1．各級噴嘴的工作點(diǎn)和A/m、Fc/A和G/A比參數(shù)的確定具有兩級擴(kuò)散噴嘴、兩級噴射噴嘴的四級油擴(kuò)散噴射泵，在它的工作壓力（10^-2Pa～10Pa）范圍內(nèi)，各級噴嘴出口平面上的蒸氣流壓力值按表4-12選取　　　　油擴(kuò)散噴射泵在不同噴嘴出口平面上的蒸氣射流壓力下，比參數(shù)A/m、F。/A和G/A的變化關(guān)系如圖4-23、圖4-24和圖4-25的曲線所示。圖中，A-噴嘴出口平面上的環(huán)形抽氣面積[cm^2]，F(xiàn)。mdash，mdash，噴嘴的喉部面積[cm2]，G-噴嘴在單位時(shí)間內(nèi)的蒸氣噴射量[g/s]，m-泵能抽除的z*大的空氣的質(zhì)量流量[g/s]。　　　　由各級噴嘴的工作點(diǎn)和圖4-23、圖4-24和圖4-25的曲線可以求出各級噴嘴的A/Fc及G值?！　　　?.擴(kuò)散噴嘴的直徑、角度、導(dǎo)致管直徑及噴嘴間距的確定　　　　根據(jù)空氣動(dòng)力學(xué)理論，擴(kuò)散噴嘴在單位時(shí)間內(nèi)噴出的蒸汽量G為　　　　350　　　　L2mdash，mdash，第二級導(dǎo)流管入口平面與該級噴嘴喉部中心平面間的距離[cm]；　　　　Pmdash，mdash，油鍋中的油蒸汽壓力[Pa]?！　　　?．噴射噴嘴喉部直徑的確定。

　　2.合適的粘度和良好的粘溫特性　　羅茨泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性　　3.良好的熱氧化安定性　　羅茨泵不斷向高速度發(fā)展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解，尤其擴(kuò)散泵往往處于很高的溫度環(huán)境下工作，使系統(tǒng)內(nèi)蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求羅茨泵油具有良好的熱氧化安定性?！　?.良好的抗腐蝕性和抗乳化性　　ZJ型羅茨泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會(huì)與油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，腐蝕泵內(nèi)零件，吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起羅茨泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性?！　?.較高的閃點(diǎn)　　主要要求羅茨泵中不攜帶輕質(zhì)組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓?！　?.較低的極限壓力　　極限壓力是羅茨泵油重要的使用性能指標(biāo)以了解在真空極限壓力下羅茨泵的極限壓力。

進(jìn)氣側(cè)的羅茨泵變頻器允許在廣泛的氣體吞吐量范圍對過程參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，并允許各種不同的過程氣體普發(fā)真空不斷監(jiān)測行業(yè)各個(gè)領(lǐng)域中工藝的動(dòng)態(tài)發(fā)展，并在未來將繼續(xù)提供優(yōu)化的泵解決方案以滿足這些需求。。

不同類型的干式泵具有各自的特點(diǎn)使用時(shí)可根據(jù)不同的用途加以選擇。。

　　干式真空泵至今沒有明確定義，就代替油封式機(jī)械泵而言，一般通用的說法是：能在10^5Pa（1大氣壓）mdash，10^-2Pa的壓力范圍內(nèi)工作；在泵腔內(nèi)不使用任何油類和液體，排氣口與大氣相通，能直接向大氣排氣的泵稱為干式兵空泵，又稱無油真空泵　　干式真空泵種類很多，按工作原理可分為兩類：①容積式干式真空泵，例如：多級羅茨泵、爪型泵、往復(fù)式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等，這種干式泵的極限壓力一般為0.1Pamdash，10Pa，抽速為0.01msup3，/smdash，0.04msup3，/s。②動(dòng)量傳遞式干式真空泵，例如：渦輪式干泵。排氣側(cè)與大氣相接，在粘滯流狀態(tài)下壓縮比較高?？蓮?0^5Pa（1大氣壓）抽到10^-2Pa在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和軸向流復(fù)合式結(jié)構(gòu)，多級串聯(lián)。這種渦輪式干泵的極限壓力約為10^-2Pa，抽速為0.02msup3，/smdash，0.15msup3，/s牽引型干泵也屬于動(dòng)量傳輸式干式泵。　　這些干式泵和油封式機(jī)械泵相比，在各自的極限壓力條件下，其殘余氣體成分全然不同。分析結(jié)果表明，油封泵的殘余氣體，主要成分為CnHm（碳?xì)浠衔铮?，而于式泵的殘余氣體的主要成分為空氣，這就證實(shí)了用干式泵抽氣基本上不被油蒸氣污染。　　有些干式泵在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上（例如泵的傳動(dòng)齒輪和軸承等）仍在使用潤滑油，也有用合成油如PFPE油和其它油脂，不過采取一定的措施可使油蒸氣在泵腔內(nèi)幾乎不存在。嚴(yán)格來說這種泵不是全無油泵。經(jīng)分析，這種合成油的成分在泵入口處是微乎其微的，對大多數(shù)電子產(chǎn)業(yè)來講并無影響。

