M系列標準泵適合于Table4.19中顯示的所有應(yīng)用此外，這些泵還可用于抽吸有毒氣體的工業(yè)/化學(xué)應(yīng)用以及超潔凈氣體應(yīng)用：例如，用于半導(dǎo)體行業(yè)中的CVD和PVD工藝或排空預(yù)真空鎖/傳輸室以及用于平面屏幕的生產(chǎn)。M系統(tǒng)可提供的大小范圍從250m3middot，h-1到6000m3middot，h-1。表4.19：OktaLine性能數(shù)據(jù)。

選擇真空泵時，需要知旋片真空泵道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等?！　?、真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量?！　?、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用?！　?、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。　　6、正確地選擇真空泵的工作點。

在泵的進氣管路上應(yīng)安裝閥門進行控制，以便在停車時，防止泵內(nèi)工作液因系統(tǒng)的真空吸力，回流到系統(tǒng)當(dāng)作為壓縮機使用時，若排氣管路存在壓力，那么在汽水分離器的排氣管路上也應(yīng)安裝閥門?！　　　　　∷摹⒄{(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)：　　　　　　水環(huán)真空泵是通過裝在進氣管在進氣管路上的閥門來調(diào)整真空度和氣量。當(dāng)作為壓縮機使用時，可用安裝在排氣管路上的閥門調(diào)節(jié)壓氣裝置的壓力。當(dāng)被壓縮氣體因為其使用條件不允許排出時，應(yīng)在進氣管和排氣管之間裝有導(dǎo)氣管，其直徑與閥門直徑相同，以便在z*大限度內(nèi)調(diào)節(jié)氣量與壓力。。

另外，由于泵在設(shè)計制造及裝配中不可避免地存在有害空間，這也降低泵的極限真空度油封式真空泵就是用油將相向運動的零部件和排氣閥零件間密封起來；將有害空間充填，使得高壓氣體反ldquo，突破的機會少得多，密封性能也就好得多，從而使泵能達到較高的真空度?！　　　∮头馐秸婵毡玫膽?yīng)用　　　　油封式真空泵按照結(jié)構(gòu)型式可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式四種。目前，油封式真空泵是國內(nèi)真空獲得技術(shù)中應(yīng)用z*廣的一種泵，它可單獨用作低真空設(shè)備的排氣用泵，也可用作高真空排氣時的前級真空泵。真空行業(yè)中廣泛使用的油封式機械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑閥泵。因此，它已在國民經(jīng)濟的很多部門，例如電真空、電子、輕化工、鋼鐵、有色冶煉等工業(yè)部門中發(fā)揮著越來越大的作用。由于油封式真空泵均裝有氣鎮(zhèn)裝置，故也可以抽除潮濕氣體。但現(xiàn)在還不適于抽除含氧過高、有爆炸性、對黑色金屬有腐蝕性，對泵密封油起化學(xué)作用、及含有顆?；覊m的氣體?！　　　∧壳埃瑖鴥?nèi)的許多研究單位和生產(chǎn)廠家正在設(shè)計和生產(chǎn)出抽除水蒸氣和耐腐蝕的油封真空泵系列。隨著新技術(shù)、新材料的發(fā)展和應(yīng)用，性能更好的、能滿足各種工業(yè)需要的、適應(yīng)能力強的各種油封式真空泵必將生產(chǎn)出來。。

①Z型系列油擴散噴射泵主要技術(shù)性能見表4-16　　　　　　　　②WZ系列臥式擴散噴射泵技術(shù)性能見表4-17　　　　該系列臥式擴散噴射泵為新型泵，具有先進的結(jié)構(gòu)和優(yōu)良的技術(shù)性能。主要特點：a.主泵擴散級為立式結(jié)構(gòu)，噴射級為臥式，能量損失小，裝拆維修方便。b.采用圓筒臥式油鍋，相對方形油鍋而言，油鍋壓力穩(wěn)定。c.油鍋內(nèi)設(shè)有不銹鋼快速水冷管，停止加熱60min后，通水冷卻60min即可關(guān)閉前級泵，節(jié)能降耗顯著。d.設(shè)有油標觀察裝置，可直觀地觀察油量、油清潔度、油氧化程度，以便及時添加或更換油。e.特殊的前級冷凝結(jié)構(gòu)，使冷凝效果好，前級反壓力高。f.泵配有三點測溫孔，可對該泵或真空系統(tǒng)實現(xiàn)自動啟動和停泵的自動化控制?！　　　、踆L系列油擴散噴射泵技術(shù)性能見表4-18。。

