泵在正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，油箱內(nèi)油面保持在油位線上，不得超出也采用從吸氣口注入真空油的方式，清潔的真空油將清洗潤(rùn)滑泵內(nèi)零件，使之運(yùn)轉(zhuǎn)更輕快。7、安裝完畢以后，須將泵的周圍加以清理。泵和電動(dòng)機(jī)的外部須擦拭干凈。影響旋片式真空泵可靠性和壽命的最主要因素由于旋片式真空泵為機(jī)油潤(rùn)滑和密封式結(jié)構(gòu)，因此影響該泵可靠性和壽命的最主要因素是泵內(nèi)蒸汽、化學(xué)物質(zhì)的侵蝕以及潤(rùn)滑劑的老化等。1、抽蒸汽（1）大多數(shù)的旋片式真空泵廠商會(huì)對(duì)設(shè)備的蒸汽耐受性為多少hPa或蒸汽的容量為多少克/小時(shí)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。這些信息指的是水蒸氣。當(dāng)氣鎮(zhèn)閥開啟且真空泵處于工作溫度時(shí)，如果進(jìn)氣壓力低于給出值，那么泵出的水蒸氣就無(wú)法冷凝。在干燥過(guò)程中，泵的大小并非是由泵速按照蒸汽量的大小而決定，而是由每單位時(shí)間收集的水量決定。因此，當(dāng)務(wù)之急是使用封閉的真空側(cè)閥和開啟的氣鎮(zhèn)閥對(duì)泵進(jìn)行預(yù)熱大約15至30分鐘，以達(dá)到其的工作溫度（油）（大約為70-80°C）。只有在正確的工作溫度下才可經(jīng)由開啟的氣鎮(zhèn)閥將蒸汽泵出。

防銹防腐蝕性：能在金屬表面形成非常有效的防腐膜，從而可以全面防止因吸入腐蝕性氣體和水分而導(dǎo)致的系統(tǒng)腐蝕能迅速將油液中夾帶的水分分離出來(lái)，達(dá)到所需的真空度。具較底的蒸汽壓，防止油品從泵的內(nèi)腔向真空系統(tǒng)返流擴(kuò)散造成返油。從而保證有足夠的極限真空。真空泵油的使用注意事項(xiàng)1、要根據(jù)設(shè)備制造商用油規(guī)定，選用適當(dāng)使用性能和粘度等級(jí)的真空泵油。2、為保證真空系統(tǒng)的正常工作，在使用及儲(chǔ)運(yùn)過(guò)程中要防止污染物如機(jī)械雜質(zhì)及水的進(jìn)入，以免影響真空油的使用壽命和系統(tǒng)的正常工作。3、殘油往往含有大量的污染物和老化產(chǎn)物，會(huì)嚴(yán)重地影響新油的使用質(zhì)量和壽命，因此在換油時(shí)，油箱及油路要清洗干凈。將新油從泵的吸氣口倒入，并用手緩慢地轉(zhuǎn)動(dòng)泵軸，清掃泵腔并將殘油排盡，須重復(fù)清洗劑幾次。4、不同牌號(hào)品種的真空泵油的品質(zhì)不同，如果混用，可能引起油品質(zhì)量的變化，因此不同類型的真空泵油不能混用。5、在用于溶劑、水蒸氣和有腐蝕性氣體時(shí)，使用后應(yīng)勤檢查，當(dāng)油品發(fā)生乳化或稀釋到影響泵的密封性能時(shí)，就應(yīng)該換油。6、真空泵在使用的時(shí)候，在真空泵中易形成冷凝水，水和油混在一起容易使油乳化變質(zhì)，對(duì)真空泵產(chǎn)生損傷。

　　　?、鄢鰪S檢驗(yàn)：　　　　檢驗(yàn)項(xiàng)目見[4.技術(shù)要求⑤、⑦、⑧、⑨、⑩和⑩]各條款其中第⑤條按ZBJ78013的規(guī)定進(jìn)行檢測(cè)，其余各條用目測(cè)方法檢查?！　　　、苄褪綑z驗(yàn)：　　　　檢驗(yàn)項(xiàng)目除按出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目檢查外，還應(yīng)檢查第4中的第⑥條，檢測(cè)方法按ZBJ78013的規(guī)定?！　　　、萦邢铝星闆r之一時(shí)，應(yīng)進(jìn)行型式檢驗(yàn)：　　　　a.新產(chǎn)品試制定型鑒定，　　　　b.正式生產(chǎn)后，當(dāng)結(jié)構(gòu)、材料、工藝有較大改變，可能影響產(chǎn)品性能時(shí)，　　　　c.正常生產(chǎn)并形成一定批量時(shí)，每年抽檢1臺(tái)～2臺(tái)，　　　　d.產(chǎn)品長(zhǎng)期停產(chǎn)后，恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)，　　　　e.國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督機(jī)構(gòu)提出進(jìn)行型式檢驗(yàn)時(shí)。。

