另一軸通過(guò)齒輪箱中的正時(shí)齒輪（6）同步進(jìn)行潤(rùn)滑僅限于齒輪箱和封裝的低壓和高壓軸承（9），其與吸入室（7）通過(guò)軸封（8）密封開(kāi)來(lái)。風(fēng)冷式多級(jí)羅茨泵的工作原理由于吸入室中無(wú)摩擦，羅茨真空泵可在高達(dá)6000rpm的高轉(zhuǎn)速下操作。轉(zhuǎn)子質(zhì)量圍繞軸線對(duì)稱(chēng)分布還產(chǎn)生完美的動(dòng)態(tài)平衡，這意味著，盡管其轉(zhuǎn)速很高，泵的運(yùn)行卻極為安靜。。

無(wú)油往復(fù)活塞式真空泵的構(gòu)造和原理與往復(fù)式壓縮機(jī)相同，但它們的目的不同壓縮機(jī)是為了提高氣體的壓強(qiáng)，而w型往復(fù)活塞式真窄泵則是為了降低入口氣體的壓強(qiáng)，從而得到盡可能高的真空度。無(wú)油往復(fù)活塞式真空泵的構(gòu)造與往復(fù)式壓縮機(jī)相同，是由泵體、氣缸、氣閥組件、活塞、活塞桿、十字頭、連桿、曲軸等零件組成。。

裝卸各種油槽車(chē)及油輪等速度快、效率高，使用方便，可以正反轉(zhuǎn)工作。

由于工作腔對(duì)稱(chēng)分布于泵輪轂兩側(cè)，改善了作用在轉(zhuǎn)子上的載荷此種泵的抽速較大，效率也較高，但極限真空較低。（2）兩級(jí)水環(huán)式真空泵有兩個(gè)葉輪串聯(lián)工作，可以獲得更大的排出壓力或更高的真空。大多是單作用泵串聯(lián)而成。實(shí)質(zhì)上是兩個(gè)單級(jí)單作用的水環(huán)泵的葉輪共用一根心軸聯(lián)接而成。它的主要特點(diǎn)是在較高真空度下，仍然具有較大的抽速，而且工作狀況穩(wěn)定。二、按吸氣和排氣方式：水環(huán)式真空泵有軸向吸排氣和徑向吸排氣之分。（1）軸向吸排氣方式，氣體的吸人和排出是通過(guò)殼體側(cè)蓋上的吸氣口和排出口進(jìn)行的，其優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、維修方便，缺點(diǎn)是氣體進(jìn)入和排出葉輪時(shí)，氣體流動(dòng)方向與葉輪葉片運(yùn)動(dòng)方向相垂直，而且氣體不能在整個(gè)葉片寬度上均勻地進(jìn)出葉輪，這就加大了氣體進(jìn)入葉輪和流出葉輪時(shí)的水力損失，降低了泵的效率。（2）采用徑向吸排氣方式時(shí)，氣體進(jìn)入和排出葉輪是通過(guò)設(shè)置在葉輪內(nèi)圓處（相當(dāng)于輪轂處）的氣體分配器上的吸氣口和排氣口來(lái)實(shí)現(xiàn)的，其優(yōu)點(diǎn)是氣體可以在葉片全寬范圍內(nèi)進(jìn)入和流出葉輪，而且還可以借助吸氣口和排氣口的形狀使氣體進(jìn)入和排出葉輪的方向與葉輪運(yùn)動(dòng)方向大體一致，這就降低了水力損失，提高了泵的效率，缺點(diǎn)是氣俸分配器結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜、加工和安裝精度較高。水環(huán)式真空泵的特點(diǎn)（1）水環(huán)式真空泵的結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單、緊湊，容易制造及方便維修。（2）水環(huán)式真空泵它的排氣量比較均勻，工作運(yùn)行可靠，使用方便。

在高入口壓力（接近大氣壓）時(shí)溫度z*低，因?yàn)榇藭r(shí)幾乎沒(méi)有進(jìn)行任何壓縮工作且置換空氣足以將泵的熱量輸送出去此外，高氣體流量也防止氣體在末級(jí)中振蕩。在極限壓力（plt，1hPa）下的操作過(guò)程中，大氣振蕩在出口區(qū)域產(chǎn)生較高的溫度，由于沒(méi)有氣體通過(guò)泵，因此沒(méi)有熱量被輸送到泵外。HeptaDry泵是干式螺桿泵，具有內(nèi)部壓縮。螺桿轉(zhuǎn)子具有可變螺距的對(duì)稱(chēng)幾何形狀。這些泵沒(méi)有帶有控制孔的端板；相反，氣體在大氣壓下軸向排出。由于內(nèi)部壓縮，脈沖氣體量較低。這將導(dǎo)致耗電量降低、操作無(wú)噪音、泵內(nèi)溫度均勻分布以及冷卻水耗量降低。這使得這些泵極具成本效益，雖然其設(shè)計(jì)堅(jiān)固耐用。。

無(wú)油干式機(jī)械真空泵（又簡(jiǎn)稱(chēng)干式機(jī)械泵）是指泵能從大氣壓力下開(kāi)始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵目前，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤(rùn)滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問(wèn)題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次，由于某些工藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì)，使泵不能正常工作。對(duì)于普通的無(wú)油真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類(lèi)附件來(lái)防止返流，但不能徹底解決問(wèn)題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵，則可以達(dá)到理想的使用效果。干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中，2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒，3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿(mǎn)足要求，4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵，5）用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。近年來(lái)，干式機(jī)械真空泵得到迅速的發(fā)展，國(guó)外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國(guó)內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干式機(jī)械真空泵的開(kāi)發(fā)研制工作，如東北大學(xué)、沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機(jī)械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。

