廈門抽真空系統(tǒng)　　XG-6型干式旋片真空泵外形及安裝尺寸見表3-116。

PLE大型真空泵　　各種干式真空泵的極限壓力、特點見表3-114　　一般對干式真空泵的要求為：①清潔；②安全；③耐磨；④造價低；⑤維修方便；⑥性能穩(wěn)定；⑦振動小，噪聲低。只有這樣，干式真空泵才有使用和推廣的價值。在清潔的要求方面，對于那些用油潤滑的干式真空泵都有一個潛在的油蒸氣的污染源存在，要采取一定措施加以解決。。

CV2真空泵價格國內(nèi)的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發(fā)研制工作，如東北大學、沈陽真空技術研究所、上海真空泵廠等目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級壓縮比）。不同類型的干式泵具有各自的特點。使用時可根據(jù)不同的用途加以選擇。。

廈門變距螺桿真空泵干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中，2）半導體刻蝕工藝在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒，3）除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求，4）在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵，5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。近年來，干式機械真空泵得到迅速的發(fā)展，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內(nèi)的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發(fā)研制工作，如東北大學、沈陽真空技術研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級壓縮比）。不同類型的干式泵具有各自的特點。使用時可根據(jù)不同的用途加以選擇。。

萊寶真空泵價格干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經(jīng)精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙因此，泵工作時，相互之間無磨擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。而日前，一種全新型干式螺桿真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功，用國產(chǎn)車床替代價格昂貴的國外設備生產(chǎn)出螺桿轉(zhuǎn)子，不僅節(jié)能30%，還具有設備易損件少、真空度高、抽速大、使用壽命長等特點，可在冶金、電子、石油化工、航空航天等100多個領域替代進口產(chǎn)品?！　?。

在泵體內(nèi)形成多個空腔，進氣口側(cè)的空腔容積，隨轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動而增加產(chǎn)生真空而吸氣；排氣口側(cè)的空腔容積隨轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動而縮小，產(chǎn)生壓力而排氣　　由于干式旋片泵在無油狀態(tài)下工作，所以旋片材料需具備自潤滑功能。目前，國內(nèi)外一般采用碳素材料；同時也因其無油，為減少氣體的泄漏，該泵采用多個旋片結(jié)構(gòu)。。