注意不要將橡膠密封圈和纖維質(zhì)墊圈丟失2，小心地取下彈簧和毛氈墊片然后再取出紙質(zhì)過芯。3、用毛刷除過濾芯折縫里的灰塵和異物，然后用手將其平放輕拍使剩余的灰塵落下，擦去外殼內(nèi)壁的灰塵及纖維墊上的灰塵。4、按拆卸時相反的順序?qū)⒁亚鍜吒蓛艋蛐碌倪^濾芯裝回去。

1.羅茨泵型號表示方法說明如下：標記示例：（1）抽速為1200L/s的羅茨真空泵，標記為：ZJ-1200（2）抽速為300L/s的帶旁通閥羅茨真空泵，標記為：ZJP-300。2.羅茨泵基本參數(shù)應(yīng)符合表3-81規(guī)定。。

這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量隨著我國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。6、干泵國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。。

化學(xué)工藝的持續(xù)發(fā)展，特別是在半導(dǎo)體和太陽行業(yè)中，對所用真空泵不斷地提出新的要求基于多級羅茨泵的可靠技術(shù)，普發(fā)真空憑借其H系列為這些行業(yè)領(lǐng)域中的苛刻工藝提供完美的解決方案。與先前泵解決方案相比，過程壓力下的氣體吞吐量、粒子耐受性和耐冷凝性已顯著提高。與P（用于一般工藝）系列泵一樣，H系列（用于苛刻工藝）泵配備了溫度控制和惰性氣體沖洗系統(tǒng)。但是，用于優(yōu)化工藝調(diào)節(jié)的參數(shù)范圍比P系列泵更廣。該泵系列是基于A203H空運行流程泵。我們已采用了該系列的另外三個型號并輔以羅茨泵用于過程壓力范圍內(nèi)提高了的抽速和氣體吞吐量。由于使用了特殊材料，這些泵的腐蝕性氣體設(shè)備使其還可使用強氧化劑，如NF3。該泵廣泛的溫度范圍使其能夠適應(yīng)各種不同的工藝，如低溫下的鎢沉積或高溫下的氮化物沉積。高效的電機產(chǎn)生低壓力下的能源節(jié)約，并因其高扭矩，在泵停機后提供良好的啟動性能。得益于它們相同的接口和相同的介質(zhì)連接，A3H系列型號可與P系列泵理想兼容。

工業(yè)上常用前兩種方法，實驗室及小型抽氣系統(tǒng)常用后兩種方法。

　　對羅茨真空泵機組的極限壓力的要求，也是選擇前級泵的必須考慮的，對極限真空度要求較高（達1X10-3Pa～1X10-2Pa壓力）一般選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作為前級泵極限真空度要求在（1X10-2Pa～1X10-1Pa）之間可選用單級油封機械泵作為前級泵，極限真空度要求在133～1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵?！　‘斶x用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時，前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。　　選用前級泵時還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體，就不能選用油封機械泵，油封機械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體，否則將會使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機械泵作為前級泵。　　為了獲得在低入口壓力（1~100pa）時的高的抽氣速率，可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級機組，此時羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。。

②2XZ-B型直聯(lián)真空泵抽氣速率與進氣口壓力曲線如圖3-33所示③2X2-2B、2X2-4B、2X2-8D、2XZ、15D型直聯(lián)旋片式真空泵特性曲線如圖3-34所示。。

水環(huán)式真空泵的工作原理在水環(huán)式真空泵內(nèi)裝有星形葉輪，其工作原理中有一點離心力的作用，不過總體來說還是屬于一種容積式泵:是一種依靠容積變化原理來工作的泵在水環(huán)式真空泵中裝有與泵體相對偏心的星形葉輪，當水環(huán)式真空泵要投人運行的時候，打開吸氣閥和出氣閥，并且適當開啟補水閥（補水壓力一般在80-150kpa）。開動真空泵后，偏心的葉輪在殼體中旋轉(zhuǎn)，讓吸進來的少量補水在殼體內(nèi)形成水環(huán)，星形葉輪的葉片浸沒在水環(huán)中的深度不斷發(fā)生變化，這就導(dǎo)致在鄰近的葉片和液面之間形成了充滿氣體的氣室，氣室的體積交替地增大和縮小。氣室體積增大時，壓強迅速下降，形成一定的真空，吸氣側(cè)的氣體就進人泵內(nèi)，氣室體積變小時，被迅速壓縮后的有壓氣體就排到泵外。該過程（吸氣、壓縮和排氣的過程）在水環(huán)式真空泵的運轉(zhuǎn)中高速的反復(fù)、連續(xù)進行，便可將離心泵泵體內(nèi)的空氣不斷抽走，在離心泵泵腔內(nèi)就會形成一定的“真空”，吸水側(cè)的水就會在大氣壓力的作用下進入離心泵的泵體。。

3、TRP型直連旋片式真空泵技術(shù)性能見表3-64。

真空泵的基本特點　　真空泵是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置?！　∫?、渦旋式真空泵的基本特點　　渦旋式真空泵由渦旋式壓縮機演變而來，機構(gòu)原理最早由法國人Cruex于1905年發(fā)明，但受限于當時的工藝技術(shù)并未應(yīng)用于實際，直到上世紀80年代前后才應(yīng)用于真空技術(shù)領(lǐng)域。其結(jié)構(gòu)簡單，零部件少；間隙小、泄漏率小，具有較高的壓縮比，在較寬壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速；并且其壓縮腔內(nèi)容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動力矩變化小，功率變化?。徽駝釉肼曅?，無需冷卻水與潤滑油，維護簡單，可靠性高?！　∮捎跍u旋式真空泵自身型線的特點，一般情況下，渦旋式真空泵泵的抽速不超過1000L/min；抽速大于4L/s的渦旋泵一般采用雙側(cè)渦旋結(jié)構(gòu)，而抽速小于4L/s的則多采用單側(cè)渦旋結(jié)構(gòu)，極限真空在1Pa左右?！　《?、渦旋式真空泵的工作原理　　渦旋真空泵的工作腔是由一對型線共軛的渦旋盤副嚙合安裝組成。渦旋盤就是在盤面開有一個或幾個漸開線螺旋槽的渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交錯組裝在一起，動、靜盤之間由防自轉(zhuǎn)機構(gòu)保證180°相位差，這樣組成的一對渦旋盤副構(gòu)成了無油渦旋真空泵的抽氣機構(gòu)?！　§o渦旋盤與動渦旋盤彼此之間在幾條直線（在橫截面上是幾個點）上接觸形成幾對月牙形封閉腔，動渦旋盤在曲軸的驅(qū)動下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運動，接觸點沿渦旋曲面移動實現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣?！　≡陔姍C的帶動下，曲軸每轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)，對被抽氣體形成包容和強制輸送。　　通過動圖我們可以更直觀的了解渦旋式真空泵轉(zhuǎn)子的運行模式。