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技術(shù)知識

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為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等

* 來源: * 作者: * 發(fā)表時間: 2022-05-12 1:40:35 * 瀏覽: 140

CNN真空泵哪家好腐蝕性氣體ACP系列泵不適合于抽空大量的腐蝕性氣體在這方面多級羅茨泵可用于半導(dǎo)體、太陽能和涂料行業(yè)中的腐蝕性氣體工藝(見第4.6節(jié))。然而,ACP系列泵至少可用于處理少量的腐蝕性氣體。在這種情況下,使用具有惰性氣體凈化的版本,其中,采用惰性氣體幕保護(hù)軸承,且過程氣體通過在一個泵級中引入惰性氣體進(jìn)行稀釋。泄漏率其高氣密性能夠保證多級羅茨泵的長期使用以及昂貴氣體的使用(4He、3He、同位素標(biāo)記氣體)氣體回路的z*佳解決方案。輕型氣體和高真空多級羅茨泵具有出口閥以防止?jié)駳夂脱鯕鈹U散回到吸入室,這在腐蝕性氣體應(yīng)用中會導(dǎo)致泵內(nèi)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。如果需要產(chǎn)生真空以防止輕型氣體聚集和回流擴散,在應(yīng)用中,必須定期將該閥打開(如通過氣鎮(zhèn))。即使排氣處的微真空或氣鎮(zhèn)的使用足以置換甚至連續(xù)的氦氣體吞吐量,如在蒸發(fā)器低溫恒溫器中,幾乎與氮或空氣具有相同的性能數(shù)據(jù)。在載氣禁止使用的應(yīng)用中(如在閉合環(huán)路應(yīng)用中),泵出口處必須有真空。。

廈門德國萊寶真空泵價格該例中,工作真空度1mbar低于1.5mbar,所以30升/秒的前級泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求      另外應(yīng)當(dāng)考慮的是,對預(yù)抽時間的要求問題,如果正常工作時間遠(yuǎn)比預(yù)抽時間長,可選較小的前級泵;假如真空室較大,而且要求很快預(yù)抽,就要用較大的前級泵,有時為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率,機組裝有較大的預(yù)抽泵,在正常工作后停掉它,而用較小的前級泵維持,這樣做是為了節(jié)約功率?!     α_茨真空泵機組的極限壓力的要求,也是選擇前級泵的必須考慮的,對極限真空度要求較高(達(dá)1X10-3Pa~1X10-2Pa壓力)一般選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作為前級泵。極限真空度要求在(1X10-2Pa~1X10-1Pa)之間可選用單級油封機械泵作為前級泵,極限真空度要求在133~1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵?!     ‘?dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時,前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4,不能太大,否則將使壓縮比過大,造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作?!     ∵x用前級泵時還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì),是否含有可凝性氣體,是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體,就不能選用油封機械泵,油封機械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體,否則將會使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時,也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機械泵作為前級泵?!     榱双@得在低入口壓力(1~100pa)時的高的抽氣速率,可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級機組,此時羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。。

廈門CE1真空泵價格整機結(jié)構(gòu)簡單、操作方便本機組可廣泛應(yīng)用于電力工業(yè)三大件:變壓器、電線電纜、電容器的真空浸漬工藝,真空鍍膜,真空冶煉,真空熱處理,真空濾油,食品行業(yè)冷凍干燥以及含有少量水蒸氣或少量可凝性氣體、少量粉塵的工藝流程中,對于某些會有較多水分、粉塵的工藝必須配備過濾裝置冷凝器等,另外還可增加一臺雙級水環(huán)泵作粗抽,使大量水分、粉塵由水環(huán)泵抽除,這樣就可延長機組的正常使用壽命,減少前級泵換油次數(shù),降低使用成本,提高生產(chǎn)效率。表9-22給出了機組型號及技術(shù)參數(shù)。圖9-27為抽速曲線,圖9-28及圖9-29為外形尺寸。。

廈門真空輔助哪家好  羅茨泵在入口壓力很低情況下工作時,由于轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速很高(1000r/min~3000r/min),轉(zhuǎn)子表面的線速度接近于分子的熱運動速度,這時碰撞在轉(zhuǎn)子上的氣體分子被轉(zhuǎn)子攜帶到壓力較高的排氣口,再被預(yù)真空泵排除這就是羅茨真空泵的分子作用原理。。

