極高真空系統(tǒng)的極壓的穩(wěn)態(tài)平衡方程：p系統(tǒng)的極限壓力[Pa] in，Pamdash，mdash，泵送后系統(tǒng)中原始氣體達到的平衡壓力[Pa] ，P氣體的泄漏率[Pa。 L / s]，齊系統(tǒng)除氣率[Pa。 L / s]，P氣的Se系統(tǒng)抽氣速度[L / s]，f氣的Si系統(tǒng)抽氣速度[L / s]，Pjmdash，mdash，泵對ji氣體的極限壓力[Pa]， -泵到真空室的電導率用于j氣體[L / S]，Sj-泵用于Ji氣體[L / s]。等式（16-1）右側(cè)的第二項等于泄漏空氣對極限壓力的貢獻，第三項代表各種氣體釋放源對極限壓力的貢獻，第四項代表泵（極限）從壓力（Pj）產(chǎn)生的返回氣體對極限壓力的貢獻。式（16-1），我們可以看到：為了使p達到很高的真空度，每一項的值必須至少達到真空度極高的順序。每個項目都來自許多分壓的總和。極高的真空抽氣泵對氣體具有選擇性，總壓力必須表示為分壓之和。因此，必須對氣體源進行單獨的分析，即不僅要分析氣體量，還要分析除氣成分。這不同于一般的真空系統(tǒng)。還應根據(jù)引氣量和引氣成分來考慮泵的選擇，并且不得丟棄兩者。