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極高真空規(guī):雙曲線注射規(guī)簡介

* 來源: * 作者: * 發(fā)表時間: 2020-03-26 5:30:26 * 瀏覽: 596
雙彎注射液位計是一種管式電子倍增電離液位計。其調(diào)節(jié)靈敏度系數(shù)為K = 1.5倍,10 ^ 18 [(C /S①/(A.Pa)),測量下限PRle,1倍,10 ^ -10Pa,有望測量到極高的真空度。 10 ^ -12Pa。雙彎規(guī)的結(jié)構(gòu)原理如圖11-54所示。 the離子在偏轉(zhuǎn)極V1的電場作用下通過篩子的中心孔偏轉(zhuǎn)90度,然后穿過。第二篩子的中心孔進入第二偏轉(zhuǎn)極V2,然后偏轉(zhuǎn)90度。它到達CEM電子信號放大器的接收窗口,并由CEM計數(shù)。由于離子電流經(jīng)過兩個偏轉(zhuǎn)階段,因此X射線效應(yīng)很小。