在一個泵中，兩個同步反向旋轉的轉子（1）在單個殼體中非接觸旋轉（圖4.9）該轉子具有8字形結構，且相互之間由窄間隙分離開來。有四到六對轉子位于轉子軸上。每個轉子腔通過帶有噴氣口的定子盤與其他轉子分離開來。輸送的氣體從入口（3）被抽到出口（4）、一個軸由電機（5）驅動。另一軸通過齒輪箱中的正時齒輪（6）同步進行。潤滑僅限于齒輪箱和封裝的低壓和高壓軸承（9），其與吸入室（7）通過軸封（8）密封開來。風冷式多級羅茨泵的工作原理由于吸入室中無摩擦，羅茨真空泵可在高達6000rpm的高轉速下操作。轉子質量圍繞軸線對稱分布還產生完美的動態(tài)平衡，這意味著，盡管其轉速很高，泵的運行卻極為安靜。。

泵系統(tǒng)包括一個殼體（1）、一個偏心地安裝的轉子。（2）、在離心力和彈力作用下徑向移動的葉片。（3）以及入口和出口。（4）入口閥（如配置）被設計為真空安全閥，該閥在操作過程中始終處于打開狀態(tài)。（5）工作室位于殼體內，并受到定子、轉子和葉片的限制。偏心安裝的轉子和葉片將工作室分為具有可變容積的兩個獨立艙。當轉子轉動時，氣體流入擴大的吸入室直至其被第二個葉片封住。封閉氣體然后進行壓縮，直到出口閥沖破大氣壓力而開啟。出口閥是油封的。當閥打開時，少量的油進入吸入室，不僅能夠對其進行潤滑，而且能夠將葉片與殼體（定子）密封開來。

表9-22給出了機組型號及技術參數(shù)圖9-27為抽速曲線，圖9-28及圖9-29為外形尺寸。。

來源：德國萊寶真空泵德國普旭真空泵進口真空泵真空泵油真空連接件上海振暢機電科技有限公司新買來真空泵機組在使用之前只有引出電纜，安裝的時候還需要自己另外再接電纜，然而，接電纜的時候一定要注意方法正確，不然對真空泵機組的使用有很大影響，那么，為了更好的為大家服務，接下來我們來為大家講解一下真空泵機組的接線方式：真空泵機組在進行接線的時候，要注意必須要用滌綸絕緣膠帶包扎時一定要壓住圈的一半，包扎8-12層，包好后，再用塑料膠帶包兩層以作強度；關于真空泵機組在進行接線的時候，要處于它的電纜銅芯剝出約30—35mm長，用砂布將銅絲擦干凈，發(fā)亮為宜，同樣將外接三芯電纜的銅絲剝出30—35mm，用砂布擦干凈真空泵機組的接線，會把三芯電纜與外接電纜剝出的銅絲部分對插起來，然后用一根細銅絲按圖示樣綁扎緊，剩余部分剪去，用剪刀按平，防止扎手；就此進行接線的時候，應該把真空泵三個線頭分別用焊錫焊牢，要求焊頭表面光滑，無毛刺及假焊現(xiàn)象，如果沒有焊牢或不光滑，應對真空泵重新焊接，直到達到要求為止。真空泵機組的接線，必須用塑料膠帶把三跟線包在一起，包扎兩層，層超過每根導線絕緣層末端50mm以上，第二層超過層末端50mm；包扎好之后要取一盆涼水將包扎好的線頭安全浸泡在水中，12小時后，用500V兆歐表測量絕緣不能低于50兆歐，否則應重新包扎直到達到要求為止。真空泵機組的接地線也須按潛水電纜接線工藝要求包扎；真空泵機組的接好線之后應該在下井的同時不斷的搖測絕緣電阻觀測其變化以防井壁掛破電纜絕緣皮，若是發(fā)現(xiàn)絕緣程度急速下降到了0.5兆歐以下的時候必須要把機組提上來去檢測原因。。

