圖10-121是離子氮化爐的示意圖。整個裝置由氨氣供應(yīng)系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，測量系統(tǒng)和電源系統(tǒng)組成。 ①氨氣供應(yīng)系統(tǒng)。氨氣瓶1容納液氨。工作時，請打開氨閥2，待穩(wěn)定后進入LZB-6浮子流量計3。根據(jù)真空室中所需的氨壓力，調(diào)節(jié)流量計閥4以控制氨流量。氨氣通過氨氣管道進入真空室。需要氨氣供應(yīng)系統(tǒng)中穩(wěn)定的氣源壓力和靈活的進氣門調(diào)節(jié)。 ②真空系統(tǒng)。真空系統(tǒng)包括由真空泵21，放氣閥18，真空蝶閥19，電磁閥20和排氣管組成的真空室（輝光室）。真空室采用雙層水冷結(jié)構(gòu)。用橡膠墊密封真空蓋和爐底之間。工作時，啟動真空泵（2X-15型）以將真空室抽空至所需的真空度，并從排氣管中排出廢氣。 ③測量系統(tǒng)。包括測量溫度，測量壓力以及測量電流和電壓。它們可以反映氮化處理。用于溫度測量的熱電偶16插入陰極機架，并通過連接線或熱電偶補償線連接到XCT-101可調(diào)毫伏表，以實現(xiàn)工件溫度的測量。當壓力低于1.3倍102Pa時，通過熱電偶真空計14進行測量；當壓力為1.3倍102Pa?1.3倍103Pa時，使用U型管汞壓力表進行測量。 。 ④電源系統(tǒng)。電源系統(tǒng)是電源。它由三相變壓器，整流器，電感器，電容器和振蕩滅弧器組成。輸入電壓為AC 380V，輸出為高壓DC紋波電流。最大z *輸出電壓為1000V，最大z *輸出電流為30A。