真空室的極限真空與哪些因素有關

在真空應用中，如何了解自己的真空室能達到什么樣的極限真空，與哪些因素有關，螺桿真空泵廠家來告訴您。

螺桿真空泵廠家在真空泵的極限真空度介紹中，介紹過真空泵的極限真空是在不引入氣體的狀態(tài)下經(jīng)過長時間抽氣后所能達到的一個穩(wěn)定的真空度。但在實際應用中，并不是說選了一個1Pa極限真空的真空泵，就能讓真空室達到1Pa的極限真空。因為在真空系統(tǒng)中，不僅僅是真空室，還包括真空泵、管路閥門等等這些，都會存在漏氣以及材料本身的放氣，還有一些通過器壁滲透進來的氣體、材料本身的蒸氣（主要是超高真空系統(tǒng)中）。因此真空泵或者真空抽氣機組在對真空室的抽氣過程中，受這些不斷產(chǎn)生的氣體影響，很難達到設備本身的極限真空度。

因此真空室所能到達的極限真空，通常總是低于真空泵、真空抽氣機組的極限真空的。它的影響因素一方面取決于選型的真空泵設備所能達到的極限真空度，另一方面還取決于真空室抽氣口處泵的有效抽速與空載時真空室內(nèi)的氣體負荷（漏氣、放氣、滲透）?？偟膩碚f，真空泵或者真空抽氣機組的極限真空度越高，相對有效抽速就會越大，真空室的極限真空度也就越高；同時空載時真空室內(nèi)的氣體負荷越小，它的極限真空也更高。

用式子來表達就是：真空室的極限真空=真空泵或真空機組的極限真空+（真空室的漏氣流量+材料放氣、解吸流量+器壁滲透氣體流量）/抽氣口真空泵有效抽速+真空室材料飽和蒸氣壓力。對于常見的中低真空應用中，真空室的氣體負荷一般只考慮漏氣，也就是：真空室的極限真空=真空泵或真空機組的極限真空+真空室的漏氣流量/抽氣口真空泵有效抽速。