3-64。。

目前，國(guó)內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵，所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡。5、分子泵分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是我國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場(chǎng)合的需要。

　　由于干式旋片泵在無油狀態(tài)下工作，所以旋片材料需具備自潤(rùn)滑功能目前，國(guó)內(nèi)外一般采用碳素材料；同時(shí)也因其無油，為減少氣體的泄漏，該泵采用多個(gè)旋片結(jié)構(gòu)。。

一般而言，泵的安全操作需要額外的措施和/或部件，如：?jiǎn)?dòng)和關(guān)閉程序、特殊的前級(jí)泵、回火防止器和壓力傳感器整個(gè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和操作必須符合相應(yīng)的防爆法規(guī)。。