真空泵機(jī)組渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:①半導(dǎo)體行業(yè):薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備，②科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、真空泵機(jī)組極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器，③機(jī)械設(shè)備行業(yè):材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備、真空過(guò)濾設(shè)備、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備，④醫(yī)療設(shè)備行業(yè):牙科儀器、透析機(jī)，生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備，⑤包裝行業(yè):食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備，⑥真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無(wú)油真空系統(tǒng)的配置。它的主要運(yùn)動(dòng)件只有一個(gè)動(dòng)渦旋盤，因而動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、整機(jī)尺寸小，動(dòng)、靜渦旋盤之間、動(dòng)盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無(wú)摩擦，所以幾乎無(wú)磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小，工作可靠性高、壽命長(zhǎng)，易于維修，維修費(fèi)用低，容積效率高。采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。。

　　二、旋片式真空泵　　分為單級(jí)旋片式真空泵（由定子、旋片、轉(zhuǎn)子等組成，只有一個(gè)工作室）和雙級(jí)旋片式真空泵（它由兩個(gè)工作室組成，兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，Ⅰ室為Ⅱ室的前級(jí)）　　三、滑閥式真空泵　　主要由泵體及內(nèi)部做偏心轉(zhuǎn)動(dòng)的滑閥部件、半圓形的滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等組成。。

　　激光雕刻機(jī)之使用水環(huán)真空泵雕刻機(jī)的保養(yǎng)方法：　　　　1）水箱水位確定在上水閥能夠流出水即可；工作8個(gè)小時(shí)內(nèi)就需要注一次水（工作中水蒸發(fā)很快，水位會(huì)逐漸下降）；水位低于上水閥就必須馬上注水；嚴(yán)謹(jǐn)真空泵缺水運(yùn)轉(zhuǎn)，缺水運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)熱會(huì)造成機(jī)封漏水；　　　　2）過(guò)濾罐正確安裝，吸附管口接到進(jìn)氣口處，用卡扣固定緊、防止漏氣；　　　　3）接線蓋打開，三相電分別引到U1/V1/W1三個(gè)接線柱上；　　　　4）電機(jī)進(jìn)水閥打開，5分鐘后，保證電機(jī)泵體內(nèi)水注滿后在通電試運(yùn)行；　　　　5）開動(dòng)電機(jī)，及時(shí)檢查電機(jī)正反轉(zhuǎn)，反轉(zhuǎn)時(shí)把U1和V1處上的電源線交換一下就可以了；然后打開雕刻機(jī)吸附閥門、檢驗(yàn)一下泵的吸力是否正常；　　　　6）真空吸附設(shè)備產(chǎn)品注意不要有粉塵落入真空系統(tǒng)，防治堵塞損壞真空泵，真空泵工作一周時(shí)間需要清洗過(guò)濾罐內(nèi)濾網(wǎng)；冬季保持室溫0℃以上，以防止真空泵內(nèi)循環(huán)水結(jié)冰而損壞真空泵；可以使用防凍液進(jìn)行防凍處理；　　　　7）水箱內(nèi)水溫不要高于70deg，，在高溫下長(zhǎng)時(shí)間工作會(huì)使氣量降低吸力下降，將會(huì)使密封圈過(guò)早老化，而導(dǎo)致真空泵漏水；　　　　8）水箱要經(jīng)常清洗，每周必須清洗一次。

所需工作壓力將決定是否可將齒輪室連接至羅茨泵的前級(jí)真空側(cè)沖洗裝置沖洗裝置可用于在吸入室有沉積物形成的過(guò)程。該裝置的設(shè)計(jì)可根據(jù)具體要求與客戶進(jìn)行單獨(dú)協(xié)調(diào)。標(biāo)準(zhǔn)泵的沖洗裝置要求使用密封氣體，防止沖洗液體達(dá)到軸承或齒輪室。表面保護(hù)如果要泵送的介質(zhì)是腐蝕性的，可為與產(chǎn)品接觸的部件提供耐用的表面保護(hù)。等離子聚合物薄膜層系統(tǒng)包括一個(gè)粘接劑層、一個(gè)防腐蝕保護(hù)層和一個(gè)非粘性涂層。層的厚度小于1mm。根據(jù)要求，吸入室可被磷酸化、使用氮排空以及進(jìn)行真空密封，以便提供短期表面保護(hù)，如用于倉(cāng)儲(chǔ)和運(yùn)輸。密封件羅茨真空泵出廠配置FKM制成的O型圈。對(duì)于特殊的應(yīng)用，所有的泵都可配置具體的O型圈或相應(yīng)應(yīng)用要求的密封件。。