　　　　　　另外應(yīng)當(dāng)考慮的是，對預(yù)抽時(shí)間的要求問題，如果正常工作時(shí)間遠(yuǎn)比預(yù)抽時(shí)間長，可選較小的前級泵；假如真空室較大，而且要求很快預(yù)抽，就要用較大的前級泵，有時(shí)為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率，機(jī)組裝有較大的預(yù)抽泵，在正常工作后停掉它，而用較小的前級泵維持，這樣做是為了節(jié)約功率　　　　　　對羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要求，也是選擇前級泵的必須考慮的，對極限真空度要求較高（達(dá)1X10－3Pa～1X10－2Pa壓力）一般選用雙級旋片式油封機(jī)械泵或雙級滑閥機(jī)械泵作為前級泵。極限真空度要求在（1X10－2Pa～1X10－1Pa）之間可選用單級油封機(jī)械泵作為前級泵，極限真空度要求在133～1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵?！　　　　　‘?dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時(shí)，前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2－1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。　　　　　　選用前級泵時(shí)還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體，就不能選用油封機(jī)械泵，油封機(jī)械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體，否則將會(huì)使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時(shí)，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵作為前級泵。　　　　　　為了獲得在低入口壓力（1~100pa）時(shí)的高的抽氣速率，可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級機(jī)組，此時(shí)羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。。

圖9-25為JZPS300-21P機(jī)組抽速曲線表9-15～表9-21為羅茨泵機(jī)組型號及技術(shù)參數(shù)。

它除了具有一般羅茨真空泵機(jī)組的一些特點(diǎn)外，由于采用水環(huán)式真空泵作前級泵，因此，它特別適用于抽除含較多蒸氣及有一定腐蝕性氣體的工業(yè)流程中例如：化工產(chǎn)品的真空蒸餾、真空蒸發(fā)、脫水結(jié)晶，輕紡工業(yè)的滌綸切片干燥，食品工業(yè)的冷凍干燥等工藝均可采用。表9-24給出了JZJS型羅茨泵一水環(huán)泵真空機(jī)組型號及技術(shù)參數(shù)。圖9-34為該機(jī)組抽速曲線。。

遙控遙控允許在泵的集成存儲(chǔ)器上設(shè)置和保存泵參數(shù)泵參數(shù)可實(shí)時(shí)顯示。接口泵和系統(tǒng)控制之間可配置定制接口，以提供到生產(chǎn)設(shè)備控制單元的連接。水連接泵的水連接和連接冷卻水管道的適當(dāng)快速接頭耦合可提供黃銅和不銹鋼版本，以提供z*好的耐腐蝕性。所列配件不一定建議用于或適用于本節(jié)所描述的泵的各個(gè)型號。根據(jù)要求，可提供其他配件，如用于其他接口、電氣安全、連接或安全運(yùn)送的配件。。

但在抽宇量多的環(huán)境下可以增長幾臺真空泵并聯(lián)利用，同樣在真空罐上配有遠(yuǎn)傳壓力表來監(jiān)控真空的變革環(huán)境，議決智能控制柜時(shí)時(shí)調(diào)解真空泵的啟停，同樣也可以將這套理論套用至旋片式真空泵的原理上來。