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技術(shù)知識(shí)

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在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒

* 來源: * 作者: * 發(fā)表時(shí)間: 2022-08-10 15:49:43 * 瀏覽: 91

液環(huán)真空泵維修干式旋片真空泵屬于變?nèi)菔秸婵毡茫涔ぷ髟砼c有油的旋片真空泵基本一致圖3-81為干式旋片真空泵的工作原理圖。  干式旋片泵的轉(zhuǎn)子偏心地置于泵殼內(nèi),上端靠近泵殼內(nèi),形成進(jìn)排氣口間的密封。當(dāng)電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),旋片在離心力的作用下貼緊泵腔的內(nèi)壁。在泵體內(nèi)形成多個(gè)空腔,進(jìn)氣口側(cè)的空腔容積,隨轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)而增加產(chǎn)生真空而吸氣;排氣口側(cè)的空腔容積隨轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)而縮小,產(chǎn)生壓力而排氣?! ∮捎诟墒叫迷跓o(wú)油狀態(tài)下工作,所以旋片材料需具備自潤(rùn)滑功能。目前,國(guó)內(nèi)外一般采用碳素材料;同時(shí)也因其無(wú)油,為減少氣體的泄漏,該泵采用多個(gè)旋片結(jié)構(gòu)。。

九益真空泵多少錢  該泵的z*大特點(diǎn)是可獲得清潔的粗真空,適用于真空吸附、真空包裝、食品加工、卷煙生產(chǎn)等行業(yè)  XG-6型干式旋片真空泵技術(shù)性能見表3-115?! G-6型干式旋片真空泵外形及安裝尺寸見表3-116。。

CAT真空泵哪家好因此,泵工作時(shí),相互之間無(wú)磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn)而日前,一種全新型干式螺桿真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功,用國(guó)產(chǎn)車床替代價(jià)格昂貴的國(guó)外設(shè)備生產(chǎn)出螺桿轉(zhuǎn)子,不僅節(jié)能30%,還具有設(shè)備易損件少、真空度高、抽速大、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn),可在冶金、電子、石油化工、航空航天等100多個(gè)領(lǐng)域替代進(jìn)口產(chǎn)品?! ?。

廈門德國(guó)萊寶真空泵價(jià)格無(wú)油干式機(jī)械真空泵(又簡(jiǎn)稱干式機(jī)械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵目前,真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì),在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤(rùn)滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大,原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問題:一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次,由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì),使泵不能正常工作。對(duì)于普通的無(wú)油真空系統(tǒng)來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵,則可以達(dá)到理想的使用效果。干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個(gè)方面:1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中,2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒,3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求,4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵,5)用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。近年來,干式機(jī)械真空泵得到迅速的發(fā)展,國(guó)外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國(guó)內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干式機(jī)械真空泵的開發(fā)研制工作,如東北大學(xué)、沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前,干式機(jī)械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。

廈門多級(jí)離心風(fēng)機(jī)多少錢  干式真空泵至今沒有明確定義,就代替油封式機(jī)械泵而言,一般通用的說法是:能在10^5Pa(1大氣壓)mdash,10^-2Pa的壓力范圍內(nèi)工作;在泵腔內(nèi)不使用任何油類和液體,排氣口與大氣相通,能直接向大氣排氣的泵稱為干式兵空泵,又稱無(wú)油真空泵  干式真空泵種類很多,按工作原理可分為兩類:①容積式干式真空泵,例如:多級(jí)羅茨泵、爪型泵、往復(fù)式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等,這種干式泵的極限壓力一般為0.1Pamdash,10Pa,抽速為0.01msup3,/smdash,0.04msup3,/s。②動(dòng)量傳遞式干式真空泵,例如:渦輪式干泵。排氣側(cè)與大氣相接,在粘滯流狀態(tài)下壓縮比較高。可從10^5Pa(1大氣壓)抽到10^-2Pa在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和軸向流復(fù)合式結(jié)構(gòu),多級(jí)串聯(lián)。這種渦輪式干泵的極限壓力約為10^-2Pa,抽速為0.02msup3,/smdash,0.15msup3,/s牽引型干泵也屬于動(dòng)量傳輸式干式泵。  這些干式泵和油封式機(jī)械泵相比,在各自的極限壓力條件下,其殘余氣體成分全然不同。分析結(jié)果表明,油封泵的殘余氣體,主要成分為CnHm(碳?xì)浠衔铮?,而于式泵的殘余氣體的主要成分為空氣,這就證實(shí)了用干式泵抽氣基本上不被油蒸氣污染?! ∮行└墒奖迷诮Y(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上(例如泵的傳動(dòng)齒輪和軸承等)仍在使用潤(rùn)滑油,也有用合成油如PFPE油和其它油脂,不過采取一定的措施可使油蒸氣在泵腔內(nèi)幾乎不存在。嚴(yán)格來說這種泵不是全無(wú)油泵。經(jīng)分析,這種合成油的成分在泵入口處是微乎其微的,對(duì)大多數(shù)電子產(chǎn)業(yè)來講并無(wú)影響。

目前,干式機(jī)械真空泵主要分為接觸型及非接觸型接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等,這類泵的速度較低,適用于小容量高壓縮比(單級(jí)壓縮比)。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等,其速度較高,適用大容量,低壓縮比(指單級(jí)壓縮比)。不同類型的干式泵具有各自的特點(diǎn)。使用時(shí)可根據(jù)不同的用途加以選擇。。