此外，這些泵還可用于抽吸有毒氣體的工業(yè)/化學(xué)應(yīng)用以及超潔凈氣體應(yīng)用：例如，用于半導(dǎo)體行業(yè)中的CVD和PVD工藝或排空預(yù)真空鎖/傳輸室以及用于平面屏幕的生產(chǎn)M系統(tǒng)可提供的大小范圍從250m3middot，h-1到6000m3middot，h-1。表4.19：OktaLine性能數(shù)據(jù)。

一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤組成的一對(duì)渦旋盤付構(gòu)成了無油渦旋真空泵的基本抽氣單元?jiǎng)訙u旋盤由偏心軸驅(qū)動(dòng)與靜渦旋盤做相對(duì)擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。　　與其他種類的無油真空泵相比無油渦旋真空泵具有下述特點(diǎn)：　?、贌o油，無摩擦---非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；　?、诔闅饬看?--雙渦旋盤結(jié)構(gòu)與單級(jí)相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；　　③抽氣效率高---帶有3-4個(gè)抽氣單元，壓差??；大氣與真空之間由0型圈密封，泄漏低；　　④非接觸，良好平衡，力矩影響小，噪音低，振動(dòng)小；　?、萁Y(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，相同尺寸下，運(yùn)動(dòng)半徑小，運(yùn)行平穩(wěn)；　?、摅w積小，維修方便，維護(hù)費(fèi)用低；　　　?、卟捎每諝饫鋮s，無需水冷?！　≡摐u旋真空泵主要應(yīng)用于下述領(lǐng)域：　　①半導(dǎo)體行業(yè)mdash，mdash，薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；　　②科學(xué)儀器行業(yè)mdash，mdash，同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器；　?、蹤C(jī)械設(shè)備行業(yè)mdash，mdash，材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)、材料提純?cè)O(shè)備；　?、芑瘜W(xué)工業(yè)；　?、葆t(yī)療設(shè)備mdash，mdash，牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備；　　⑥包裝行業(yè)mdash，mdash，食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備?！　≡摐u旋真空泵能夠給用戶解決真空系統(tǒng)的污染與振動(dòng)等基礎(chǔ)、共性問題，并且使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低。因此在國(guó)外市場(chǎng)擴(kuò)展迅速，僅日本一個(gè)公司產(chǎn)品在中國(guó)z*近3年間銷售額就增長(zhǎng)了10倍。是一項(xiàng)不容忽視的技術(shù)與產(chǎn)品?！　”疚目偨Y(jié)了無油渦旋真空泵的技術(shù)發(fā)展與應(yīng)用，內(nèi)容包括從渦旋技術(shù)的發(fā)展到無油渦旋真空泵的工作原理、制造工藝、技術(shù)指標(biāo)、特點(diǎn)、基本用途和實(shí)際應(yīng)用方法；對(duì)無油渦旋真空泵技術(shù)有一個(gè)系統(tǒng)的介紹。。

該曲線清楚地表明，這種泵組合的抽速上升了8倍，其極限壓力相對(duì)于前級(jí)泵下降了15倍。

金屬轉(zhuǎn)子和定子以及泵的彈性體材料均是由高度耐腐蝕材料制成的泄漏率高氣密性以及防止氣體通過止回閥從周圍空氣或排氣凈化系統(tǒng)或洗滌器回?cái)U(kuò)的性能使得多級(jí)羅茨泵成為腐蝕性氣體應(yīng)用的完美解決方案。封裝電機(jī)也是防漏概念的一部分。。

它具有結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、抽氣能力大、抽氣時(shí)間短等特點(diǎn)廣泛應(yīng)用于真空冶金、真空脫氣、真空鍍膜以及空間模擬、低密度風(fēng)洞等裝置中，以抽除非腐蝕性氣體，還可用于醫(yī)藥、食品、電子、化工等工業(yè)的蒸餾、蒸發(fā)、干燥等生產(chǎn)過程。其型號(hào)及技術(shù)性能見表9-31。。