用螺栓將泵蓋緊固在泵體上；3、泵裝好后，用手轉動電機風扇，泵必須旋轉順暢如泵旋轉不順暢或泵旋轉過程中出現(xiàn)摩擦聲，應拆開泵蓋檢查葉輪間隙情況等，重新調整。水環(huán)式真空泵振動現(xiàn)象該如何處理？一、加裝彈簧隔振器1、真空泵彈簧隔振器樣式的選擇一般選用自立式彈簧減振器，其優(yōu)點結構簡單、造價較低，彈簧裸露在外，便于隨時觀察彈簧狀態(tài)，對于需更換的彈簧提前處置，以避免彈簧銹蝕過度損壞時，造成真空泵突然沉降造成設備損害及管路扯斷等現(xiàn)像。2、彈簧的選擇一般減振器廠家選用彈簧需滿足以下要求：彈簧直徑應不少于其在額定負載下高度的0.8倍，彈簧須具備一定的額外行程，渦街流量計至少等于額定靜撓度的50%，彈簧的水平剛度至少是堅直鋼度的100%，以保證減振器的穩(wěn)定性。3、彈簧減振器撓度的選擇通常減振器廠商所提拱的彈簧減振器額定撓度（彈簧額定壓縮量）一般為25MM（自頻率值約3-4HZ），此撓度可應于650轉每分鐘的真空泵的隔振。當轉速低于650時，建議使用40以下?lián)隙戎畯椈筛粽衿?。二、加裝橡膠隔振器橡膠隔振器之選擇：材質一般為氯丁膠（C.R），天然膠（N.R），一般選用壓縮型橡膠減振器，對于重量較輕的真空泵，可選用剪切型橡膠減振器，相較彈簧減振器，橡膠減振器隔振性能相對相差些。三、加裝隋性基座為滿足更加嚴格的振動制標準，加裝隋性基座時，配合使用彈簧隔振器，無疑是的選擇。水環(huán)式真空泵汽蝕現(xiàn)象的消除方法水環(huán)式真空泵在汽蝕狀態(tài)下長時間工作，會造成泵的噪聲、振動變大，甚至對泵造成損壞，因此應盡量避免水環(huán)式真空泵在汽蝕狀態(tài)下工作，可通過以下方法消除。1、降低水的溫度由于真空泵冷卻水溫升高會導致其抽氣能嚴重降低，真空泵密封水溫度必須低于排汽壓力對應的飽和溫度，否則就會使真空惡化，還會導致真空泵葉輪的汽蝕損壞。因此降低水的溫度達防止汽蝕的效果。

處理之道：查看空隙是不是過大，替換新的零部件。

由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓力高于蒸氣流中該氣體的分壓力，所以被抽氣體分子就不斷地擴散到蒸氣流中油蒸氣撞擊被抽氣體分子，使被抽氣體分子沿蒸氣流束的方向高速運動。氣體分子碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流的碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣流進行多級壓縮，z*后由前級真空泵抽走。而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到油鍋中重新被加熱，如此循環(huán)工作。。

3、水環(huán)真空泵開泵（1）確認泵電機已送電，具備開機條件，聯(lián)系相關崗位操作員，確認泵不轉，盤車均勻靈活，打開泵入口閥打開1/3閥位，啟動電動機，啟動電機后立即將泵體注水線上的閥門，密封液閥打開，使得泵體與汽水分離器內的水達到平衡狀態(tài)，若出現(xiàn)下列情況立即停泵:異常泄漏，異常振動，異常聲音，異味，火花，煙氣，電流持續(xù)不下（2）調節(jié)泵進出口閥，確認泵入口真空度在0。08-0。02Mpa之間，出口流量正常，電動機電流在正常范圍內，調整泵流量，聯(lián)系相關崗位操作員，確認泵進出口壓力穩(wěn)定。注意:水環(huán)真空泵嚴禁無液體空轉，以免損壞零件，水環(huán)真空泵啟動后，在出口閥未開的情況下，嚴禁長時間運行。3）、啟動后確認和調整:確認泵流量，壓力正常且穩(wěn)定，確認泵的振動正常，確認軸承箱外部溫度不大于70℃，確認無泄漏，確認冷卻水溫度，壓力正常，確認電動機的電流正常，確認電動機振動聲音正常。二、水環(huán)真空泵停泵操作規(guī)程1、停泵通知相關崗位和班長，關閉泵體注水線上的閥門，關閉密封液閥，停電機，關泵出入口閥，確認泵出入口閥全關。2、隔離，排空關閉泵入口閥，關閉泵出口閥，關閉汽水分離器補水閥，確認泵出入口閥關閉。打開汽水分離器排空閥，打開泵體放空閥，確認泵內介質排干凈。3、交付檢修確認泵出入口閥關閉，確認泵已與系統(tǒng)完全隔離，，確認泵已排干凈，排凝閥打開放空閥打開，確認電動機斷電，泵附近準備好以下設施:消防蒸汽帶和滅火器。三、水環(huán)真空泵切換泵操作規(guī)程通知相關崗位和班長，按照水環(huán)真空泵的開泵操作啟動備用泵，在打開備用泵的進口閥同時，關小運行泵的進口閥，保持聯(lián)系與相關內操崗位的聯(lián)系，確保流量與壓力不要有大的波動，待運行泵進口閥關小到1/3以后，且流量穩(wěn)定后按照水環(huán)真空泵停泵操作，停用運行泵，調解備用泵流量。

即使排氣處的微真空或氣鎮(zhèn)的使用足以置換甚至連續(xù)的氦氣體吞吐量，如在蒸發(fā)器低溫恒溫器中，幾乎與氮或空氣具有相同的性能數(shù)據在載氣禁止使用的應用中（如在閉合環(huán)路應用中），泵出口處必須有真空。。

其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作對于普通的無油真空系統(tǒng)來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統(tǒng)顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中，2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒，3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求，4）在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵，5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。近年來，干式機械真空泵得到迅速的發(fā)展，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發(fā)研制工作，如東北大學、沈陽真空技術研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級壓縮比）。不同類型的干式泵具有各自的特點。