　　　　　　三、泵與汽水分離器的管路安裝：　　　　　　泵的排氣管應(yīng)與汽水分離器進(jìn)撖這相連，當(dāng)作壓縮機(jī)使用時(shí)，汽水分離器的排氣管應(yīng)和使用壓縮空氣的系統(tǒng)相連接抽真空時(shí)如不設(shè)排氣管路，氣體則由分離器上的排氣口直接排至大氣。如需排至室外，則可將分離器的排氣口通過(guò)管路引到室外。在泵的進(jìn)氣管路上應(yīng)安裝閥門進(jìn)行控制，以便在停車時(shí)，防止泵內(nèi)工作液因系統(tǒng)的真空吸力，回流到系統(tǒng)。當(dāng)作為壓縮機(jī)使用時(shí)，若排氣管路存在壓力，那么在汽水分離器的排氣管路上也應(yīng)安裝閥門?！　　　　　∷摹⒄{(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)：　　　　　　水環(huán)真空泵是通過(guò)裝在進(jìn)氣管在進(jìn)氣管路上的閥門來(lái)調(diào)整真空度和氣量。當(dāng)作為壓縮機(jī)使用時(shí)，可用安裝在排氣管路上的閥門調(diào)節(jié)壓氣裝置的壓力。當(dāng)被壓縮氣體因?yàn)槠涫褂脳l件不允許排出時(shí)，應(yīng)在進(jìn)氣管和排氣管之間裝有導(dǎo)氣管，其直徑與閥門直徑相同，以便在z*大限度內(nèi)調(diào)節(jié)氣量與壓力。。

潤(rùn)滑僅限于齒輪箱和封裝的低壓和高壓軸承（9），其與吸入室（7）通過(guò)軸封（8）密封開來(lái)風(fēng)冷式多級(jí)羅茨泵的工作原理由于吸入室中無(wú)摩擦，羅茨真空泵可在高達(dá)6000rpm的高轉(zhuǎn)速下操作。轉(zhuǎn)子質(zhì)量圍繞軸線對(duì)稱分布還產(chǎn)生完美的動(dòng)態(tài)平衡，這意味著，盡管其轉(zhuǎn)速很高，泵的運(yùn)行卻極為安靜。。

立式多級(jí)離心泵工作中的旋片式真空泵，假如操作不妥，往往會(huì)呈現(xiàn)毛病，比如旋片式真空泵真空度下降，噴油、冒煙、油封處漏油，噪音等狀況，和泵內(nèi)的真空泵油乳化等表象假如呈現(xiàn)這種狀況，首要不必驚懼，等停機(jī)今后依據(jù)毛病逐個(gè)掃除。這兒介紹幾個(gè)掃除毛病的辦法。一、旋片式真空泵冒煙和噴油：指旋片式真空泵在工作中排氣口冒煙或許噴油。1、冒煙，假如是泵剛剛開始工作有冒煙的表象，歸于正常，假如長(zhǎng)時(shí)間在冒煙即是不正常了。處理之道：冒煙闡明泵的進(jìn)氣口外，包含管道、閥門、容器有修補(bǔ)的狀況。檢漏今后處理了，冒煙會(huì)結(jié)束。渦街流量計(jì)2、噴油，闡明進(jìn)氣口外有許多的漏點(diǎn)，甚至是進(jìn)氣口暴露大氣。處理之道：封住泵的進(jìn)氣口使泵工作，假如不噴油的話，闡明有漏點(diǎn)，排氣閥片損壞，查看排氣閥片是不是損壞，替換壞的排氣閥片。二、旋片式真空泵噪音：這兒指泵的噪音。1、敲缸，泵工作時(shí)宣布不規(guī)則的響聲，似金屬擊打金屬的聲響。