油蒸氣撞擊被抽氣體分子，使被抽氣體分子沿蒸氣流束的方向高速運(yùn)動(dòng)氣體分子碰到泵壁又反射回來(lái)，再受到蒸氣流的碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過(guò)幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級(jí)噴嘴噴出的蒸氣流進(jìn)行多級(jí)壓縮，z*后由前級(jí)真空泵抽走。而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到油鍋中重新被加熱，如此循環(huán)工作。。

也采用從吸氣口注入真空油的方式，清潔的真空油將清洗潤(rùn)滑泵內(nèi)零件，使之運(yùn)轉(zhuǎn)更輕快7、安裝完畢以后，須將泵的周圍加以清理。泵和電動(dòng)機(jī)的外部須擦拭干凈。影響旋片式真空泵可靠性和壽命的最主要因素由于旋片式真空泵為機(jī)油潤(rùn)滑和密封式結(jié)構(gòu)，因此影響該泵可靠性和壽命的最主要因素是泵內(nèi)蒸汽、化學(xué)物質(zhì)的侵蝕以及潤(rùn)滑劑的老化等。1、抽蒸汽（1）大多數(shù)的旋片式真空泵廠商會(huì)對(duì)設(shè)備的蒸汽耐受性為多少hPa或蒸汽的容量為多少克/小時(shí)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。這些信息指的是水蒸氣。當(dāng)氣鎮(zhèn)閥開啟且真空泵處于工作溫度時(shí)，如果進(jìn)氣壓力低于給出值，那么泵出的水蒸氣就無(wú)法冷凝。在干燥過(guò)程中，泵的大小并非是由泵速按照蒸汽量的大小而決定，而是由每單位時(shí)間收集的水量決定。因此，當(dāng)務(wù)之急是使用封閉的真空側(cè)閥和開啟的氣鎮(zhèn)閥對(duì)泵進(jìn)行預(yù)熱大約15至30分鐘，以達(dá)到其的工作溫度（油）（大約為70-80°C）。只有在正確的工作溫度下才可經(jīng)由開啟的氣鎮(zhèn)閥將蒸汽泵出。延遲開啟的高真空閥很容易被集成到控制系統(tǒng)中。

原因分析（1）電機(jī)功率大，工作電流大，發(fā)熱量大（2）風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低，風(fēng)壓，風(fēng)量小。（3）風(fēng)扇葉片數(shù)較少，產(chǎn)生的風(fēng)量小。（4）電動(dòng)機(jī)附有灰塵、油污，降低了散熱能力。（5）真空泵電機(jī)所在母線電壓為380V，由于電纜壓降及負(fù)荷分配不均，電機(jī)實(shí)際所加電壓只有365V，電壓偏低造成運(yùn)行電流大。對(duì)策電機(jī)功率、轉(zhuǎn)速是和真空泵相匹配的，不能更改。風(fēng)扇安裝于電機(jī)主軸上，電機(jī)轉(zhuǎn)速?zèng)Q定了風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，也不可更換。增加風(fēng)扇葉片數(shù)量雖能起到一定作用，但葉片數(shù)量增加后，動(dòng)平衡不容易找，如找正不好，會(huì)引起電機(jī)振動(dòng)增加。（1）將原風(fēng)扇罩加長(zhǎng)40cm，在里面加裝一個(gè)與風(fēng)扇罩同直徑軸流風(fēng)機(jī)，軸流風(fēng)機(jī)電機(jī)功率850W，轉(zhuǎn)速1489r/min，電壓380V。原風(fēng)扇繼續(xù)保留。軸流風(fēng)機(jī)另設(shè)一路電源控制，軸流風(fēng)機(jī)與主電機(jī)不設(shè)連鎖。