水環(huán)真空泵和其它類(lèi)型的真空泵相比有如下優(yōu)點(diǎn)：1.由于泵腔內(nèi)沒(méi)有金屬磨擦表面，無(wú)須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤(rùn)滑，而且磨損很小轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封可直接由水封來(lái)完成。2.吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡(jiǎn)單，維修方便。3.壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過(guò)程溫度變化很小。4.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造精度要求不高，容易加工。5.結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，無(wú)須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。和旋片真空泵相比，他可以抽送帶有水蒸氣的氣體，這是旋片真空泵無(wú)法具備的優(yōu)勢(shì)，但是水環(huán)真空泵用水做密封溶劑，旋片真空泵使用真空油做為溶劑介質(zhì)，所以就真空度而言，略低于旋片真空泵。。

腐蝕性氣體版本的多級(jí)羅茨泵的優(yōu)勢(shì)包括：■■通過(guò)調(diào)節(jié)溫度、凈化氣體吞吐量和轉(zhuǎn)速對(duì)相關(guān)真空工藝進(jìn)行理想的調(diào)節(jié)■■在氣體置換區(qū)域沒(méi)有潤(rùn)滑劑■■無(wú)工作液處理問(wèn)題■■高可靠性和系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間■■長(zhǎng)維修間隔、低能耗和冷卻水與沖洗氣體介質(zhì)消耗低，因此具有較低的擁有成本■■占用空間小，在潔凈室和泵級(jí)別中具有良好的集成性和節(jié)約性■■豐富的控制選項(xiàng)，本地或遠(yuǎn)程控制，集成在一個(gè)監(jiān)控網(wǎng)絡(luò)中■■z*小泄漏率■■在腐蝕性工藝中是渦輪分子泵和羅茨泵理想的前級(jí)泵■■認(rèn)證符合UL/CSA和SEMIS2要求灰塵和粒子流程泵接觸從過(guò)程室和前真空管道被輸送到泵中的粒子此外，泵本身內(nèi)副產(chǎn)物反應(yīng)的冷凝可能產(chǎn)生的粒子和沉淀物必須也能容忍。理想情況下，通過(guò)使用可調(diào)節(jié)加熱和控制溫度模式，可避免粒子和沉積物的形成。通過(guò)在垂直方面抽吸，任何從泵級(jí)中掉出的粒子保留在下一級(jí)的排污口通道中。在接下來(lái)的排氣和隨后的抽空之后，粒子將通過(guò)置換氣體被排入到緊接著的下一級(jí)中。此排除機(jī)構(gòu)將生成的98%以上的粒子從入口排出到出口。這意味著，可在泵出口處提供一個(gè)中央排氣凈化系統(tǒng)，它不僅捕捉和處理過(guò)程化學(xué)物質(zhì)，而且捕捉和處理粒子。只要在適合于腐蝕性、毒性和可冷凝介質(zhì)的真空解決方案中是可能的，就可避免進(jìn)氣側(cè)上的高保養(yǎng)陷阱。腐蝕性氣體P和H系列的多級(jí)羅茨泵專(zhuān)為屏幕屏幕半導(dǎo)體、太陽(yáng)能和涂料行業(yè)中腐蝕性氣體過(guò)程而設(shè)計(jì)。金屬轉(zhuǎn)子和定子以及泵的彈性體材料均是由高度耐腐蝕材料制成的。泄漏率高氣密性以及防止氣體通過(guò)止回閥從周?chē)諝饣蚺艢鈨艋到y(tǒng)或洗滌器回?cái)U(kuò)的性能使得多級(jí)羅茨泵成為腐蝕性氣體應(yīng)用的完美解決方案。

吸入口在泵體下方積水無(wú)法掃除有時(shí)水位比泵轉(zhuǎn)子高出250mm以上假如在這樣的狀況下自覺(jué)啟動(dòng)抽吸的工作介質(zhì)由氣變成了水電機(jī)必定過(guò)載跳閘。處理的方法是在入口管道上加裝單向閥避免白水流入泵內(nèi)停機(jī)后隨時(shí)掃除積水。。

在延長(zhǎng)泵的使用壽命的同時(shí)也能有效的保護(hù)系統(tǒng)元件.）　　2、排氣濾芯（兼顧排氣阻力，容塵量，油氣分離性能三者的立要求達(dá)到最優(yōu)的平衡不同的內(nèi)外位置要用不同的材料以達(dá)到不同的分離目的）　　3、油濾芯（用于真空泵的潤(rùn)滑油過(guò)濾，延長(zhǎng)油的使用期主流式濾清器，安裝在油路中）　　使用與維護(hù)方法：　　在清掃更換方面，有很多人不得要領(lǐng)，往往是白白花費(fèi)了力氣，卻沒(méi)收到比較好的效果。　　1、松開(kāi)旋鈕式螺栓將過(guò)濾器外殼與頭部分離。注意不要將橡膠密封圈和纖維質(zhì)墊圈丟失。　　2，小心地取下彈簧和毛氈墊片然后再取出紙質(zhì)過(guò)芯?！　?、用毛刷清除過(guò)濾芯折縫里的灰塵和異物，然后用手將其平放輕拍使剩余的灰塵落下，擦去外殼內(nèi)壁的灰塵及纖維墊上的灰塵?！　?、按拆卸時(shí)相反的順序?qū)⒁亚鍜吒蓛艋蛐碌倪^(guò)濾芯裝回去。。