真空泵機(jī)組的接線，會(huì)把三芯電纜與外接電纜剝出的銅絲部分對(duì)插起來，然后用一根細(xì)銅絲按圖示樣綁扎緊，剩余部分剪去，用剪刀按平，防止扎手；就此進(jìn)行接線的時(shí)候，應(yīng)該把真空泵三個(gè)線頭分別用焊錫焊牢，要求焊頭表面光滑，無毛刺及假焊現(xiàn)象，如果沒有焊牢或不光滑，應(yīng)對(duì)真空泵重新焊接，直到達(dá)到要求為止真空泵機(jī)組的接線，必須用塑料膠帶把三跟線包在一起，包扎兩層，層超過每根導(dǎo)線絕緣層末端50mm以上，第二層超過層末端50mm；包扎好之后要取一盆涼水將包扎好的線頭安全浸泡在水中，12小時(shí)后，用500V兆歐表測(cè)量絕緣不能低于50兆歐，否則應(yīng)重新包扎直到達(dá)到要求為止。真空泵機(jī)組的接地線也須按潛水電纜接線工藝要求包扎；真空泵機(jī)組的接好線之后應(yīng)該在下井的同時(shí)不斷的搖測(cè)絕緣電阻觀測(cè)其變化以防井壁掛破電纜絕緣皮，若是發(fā)現(xiàn)絕緣程度急速下降到了0.5兆歐以下的時(shí)候必須要把機(jī)組提上來去檢測(cè)原因。。

它們的應(yīng)用包括：■■萃取和壓縮低溫恒溫器上的氦■■萃取和壓縮SF6■■各種各樣工藝中各種氣體和蒸汽的清潔回收，如蒸餾■■抽空分子篩等■■在閉環(huán)系統(tǒng)中抽空和循環(huán)有毒物質(zhì)■■抽空體積非常大的容器使用氣冷羅茨泵的羅茨泵站可配置各種不同的入口特征構(gòu)造在極端情況下，在1000hPa這10-3hPa的整個(gè)壓力范圍內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)基本恒定的抽速，且各個(gè)泵級(jí)可按2:1至3:1的比率來選擇。然而，要實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)，羅茨真空泵必須配備相應(yīng)強(qiáng)大的電機(jī)，并且必須提供向大氣側(cè)的出口閥，而不是溢流閥。。

水環(huán)式真空泵機(jī)械密封的更換拆裝步驟：　　1、拆掉水環(huán)式真空泵兩端機(jī)械密封的冷卻水管，　　2、拆卸動(dòng)力端皮帶輪（更換非動(dòng)力端機(jī)械密封時(shí)無這一步），　　3、分別把動(dòng)力端和非動(dòng)力端的機(jī)械密封拆下掛在軸上，注意輕拆輕放，這一步尤其重要，避免了損壞完好端的機(jī)械密封（注意：如果是單獨(dú)檢修兩端的軸承，這一步也是必須的），　　4、拆下要更換機(jī)械密封端的軸承壓蓋，卸下軸承鎖緊背帽，　　5、用頂絲把軸承座連同軸承一起頂出拆下。（此時(shí)需要用葫蘆從拆裝端吊住軸，方便軸承的頂出），　　6、把舊機(jī)械密封從軸上取下，　　7、把檢查完好后的新機(jī)械密封小心地套在軸上，　　8、清洗檢查軸承是否完好、檢查軸承間隙是否合適，　　9、把軸承、軸承座回裝軸上，并為軸承加上潤(rùn)滑油脂，上緊內(nèi)圈鎖緊背帽，裝上軸承壓蓋（這一步也需要葫蘆吊軸配合），　　10、試盤車看看是否輕松，特別注意此盤車過程中別損壞機(jī)械密封，　　11、分別把兩端的機(jī)械密封從軸上回裝至密封箱里面，　　12、回裝皮帶輪（檢修非動(dòng)力端時(shí)無這一步），　　13、回裝冷凝水管，通進(jìn)冷凝水后盤車試漏，　　14、檢修完畢，工完場(chǎng)清。。