腐蝕性氣體版本的多級(jí)羅茨泵的優(yōu)勢(shì)包括：■■通過(guò)調(diào)節(jié)溫度、凈化氣體吞吐量和轉(zhuǎn)速對(duì)相關(guān)真空工藝進(jìn)行理想的調(diào)節(jié)■■在氣體置換區(qū)域沒有潤(rùn)滑劑■■無(wú)工作液處理問題■■高可靠性和系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間■■長(zhǎng)維修間隔、低能耗和冷卻水與沖洗氣體介質(zhì)消耗低，因此具有較低的擁有成本■■占用空間小，在潔凈室和泵級(jí)別中具有良好的集成性和節(jié)約性■■豐富的控制選項(xiàng)，本地或遠(yuǎn)程控制，集成在一個(gè)監(jiān)控網(wǎng)絡(luò)中■■z*小泄漏率■■在腐蝕性工藝中是渦輪分子泵和羅茨泵理想的前級(jí)泵■■認(rèn)證符合UL/CSA和SEMIS2要求灰塵和粒子流程泵接觸從過(guò)程室和前真空管道被輸送到泵中的粒子此外，泵本身內(nèi)副產(chǎn)物反應(yīng)的冷凝可能產(chǎn)生的粒子和沉淀物必須也能容忍。理想情況下，通過(guò)使用可調(diào)節(jié)加熱和控制溫度模式，可避免粒子和沉積物的形成。通過(guò)在垂直方面抽吸，任何從泵級(jí)中掉出的粒子保留在下一級(jí)的排污口通道中。在接下來(lái)的排氣和隨后的抽空之后，粒子將通過(guò)置換氣體被排入到緊接著的下一級(jí)中。此排除機(jī)構(gòu)將生成的98%以上的粒子從入口排出到出口。這意味著，可在泵出口處提供一個(gè)中央排氣凈化系統(tǒng)，它不僅捕捉和處理過(guò)程化學(xué)物質(zhì)，而且捕捉和處理粒子。只要在適合于腐蝕性、毒性和可冷凝介質(zhì)的真空解決方案中是可能的，就可避免進(jìn)氣側(cè)上的高保養(yǎng)陷阱。腐蝕性氣體P和H系列的多級(jí)羅茨泵專為屏幕屏幕半導(dǎo)體、太陽(yáng)能和涂料行業(yè)中腐蝕性氣體過(guò)程而設(shè)計(jì)。金屬轉(zhuǎn)子和定子以及泵的彈性體材料均是由高度耐腐蝕材料制成的。泄漏率高氣密性以及防止氣體通過(guò)止回閥從周圍空氣或排氣凈化系統(tǒng)或洗滌器回?cái)U(kuò)的性能使得多級(jí)羅茨泵成為腐蝕性氣體應(yīng)用的完美解決方案。

　　2、主泵允許的z*大排氣壓力下，前級(jí)泵必須將主泵所排出的z*大氣體量及時(shí)排走，前級(jí)泵的抽速須按照該泵在實(shí)際入口壓力時(shí)的實(shí)際抽速　　3、兼作預(yù)抽泵的前級(jí)泵要滿足預(yù)抽時(shí)間和預(yù)抽真空度的要求。。

