擴散泵多少錢本章描述的多級羅茨泵屬于ACP范圍(阿迪克森清潔泵)在一個泵中,兩個同步反向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子(1)在單個殼體中非接觸旋轉(zhuǎn)(圖4.9)。該轉(zhuǎn)子具有8字形結構,且相互之間由窄間隙分離開來。有四到六對轉(zhuǎn)子位于轉(zhuǎn)子軸上。每個轉(zhuǎn)子腔通過帶有噴氣口的定子盤與其他轉(zhuǎn)子分離開來。輸送的氣體從入口(3)被抽到出口(4)、一個軸由電機(5)驅(qū)動。另一軸通過齒輪箱中的正時齒輪(6)同步進行。潤滑僅限于齒輪箱和封裝的低壓和高壓軸承(9),其與吸入室(7)通過軸封(8)密封開來。風冷式多級羅茨泵的工作原理由于吸入室中無摩擦,羅茨真空泵可在高達6000rpm的高轉(zhuǎn)速下操作。轉(zhuǎn)子質(zhì)量圍繞軸線對稱分布還產(chǎn)生完美的動態(tài)平衡,這意味著,盡管其轉(zhuǎn)速很高,泵的運行卻極為安靜。。
擴散泵價格這使得可連接適當?shù)臏囟葌鞲衅骱蛪毫鞲衅鳎糜诒O(jiān)測泵密封氣體連接當抽吸溶劑或反應性氣體時,存在潤滑劑因冷凝而顯著變稀的風險。反應性氣體也可侵蝕齒輪室的部件。通過允許密封氣體進入工作空間與齒輪室之間的穿心軸區(qū)域可避免大部分風險。惰性氣體,主要是氮氣(N2)用作密封氣體。齒輪室排空裝置在羅茨真空泵站必須在短周期時間(快速抽空)內(nèi)達到一定壓力的所有工藝情況下,通過油分離器在每個齒輪室內(nèi)以獨立真空泵的方式抽空羅茨泵的齒輪室是可行的。這防止氣體從齒輪室流出并流入吸入室,從而能夠更快地達到所需工作壓力。所需工作壓力將決定是否可將齒輪室連接至羅茨泵的前級真空側。沖洗裝置沖洗裝置可用于在吸入室有沉積物形成的過程。該裝置的設計可根據(jù)具體要求與客戶進行單獨協(xié)調(diào)。標準泵的沖洗裝置要求使用密封氣體,防止沖洗液體達到軸承或齒輪室。
螺桿真空泵維修它們符合指令94/9/EC類別3G組IIB溫度等級T3X的防爆要求一般而言,泵的安全操作需要額外的措施和/或部件,如:啟動和關閉程序、特殊的前級泵、回火防止器和壓力傳感器。整個系統(tǒng)的設計和操作必須符合相應的防爆法規(guī)。。
廈門等距螺桿真空泵價格大氣側的密封件包括徑向軸密封環(huán)標準泵的特點是其堅固、緊湊的設計以及高壓縮比,這產(chǎn)生高抽速的泵組合,即使是使用小型前級泵;從而能夠提供短的抽空時間。垂直的流動方向使該泵對灰塵和液體極不敏感。表4.19:OktaLine性能數(shù)據(jù)。
萊寶真空泵價格然而,它們將只實現(xiàn)通過工作液蒸氣壓確定的極限壓力如果使用15deg,C的水,液環(huán)真空泵預計的極限壓力約為20hPa,然后已經(jīng)在氣穴范圍內(nèi)工作。氣穴在接近泵極限壓力時發(fā)生。工作液在進氣側蒸發(fā),且蒸汽氣泡突然在壓力側破滅。這會長期破壞泵。通過供氣無氣穴操作的液環(huán)泵實現(xiàn)的極限壓力約為25至30hPa,羅茨泵和液環(huán)泵組合實現(xiàn)的極限壓力約為1hPa。在抽空對環(huán)境有害的物質(zhì)時,液環(huán)真空泵不應與淡水一起使用。在這種情況下,必須提供封閉的循環(huán)系統(tǒng)來推進合適的工作液經(jīng)過冷卻了的熱交換器,以提取壓縮熱。使用氣體噴射裝置的液環(huán)真空泵羅茨真空泵、氣體噴射裝置和液環(huán)真空泵組合實現(xiàn)0.2hPa的極限壓力。如果需要實現(xiàn)較低的壓力,必須在上游連接附加的羅茨真空泵。。
這些旋轉(zhuǎn)葉片泵具有可靠的工作業(yè)績,既可以作為單獨的泵,也可作為普發(fā)真空羅茨泵的前級泵極限壓力接近6middot,10-2hPa可以實現(xiàn)。這些泵是水冷式,對灰塵和污垢極不敏感。它們配備了油再生系統(tǒng)。冷凝物污染物和灰塵粒子可從工作液中分離,收集在蒸汽分離器中后被排出??烧{(diào)節(jié)冷卻水控制器使UnoLinePlus泵可以保持所需的工作溫度。這些泵配備了氣鎮(zhèn),以進行蒸汽排空。。
羅茨真空泵命名規(guī)則和基本參數(shù)(摘自ZB/T7674-95),本標準適用于抽速為30L/smdash,20000L/s,工作時必須有前級泵的單級雙葉羅茨真空泵1.羅茨泵型號表示方法說明如下:標記示例:(1)抽速為1200L/s的羅茨真空泵,標記為:ZJ-1200。(2)抽速為300L/s的帶旁通閥羅茨真空泵,標記為:ZJP-300。2.羅茨泵基本參數(shù)應符合表3-81規(guī)定。。
M系列標準泵適合于Table4.19中顯示的所有應用此外,這些泵還可用于抽吸有毒氣體的工業(yè)/化學應用以及超潔凈氣體應用:例如,用于半導體行業(yè)中的CVD和PVD工藝或排空預真空鎖/傳輸室以及用于平面屏幕的生產(chǎn)。M系統(tǒng)可提供的大小范圍從250m3middot,h-1到6000m3middot,h-1。表4.19:OktaLine性能數(shù)據(jù)。
在極端情況下,在1000hPa這10-3hPa的整個壓力范圍內(nèi)可以實現(xiàn)基本恒定的抽速,且各個泵級可按2:1至3:1的比率來選擇然而,要實現(xiàn)這一點,羅茨真空泵必須配備相應強大的電機,并且必須提供向大氣側的出口閥,而不是溢流閥。。
在氣鎮(zhèn)閥開啟時,羅茨真空泵站實現(xiàn)的極限壓力大約為10-2hPa使用這些類型的泵站,可抽出水蒸氣以及很多溶劑蒸汽和氣體具有足夠高蒸氣壓且沒有化學分解泵油的其他蒸汽。其中的例子包括醇類、鹵代烴類以及光的正構烷烴等。。