在檢修過程中，水環(huán)真空泵故障的診斷是一個(gè)關(guān)鍵的環(huán)節(jié)，今天小編為大家專門介紹水環(huán)真空泵無液體提供，供給液體不足或壓力不足的問題及解決方法，希望大家可以有針對(duì)性地進(jìn)行水環(huán)真空泵故障的診斷，盡快解決問題1.真空泵沒有注水或沒有適當(dāng)排氣，解決方法：檢查真空泵殼和入口管線是否全部注滿了液體。2.速度太低，解決方法：檢查電機(jī)的接線是否正確，電壓是否正常或者透平的蒸汽壓力是否正常。3.系統(tǒng)水頭太高，解決方法：檢查系統(tǒng)的水頭（特別是磨擦損失）。4.吸程太高，解決方法：檢查現(xiàn)有的凈壓頭（入口管線太小或太長(zhǎng)會(huì)造成很大的磨擦損失）。5.葉輪或管線受堵，解決方法：檢查有無障礙物。6.轉(zhuǎn)動(dòng)方向不對(duì)，解決方法：檢查轉(zhuǎn)動(dòng)方向。工作原理：1.s*先應(yīng)該充分了解被抽氣體成分。如氣體中含不含可凝蒸氣、有無顆?；覊m、有無腐蝕性、爆炸性等。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。如抽取氣體還有腐蝕性，則須選用不銹鋼材質(zhì)。

該泵不適用于抽除對(duì)黑色金屬有腐蝕的、對(duì)泵油起化學(xué)反應(yīng)的，含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過高、有爆炸性的有毒氣體更不能作為傳輸泵（即從一個(gè)容器抽送到另一個(gè)容器）使用。2、XD型旋片式真空泵XD型旋片式真空泵為單級(jí)聯(lián)軸式結(jié)構(gòu)，它的工作性能是高轉(zhuǎn)速，低噪聲，抽速快，效率高，泵只需空氣冷卻，有防返油結(jié)構(gòu)，防止泵油返入被抽系統(tǒng)，泵內(nèi)裝有排氣過濾器，有效消除油霧，運(yùn)轉(zhuǎn)平衡，振動(dòng)小，可以在任意壓強(qiáng)下工作。該泵的技術(shù)參數(shù)2×10-2，已普遍適用食品真空包裝，醫(yī)藥、印刷機(jī)械紙張輸送，玻璃工業(yè)輸送，真空夾具，干燥等單位的使用。3、2XZ型旋片式真空泵（1）2XZ型旋片式真空泵是用來對(duì)密封容器抽除氣體的基本設(shè)備之一。它可單獨(dú)作用，也可作為增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵等的前級(jí)泵，維持泵，鈦泵的預(yù)抽泵用?？捎糜陔娬婵掌骷圃?、保溫瓶制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷設(shè)備修理以及儀器儀表配套等。因?yàn)樗哂畜w積小、質(zhì)量輕、操聲低等優(yōu)點(diǎn)，所以更適宜于實(shí)驗(yàn)室里使用。（2）在環(huán)境溫度540范圍內(nèi)，進(jìn)氣口壓強(qiáng)小于1.3X103帕的條件下允許長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，被抽氣體相對(duì)濕度大于90%時(shí)，應(yīng)開氣鎮(zhèn)閥。（3）進(jìn)氣口連續(xù)暢通大氣運(yùn)轉(zhuǎn)不得超過一分種。（4）不適用于抽除對(duì)金屬有腐蝕的，對(duì)泵油起化學(xué)反應(yīng)的，含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過高的，有爆炸性的，有毒的氣體。