廣泛應(yīng)用于化工，食品，建材等部門，特別是在真空結(jié)晶，干燥，過濾，蒸發(fā)等工藝過程中更為適宜2X型旋片式真空泵（Model2XSlidingVaneRotaryVacuumPump）用來抽除密閉容器的氣體的基本設(shè)備之一。它可以單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。真空泵廣泛應(yīng)用于冶金、機械、電子、化工、石油、醫(yī)藥等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。2XZ型旋片式真空泵（Model2XZSlidingVaneRotaryVacuumPump）具有結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優(yōu)點。所以，它適用于作擴散泵的前級泵，而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如：質(zhì)譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機等。XD型旋片式真空泵（ModelXDSlidingVaneRotaryVacuumPump）可以在任意入口壓強下工作，已普遍應(yīng)用于食品的真空包裝，塑料工業(yè)的真空吸塑成形。印刷行業(yè)的紙張輸送，真空夾具，以及真空吸引等。SZ、SK系列水環(huán)式真空泵（ModelSZWaterRingVacuumPump）主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。

2）機組運行正常、真空穩(wěn)定情況下，高效真空泵組投入運行、原有抽真空設(shè)備切除做備用，此時蒸汽和不凝結(jié)氣體進入羅茨泵，加壓后經(jīng)冷卻器冷凝進入下級水環(huán)真空泵，由于提高了水環(huán)真空泵的入口壓力，可保證水環(huán)真空泵高效穩(wěn)定運行（見圖1、羅茨——水環(huán)真空泵組流程圖）3）當(dāng)機組真空系統(tǒng)發(fā)生嚴重泄漏，高效真空泵不能維持凝汽器真空時將原有抽真空設(shè)備期中一組投入運行滿足真空要求。4）高效真空泵組在檢修或設(shè)備故障時，原有抽真空設(shè)備投入運行，確保真空要求。目前兩臺真空泵為一運一備方式，改造后機組正常運行時主要以高效真空泵組維持真空，實現(xiàn)一運兩備，設(shè)備之間有可靠的聯(lián)鎖控制系統(tǒng)。改造后機組的真空系統(tǒng)耗電量明顯降低同時安全可靠性大幅提高。具體方案如下（見圖2高效真空泵安裝示意圖）：1）抽氣管道安裝，真空泵組就位后，從111水環(huán)式真空泵抽汽入口手動門前管道采用異徑三通（273*159*273mm）接出一路φ159mm管路接入羅茨泵入口，接入羅茨泵前串接一只手動閥（DN150）和速關(guān)氣動閥（廠家提供）。2）真空泵組水環(huán)泵工作水來自原水環(huán)式真空泵補水，從111水環(huán)式真空泵補水門前接出一路φ32mm管道（材質(zhì)304），接入自動補水閥進入分離罐，接入補水閥前安裝DN25手動閥。3）工作水冷卻器冷卻水管道安裝，由閉冷水至熱網(wǎng)密封水管道接出一路φ57mm管道作為冷卻器進水，由閉冷水回水母管接出一路φ57mm管道作為冷卻器出水，兩路管路用DN50手動門作為隔離。4）汽水分離罐排氣管道安裝，高效真空泵組汽水分離罐排氣由一路φ89mm管道接至111水環(huán)式真空泵汽水分離罐排氣管路上。4.改造后的效果運行參數(shù)對比如下：由以上表實測數(shù)據(jù)表明，在工況近似的情況下，改造后抽真空系統(tǒng)與原抽真空系統(tǒng)相比，均能滿足維持凝汽器真空的要求，且改造后抽真空系統(tǒng)能耗水平僅是原有抽真空系統(tǒng)能耗水平的16.8%，即節(jié)電率達到近83.2%，每小時折合節(jié)約電量1.732×380×183×0.85÷1000≈102kW.h，即每小時節(jié)約102度電。按年平均運行6000小時計算每年節(jié)約電量61.2萬度。

目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級壓縮比）。不同類型的干式泵具有各自的特點。使用時可根據(jù)不同的用途加以選擇。。

（2）前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。（3）粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。（4）維持泵：在真空系統(tǒng)中，氣量很小時，不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵，就是維持泵。事實上簡單的真空系統(tǒng)只是能獲得一個粗真空，而想要獲得高真空時，通常在真空系統(tǒng)中串聯(lián)一個高真空泵，比如羅茨泵和螺桿泵等都是獲得高真空的泵。當(dāng)串聯(lián)一個高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門，以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個油擴散泵，為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器，通常在油擴散泵的入口加一個捕集器mdash，mdash，水冷障板。根據(jù)要求，還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規(guī)頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥，散熱器等等，這樣就構(gòu)成了一個較完善的高真空系統(tǒng)。

表9-22給出了機組型號及技術(shù)參數(shù)圖9-27為抽速曲線，圖9-28及圖9-29為外形尺寸。。