將泵蓋推壓至泵體上，注意定位銷應(yīng)與泵體和圓盤的定位銷孔對(duì)齊用螺栓將泵蓋緊固在泵體上；3、泵裝好后，用手轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)風(fēng)扇，泵必須旋轉(zhuǎn)順暢。如泵旋轉(zhuǎn)不順暢或泵旋轉(zhuǎn)過(guò)程中出現(xiàn)摩擦聲，應(yīng)拆開泵蓋檢查葉輪間隙情況等，重新調(diào)整。水環(huán)式真空泵振動(dòng)現(xiàn)象該如何處理？一、加裝彈簧隔振器1、真空泵彈簧隔振器樣式的選擇一般選用自立式彈簧減振器，其優(yōu)點(diǎn)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、造價(jià)較低，彈簧裸露在外，便于隨時(shí)觀察彈簧狀態(tài)，對(duì)于需更換的彈簧提前處置，以避免彈簧銹蝕過(guò)度損壞時(shí)，造成真空泵突然沉降造成設(shè)備損害及管路扯斷等現(xiàn)像。2、彈簧的選擇一般減振器廠家選用彈簧需滿足以下要求：彈簧直徑應(yīng)不少于其在額定負(fù)載下高度的0.8倍，彈簧須具備一定的額外行程，渦街流量計(jì)至少等于額定靜撓度的50%，彈簧的水平剛度至少是堅(jiān)直鋼度的100%，以保證減振器的穩(wěn)定性。3、彈簧減振器撓度的選擇通常減振器廠商所提拱的彈簧減振器額定撓度（彈簧額定壓縮量）一般為25MM（自頻率值約3-4HZ），此撓度可應(yīng)于650轉(zhuǎn)每分鐘的真空泵的隔振。當(dāng)轉(zhuǎn)速低于650時(shí)，建議使用40以下?lián)隙戎畯椈筛粽衿?。二、加裝橡膠隔振器橡膠隔振器之選擇：材質(zhì)一般為氯丁膠（C.R），天然膠（N.R），一般選用壓縮型橡膠減振器，對(duì)于重量較輕的真空泵，可選用剪切型橡膠減振器，相較彈簧減振器，橡膠減振器隔振性能相對(duì)相差些。三、加裝隋性基座為滿足更加嚴(yán)格的振動(dòng)制標(biāo)準(zhǔn)，加裝隋性基座時(shí)，配合使用彈簧隔振器，無(wú)疑是的選擇。水環(huán)式真空泵汽蝕現(xiàn)象的消除方法水環(huán)式真空泵在汽蝕狀態(tài)下長(zhǎng)時(shí)間工作，會(huì)造成泵的噪聲、振動(dòng)變大，甚至對(duì)泵造成損壞，因此應(yīng)盡量避免水環(huán)式真空泵在汽蝕狀態(tài)下工作，可通過(guò)以下方法消除。1、降低水的溫度由于真空泵冷卻水溫升高會(huì)導(dǎo)致其抽氣能嚴(yán)重降低，真空泵密封水溫度必須低于排汽壓力對(duì)應(yīng)的飽和溫度，否則就會(huì)使真空惡化，還會(huì)導(dǎo)致真空泵葉輪的汽蝕損壞。

降低機(jī)械磨損，提高運(yùn)行可靠性在延長(zhǎng)泵的使用壽命的同時(shí)也能有效的保護(hù)系統(tǒng)元件.）　　2、排氣濾芯（兼顧排氣阻力，容塵量，油氣分離性能三者的立要求達(dá)到最優(yōu)的平衡。不同的內(nèi)外位置要用不同的材料以達(dá)到不同的分離目的）　　3、油濾芯（用于真空泵的潤(rùn)滑油過(guò)濾，延長(zhǎng)油的使用期主流式濾清器，安裝在油路中）　　使用與維護(hù)方法：　　在清掃更換方面，有很多人不得要領(lǐng)，往往是白白花費(fèi)了力氣，卻沒(méi)收到比較好的效果?！　?、松開旋鈕式螺栓將過(guò)濾器外殼與頭部分離。注意不要將橡膠密封圈和纖維質(zhì)墊圈丟失?！　?，小心地取下彈簧和毛氈墊片然后再取出紙質(zhì)過(guò)芯?！　?、用毛刷清除過(guò)濾芯折縫里的灰塵和異物，然后用手將其平放輕拍使剩余的灰塵落下，擦去外殼內(nèi)壁的灰塵及纖維墊上的灰塵?！　?、按拆卸時(shí)相反的順序?qū)⒁亚鍜吒蓛艋蛐碌倪^(guò)濾芯裝回去。。

為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過(guò)程中必不可少的主力泵種。近年來(lái)，伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭，同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下，我國(guó)真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。。