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技術(shù)知識

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只有這樣,干式真空泵才有使用和推廣的價值

* 來源: * 作者: * 發(fā)表時間: 2022-06-22 2:02:30 * 瀏覽: 224

廈門德國萊寶真空泵價格  干式旋片泵的轉(zhuǎn)子偏心地置于泵殼內(nèi),上端靠近泵殼內(nèi),形成進(jìn)排氣口間的密封當(dāng)電機(jī)帶動轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動時,旋片在離心力的作用下貼緊泵腔的內(nèi)壁。在泵體內(nèi)形成多個空腔,進(jìn)氣口側(cè)的空腔容積,隨轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動而增加產(chǎn)生真空而吸氣;排氣口側(cè)的空腔容積隨轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動而縮小,產(chǎn)生壓力而排氣?! ∮捎诟墒叫迷跓o油狀態(tài)下工作,所以旋片材料需具備自潤滑功能。目前,國內(nèi)外一般采用碳素材料;同時也因其無油,為減少氣體的泄漏,該泵采用多個旋片結(jié)構(gòu)。。

廈門CE1真空泵價格目前,真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì),在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大,原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次,由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì),使泵不能正常工作。對于普通的無油真空系統(tǒng)來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵,則可以達(dá)到理想的使用效果。干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個方面:1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中,2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒,3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求,4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵,5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。近年來,干式機(jī)械真空泵得到迅速的發(fā)展,國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干式機(jī)械真空泵的開發(fā)研制工作,如東北大學(xué)、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前,干式機(jī)械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等,這類泵的速度較低,適用于小容量高壓縮比(單級壓縮比)。

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CNL真空泵哪家好干式螺桿真空泵,是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙因此,泵工作時,相互之間無磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無需潤滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn)。而日前,一種全新型干式螺桿真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功,用國產(chǎn)車床替代價格昂貴的國外設(shè)備生產(chǎn)出螺桿轉(zhuǎn)子,不僅節(jié)能30%,還具有設(shè)備易損件少、真空度高、抽速大、使用壽命長等特點(diǎn),可在冶金、電子、石油化工、航空航天等100多個領(lǐng)域替代進(jìn)口產(chǎn)品?! ?。

PlV真空泵價格另外,干式真空泵的轉(zhuǎn)速越高,其壓縮比越大,因此非接觸型干式真空泵的轉(zhuǎn)速多為3000r/min  各種干式真空泵的極限壓力、特點(diǎn)見表3-114?! ∫话銓Ω墒秸婵毡玫囊鬄椋孩偾鍧?;②安全;③耐磨;④造價低;⑤維修方便;⑥性能穩(wěn)定;⑦振動小,噪聲低。只有這樣,干式真空泵才有使用和推廣的價值。在清潔的要求方面,對于那些用油潤滑的干式真空泵都有一個潛在的油蒸氣的污染源存在,要采取一定措施加以解決。。

  XG-6型干式旋片真空泵外形及安裝尺寸見表3-116。