多級離心風(fēng)機多少錢由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。6、干泵國外干泵市場的不斷增長,其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計,目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口,其價格十分昂貴。所以,我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。

羅茨真空泵命名規(guī)則和基本參數(shù)(摘自ZB/T7674-95),本標(biāo)準(zhǔn)適用于抽速為30L/smdash,20000L/s,工作時必須有前級泵的單級雙葉羅茨真空泵1.羅茨泵型號表示方法說明如下:標(biāo)記示例:(1)抽速為1200L/s的羅茨真空泵,標(biāo)記為:ZJ-1200。(2)抽速為300L/s的帶旁通閥羅茨真空泵,標(biāo)記為:ZJP-300。2.羅茨泵基本參數(shù)應(yīng)符合表3-81規(guī)定。。

具有各種前級泵的泵站的抽速和極限壓力表現(xiàn)如Figure4.19所示該曲線清楚地表明,這種泵組合的抽速上升了8倍,其極限壓力相對于前級泵下降了15倍。。

軸承使用通過飛濺圓盤置換到軸承和齒輪的油進(jìn)行潤滑標(biāo)準(zhǔn)版本上驅(qū)動軸饋通與外部通過浸入在密封油中、由FPM制成的徑向軸密封環(huán)密封。為保護(hù)軸,密封環(huán)在保護(hù)套上運行,該保護(hù)套在磨損后可更換。如果與外部之間需要進(jìn)行嚴(yán)密密封,泵還可通過帶有罐裝置的永磁體耦合方式驅(qū)動。該設(shè)計能提供泄漏率QI小于10-6Pam3s-1。泵性能,加熱由于羅茨泵沒有內(nèi)部壓縮或出口閥,當(dāng)吸入室打開時,其氣體體積回流到吸入室,然后必須對著出口壓力重新排放。由于這種影響,特別是在入口和出口之間存在高壓差的情況下,產(chǎn)生高能量耗散,這導(dǎo)致泵在低氣體流量下顯著變熱,而低氣體流量只能傳送少量的熱。與殼體相比,旋轉(zhuǎn)羅茨活塞相對難以冷卻,因為它們實際上是真空絕緣的。因此,它們的膨脹比殼體厲害。為防止接觸或咬粘,z*大可能的壓差以及耗散能量通過溢流閥(7)進(jìn)行限制。該閥連接至入口側(cè)和泵直通通道的壓力側(cè)。

該泵廣泛的溫度范圍使其能夠適應(yīng)各種不同的工藝,如低溫下的鎢沉積或高溫下的氮化物沉積高效的電機產(chǎn)生低壓力下的能源節(jié)約,并因其高扭矩,在泵停機后提供良好的啟動性能。得益于它們相同的接口和相同的介質(zhì)連接,A3H系列型號可與P系列泵理想兼容。這意味著,如果現(xiàn)有生產(chǎn)設(shè)備上發(fā)生工藝改變,通過更換泵,使用z*小的安裝工作就可獲得優(yōu)化的泵解決方案。使用第三級羅茨輔助A1803H型號,可提供緊湊、極其強大的泵站,具有z*大抽速,適合于CVD工藝。AD73KH在空運行流程泵上采用變頻控制的羅茨泵,羅茨泵在其本身的框架內(nèi)具有額定抽速4500m3middot,h-1。由于模塊化結(jié)構(gòu),安裝很容易,且泵站中的各個泵可單獨取出,并在維修工作進(jìn)行的情況下進(jìn)行保養(yǎng)。進(jìn)氣側(cè)的羅茨泵變頻器允許在廣泛的氣體吞吐量范圍對過程參數(shù)進(jìn)行調(diào)整,并允許各種不同的過程氣體。普發(fā)真空不斷監(jiān)測行業(yè)各個領(lǐng)域中工藝的動態(tài)發(fā)展,并在未來將繼續(xù)提供優(yōu)化的泵解決方案以滿足這些需求。。

  羅茨泵的缺點是泵的轉(zhuǎn)子制造較難,抽除氫氣的效果不如油增壓泵高  羅茨泵廣泛用于真空冶金工業(yè)的真空脫氣、真空熔煉、鋼水真空處理,以及空間模擬、低密度風(fēng)洞等裝置中抽除非腐蝕性氣體。也可以用于化工、食品、醫(yī)藥、電機制造等工業(yè)的蒸餾、蒸發(fā)、干燥等生產(chǎn)過程。。