CUTES真空泵價格無油干式機(jī)械真空泵(又簡稱干式機(jī)械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機(jī)械真空泵目前,真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì),在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大,原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次,由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì),使泵不能正常工作。對于普通的無油真空系統(tǒng)來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵,則可以達(dá)到理想的使用效果。干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個方面:1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中,2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒,3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求,4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵,5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。近年來,干式機(jī)械真空泵得到迅速的發(fā)展,國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干式機(jī)械真空泵的開發(fā)研制工作,如東北大學(xué)、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前,干式機(jī)械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。
廈門納西姆真空泵價格 干式真空泵種類很多,按工作原理可分為兩類:①容積式干式真空泵,例如:多級羅茨泵、爪型泵、往復(fù)式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等,這種干式泵的極限壓力一般為0.1Pamdash,10Pa,抽速為0.01msup3,/smdash,0.04msup3,/s②動量傳遞式干式真空泵,例如:渦輪式干泵。排氣側(cè)與大氣相接,在粘滯流狀態(tài)下壓縮比較高??蓮?0^5Pa(1大氣壓)抽到10^-2Pa在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和軸向流復(fù)合式結(jié)構(gòu),多級串聯(lián)。這種渦輪式干泵的極限壓力約為10^-2Pa,抽速為0.02msup3,/smdash,0.15msup3,/s牽引型干泵也屬于動量傳輸式干式泵?! ∵@些干式泵和油封式機(jī)械泵相比,在各自的極限壓力條件下,其殘余氣體成分全然不同。分析結(jié)果表明,油封泵的殘余氣體,主要成分為CnHm(碳?xì)浠衔铮?,而于式泵的殘余氣體的主要成分為空氣,這就證實了用干式泵抽氣基本上不被油蒸氣污染?! ∮行└墒奖迷诮Y(jié)構(gòu)設(shè)計上(例如泵的傳動齒輪和軸承等)仍在使用潤滑油,也有用合成油如PFPE油和其它油脂,不過采取一定的措施可使油蒸氣在泵腔內(nèi)幾乎不存在。嚴(yán)格來說這種泵不是全無油泵。經(jīng)分析,這種合成油的成分在泵入口處是微乎其微的,對大多數(shù)電子產(chǎn)業(yè)來講并無影響?! 「墒秸婵毡冒崔D(zhuǎn)子接觸與否又可分為非接觸型(羅茨式、爪式、螺桿式)和接觸式(葉片式、凸輪式、活塞式)兩類。
真空脫水哪家好不同類型的干式泵具有各自的特點(diǎn)使用時可根據(jù)不同的用途加以選擇。。
納茨真空泵價格而日前,一種全新型干式螺桿真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功,用國產(chǎn)車床替代價格昂貴的國外設(shè)備生產(chǎn)出螺桿轉(zhuǎn)子,不僅節(jié)能30%,還具有設(shè)備易損件少、真空度高、抽速大、使用壽命長等特點(diǎn),可在冶金、電子、石油化工、航空航天等100多個領(lǐng)域替代進(jìn)口產(chǎn)品 。
九益真空泵多少錢目前,國內(nèi)外一般采用碳素材料;同時也因其無油,為減少氣體的泄漏,該泵采用多個旋片結(jié)構(gòu)。
XG-6型干式旋片泵采用直聯(lián)式,結(jié)構(gòu)緊湊;在進(jìn)排氣口分別安裝了過濾器網(wǎng),保證了吸入和排出的氣體干凈在吸氣口處還安裝了真空表和調(diào)節(jié)真空閥門,可根據(jù)需要調(diào)整泵的入口壓力?! ≡摫玫膠*大特點(diǎn)是可獲得清潔的粗真空,適用于真空吸附、真空包裝、食品加工、卷煙生產(chǎn)等行業(yè)。 XG-6型干式旋片真空泵技術(shù)性能見表3-115。 XG-6型干式旋片真空泵外形及安裝尺寸見表3-116。。