隔膜真空閥使用閥桿直接將閥膜上的橡膠膜壓緊，以切斷或連接真空系統(tǒng)。閥體由鋁合金制成，結(jié)構(gòu)簡單，體積小，重量輕，密封性能好。采用丁腈橡膠膜片，適用于前級和預抽管道的無腐蝕性氣體，溫度為-25℃?80℃。采用氟橡膠膜片，可在高真空系統(tǒng)中使用，溫度范圍為200℃。 -30℃—150℃。 ①上海第二閥門廠生產(chǎn)的GM高真空隔膜閥有GM型，GM-C型，GM-C-KF型，GM-DH（工業(yè)）型和GM-DH（Ⅱ）型。主要技術(shù)性能見表7-17?表7-21。 GM型高真空隔膜閥用于打開或關(guān)閉真空系統(tǒng)。連接管焊接真空隔膜閥是溴化鋰制冷設(shè)備的理想配件。適用的介質(zhì)是空氣和非腐蝕性氣體。 ②上海萬科高科技有限公司生產(chǎn)的GM型真空隔膜閥有GM-B，GM-C，GMH-A和氣動GMQ-A，GMQ-B和GMQ-C六種類型。 。有關(guān)其外部尺寸和主要技術(shù)指標，請參見表7-22和表7-23。 ③上海萬通高科技有限公司生產(chǎn)的GMD氣動真空隔膜閥以壓縮空氣為動力，通過氣缸執(zhí)行器打開和關(guān)閉真空閥?？蓮V泛用于自動控制真空設(shè)備。其氣動控制方法為：二位二通，彈簧復位，常閉，二位二通，彈簧復位，常開，二位二通，三作用執(zhí)行器。閥體材質(zhì)為304，316L，泄漏率le，1倍，10-6Pamiddot，L / s，閥壽命ge，30,000次。請參閱表7-24中的尺寸。 ④沉陽科學儀器開發(fā)中心有限公司生產(chǎn)的隔膜閥DM-1的主要技術(shù)性能參數(shù)及尺寸見表7-25。