每種液體　　　　在某一溫度下都有對(duì)應(yīng)的飽和蒸汽壓當(dāng)吸入?yún)^(qū)域的絕對(duì)壓力越接近液體的飽和蒸汽壓時(shí)，液體越接近沸騰狀態(tài)。這時(shí)，在吸入?yún)^(qū)域的工作液表面會(huì)產(chǎn)生大量的氣泡，由于液體在工作腔內(nèi)產(chǎn)生的工作液蒸汽會(huì)占據(jù)部分工作腔的空間，泵對(duì)外的吸氣能力會(huì)有所下降。當(dāng)吸入?yún)^(qū)域的壓力達(dá)到工作液的飽和蒸汽壓時(shí)，可以認(rèn)為工作腔內(nèi)全部充滿了工作液蒸汽，此時(shí)泵對(duì)外的吸氣能力接近于零，而此時(shí)泵的汽蝕現(xiàn)象也z*為嚴(yán)重?！　　　∪绻ぷ饕菏撬?，水溫越高，泵的抽氣性能下降越多。水環(huán)真空泵的水溫對(duì)其性能影響較大，而水環(huán)真空泵的性能曲線均為在15℃的水溫條件下測(cè)得，因此在實(shí)際選用水環(huán)真空泵時(shí)應(yīng)對(duì)水環(huán)真空泵的抽氣速率進(jìn)行修正?！　　　《?、水環(huán)真空泵汽蝕現(xiàn)象的消除方法及預(yù)防　　　　水環(huán)真空泵在汽蝕狀態(tài)下長(zhǎng)時(shí)間工作，會(huì)造成泵的噪聲、振動(dòng)變大，甚至對(duì)泵造成損壞，因此應(yīng)盡量避免水環(huán)真空泵在汽蝕狀態(tài)下工作，可通過(guò)以下方法：　　　?。?）降低水的溫度　　　　由于真空泵冷卻水溫升高會(huì)導(dǎo)致其抽氣能嚴(yán)重降低，真空泵密封水溫度必須低于排汽壓力對(duì)應(yīng)的飽和溫度，否則就會(huì)使真空惡化，還會(huì)導(dǎo)致真空泵葉輪的汽蝕損壞。因此降低水的溫度達(dá)防止汽蝕的效果?！　　　。?）提高選型的準(zhǔn)確性，使真空泵運(yùn)行在安全區(qū)域　　　　在選型階段，選擇真空泵吸入壓力及水的溫度時(shí)應(yīng)盡量避開真空泵容易發(fā)生汽蝕的壓力范圍，即避免真空泵在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運(yùn)行，盡量減輕汽蝕的產(chǎn)生?！　　　。?）安裝汽蝕保護(hù)管　　　　安裝有汽蝕保護(hù)管的真空泵，汽蝕過(guò)程中產(chǎn)生的氣泡在壓縮過(guò)程時(shí)破裂，從外部引入壓力較高的不凝氣體能夠及時(shí)補(bǔ)充因氣泡破裂而出現(xiàn)的空間，這樣可以大大減輕汽蝕對(duì)泵的損害并降低汽蝕引起的噪聲和振動(dòng)?！　　　∧承┍镁哂衅g保護(hù)接口，如在極限壓力下工作，開啟汽蝕保護(hù)管接口（或與汽水分離器連接）可在z*大限度保證吸氣效果的情況下消除汽蝕聲，并對(duì)泵進(jìn)行保護(hù)。

無(wú)油渦旋真空泵的渦旋盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤組成的一對(duì)渦旋盤付構(gòu)成了無(wú)油渦旋真空泵的基本抽氣單元。動(dòng)渦旋盤由偏心軸驅(qū)動(dòng)與靜渦旋盤做相對(duì)擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)?！　∨c其他種類的無(wú)油真空泵相比無(wú)油渦旋真空泵具有下述特點(diǎn)：　?、贌o(wú)油，無(wú)摩擦---非接觸，無(wú)磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；　?、诔闅饬看?--雙渦旋盤結(jié)構(gòu)與單級(jí)相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；　?、鄢闅庑矢?--帶有3-4個(gè)抽氣單元，壓差??；大氣與真空之間由0型圈密封，泄漏低；　?、芊墙佑|，良好平衡，力矩影響小，噪音低，振動(dòng)??；　　⑤結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，相同尺寸下，運(yùn)動(dòng)半徑小，運(yùn)行平穩(wěn)；　?、摅w積小，維修方便，維護(hù)費(fèi)用低；　　　?、卟捎每諝饫鋮s，無(wú)需水冷。　　該渦旋真空泵主要應(yīng)用于下述領(lǐng)域：　?、侔雽?dǎo)體行業(yè)mdash，mdash，薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；　?、诳茖W(xué)儀器行業(yè)mdash，mdash，同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器；　?、蹤C(jī)械設(shè)備行業(yè)mdash，mdash，材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)、材料提純?cè)O(shè)備；　?、芑瘜W(xué)工業(yè)；　?、葆t(yī)療設(shè)備mdash，mdash，牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備；　?、薨b行業(yè)mdash，mdash，食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備?！　≡摐u旋真空泵能夠給用戶解決真空系統(tǒng)的污染與振動(dòng)等基礎(chǔ)、共性問題，并且使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低。因此在國(guó)外市場(chǎng)擴(kuò)展迅速，僅日本一個(gè)公司產(chǎn)品在中國(guó)z*近3年間銷售額就增長(zhǎng)了10倍。是一項(xiàng)不容忽視的技術(shù)與產(chǎn)品?！　”疚目偨Y(jié)了無(wú)油渦旋真空泵的技術(shù)發(fā)展與應(yīng)用，內(nèi)容包括從渦旋技術(shù)的發(fā)展到無(wú)油渦旋真空泵的工作原理、制造工藝、技術(shù)指標(biāo)、特點(diǎn)、基本用途和實(shí)際應(yīng)用方法；對(duì)無(wú)油渦旋真空泵技術(shù)有一個(gè)系統(tǒng)的介紹。。