如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來使用?！　?、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。　　6、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化（詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。　　7、真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外?！　?、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。

　　無油真空泵在使用過程中，因?yàn)樽陨淼脑蚧蛘呤瞧渌姸嘁蛩?，它在使用過程中，還是有比較多要求需要注意，如果在無油真空泵使用過程中忽視了這些問題的存在，就容易產(chǎn)生無油真空泵故障那么無油真空泵故障有哪些呢？面對(duì)這些棘手的問題，我們是否有相應(yīng)的解決辦法呢？　　1、泵不排液　　故障分析：灌泵不足；泵軸轉(zhuǎn)向不對(duì)；濾網(wǎng)堵塞，底閥不靈；　　解決辦法：重新灌裝；調(diào)整泵軸轉(zhuǎn)向；停機(jī)檢查，清楚雜物；　　2、泵排液后中斷　　故障分析：吸入管路漏氣；灌泵時(shí)吸入側(cè)氣體未排凈；吸入側(cè)突然被異物堵塞；　　解決辦法：檢查吸入管連接處及機(jī)械密封的密封情況；重新按要求灌泵；停機(jī)并清理雜物；　　3、流量不足　　故障分析：管路漏氣，漏液；阻力損失增加；葉輪磨損，堵塞，腐蝕；　　解決辦法：重新灌裝；調(diào)整泵軸轉(zhuǎn)向；停機(jī)檢查，清楚雜物；　　綜上所述，我們可以發(fā)現(xiàn)即使是同一個(gè)問題，產(chǎn)生的原因可能也不止一個(gè)，對(duì)于無油真空泵使用者來說，這不僅增大了解決問題的難度，同時(shí)也可能耽誤生產(chǎn)。設(shè)備故障一直是設(shè)備使用過程中非常令人頭疼的問題，對(duì)于無油真空泵工作者來說，面對(duì)無油真空泵故障時(shí)，我們需要像戰(zhàn)士一樣去戰(zhàn)斗。。

動(dòng)渦旋盤由偏心軸驅(qū)動(dòng)與靜渦旋盤做相對(duì)擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)　　與其他種類的無油真空泵相比無油渦旋真空泵具有下述特點(diǎn)：　?、贌o油，無摩擦---非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；　　②抽氣量大---雙渦旋盤結(jié)構(gòu)與單級(jí)相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；　　③抽氣效率高---帶有3-4個(gè)抽氣單元，壓差?。淮髿馀c真空之間由0型圈密封，泄漏低；　?、芊墙佑|，良好平衡，力矩影響小，噪音低，振動(dòng)??；　?、萁Y(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，相同尺寸下，運(yùn)動(dòng)半徑小，運(yùn)行平穩(wěn)；　?、摅w積小，維修方便，維護(hù)費(fèi)用低；　　　?、卟捎每諝饫鋮s，無需水冷?！　≡摐u旋真空泵主要應(yīng)用于下述領(lǐng)域：　?、侔雽?dǎo)體行業(yè)mdash，mdash，薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；　　②科學(xué)儀器行業(yè)mdash，mdash，同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器；　?、蹤C(jī)械設(shè)備行業(yè)mdash，mdash，材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)、材料提純?cè)O(shè)備；　?、芑瘜W(xué)工業(yè)；　　⑤醫(yī)療設(shè)備mdash，mdash，牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備；　?、薨b行業(yè)mdash，mdash，食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備?！　≡摐u旋真空泵能夠給用戶解決真空系統(tǒng)的污染與振動(dòng)等基礎(chǔ)、共性問題，并且使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低。因此在國外市場(chǎng)擴(kuò)展迅速，僅日本一個(gè)公司產(chǎn)品在中國z*近3年間銷售額就增長了10倍。是一項(xiàng)不容忽視的技術(shù)與產(chǎn)品?！　”疚目偨Y(jié)了無油渦旋真空泵的技術(shù)發(fā)展與應(yīng)用，內(nèi)容包括從渦旋技術(shù)的發(fā)展到無油渦旋真空泵的工作原理、制造工藝、技術(shù)指標(biāo)、特點(diǎn)、基本用途和實(shí)際應(yīng)用方法；對(duì)無油渦旋真空泵技術(shù)有一個(gè)系統(tǒng)的介紹。。

XD-010、XD-020、XD-040、XD-063、XD-100、XD-160、XD-250型單級(jí)旋片式真空泵外形及安裝尺寸見表3-56。

④在泵腔內(nèi)并不發(fā)生像機(jī)械真空泵那樣的壓縮現(xiàn)象，因此它不需要排氣閥也正因如此，可抽除可凝性蒸氣。⑤啟動(dòng)快，能夠在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到極限真空。功率小，運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低。⑥在很寬的壓力范圍內(nèi)（1times，10^3Pa～1Pa）有很大的抽速，能迅速排出突然放出的氣體，彌補(bǔ)了擴(kuò)散泵和油封機(jī)械泵在（1times，10^3Pamdash，1Pa）耐抽速都很小的缺陷。因此，它z*適合作增壓泵用?！　×_茨泵的缺點(diǎn)是泵的轉(zhuǎn)子制造較難，抽除氫氣的效果不如油增壓泵高?！　×_茨泵廣泛用于真空冶金工業(yè)的真空脫氣、真空熔煉、鋼水真空處理，以及空間模擬、低密度風(fēng)洞等裝置中抽除非腐蝕性氣體。也可以用于化工、食品、醫(yī)藥、電機(jī)制造等工業(yè)的蒸餾、蒸發(fā)、干燥等生產(chǎn)過程。。

這縮短了排空時(shí)間。

蒸汽在壓縮階段可全部或部分在泵中冷凝的蒸汽還必須在蒸餾和干燥過程中被置換在這種情況下，打開氣鎮(zhèn)閥有助在無冷凝的情況下通泵來排放蒸汽。然而，蒸氣兼容性并不總是足以防止冷凝。冷凝物與油的混合將導(dǎo)致極限壓力增加，并降低工作液的潤滑能力。這些因素可導(dǎo)致泵內(nèi)發(fā)生腐蝕。在排空蒸汽前，泵必須用氣鎮(zhèn)預(yù)熱至少半個(gè)小時(shí)。較高溫度的工作液會(huì)減少冷凝。減少冷凝的其他方法包括獲得僅可能低的出口壓力及分別排出冷凝物。為此，應(yīng)在入口和出口側(cè)使用凝析油分離器。必須使用油霧過濾器和垂直排氣管防止出口處的背壓。如有有萃取系統(tǒng)，應(yīng)將出口與其連接。

其型號(hào)及技術(shù)性能見表9-31。

但是這種聲音會(huì)對(duì)有人的環(huán)境產(chǎn)生影響，所以當(dāng)打開放氣閥的時(shí)候會(huì)相應(yīng)削弱這種聲音，所以水環(huán)真空泵的放氣閥的作用就在于此。

在無氣體置換（入口法蘭關(guān)閉）操作時(shí)的壓縮比K0取決于出口壓力p2抽速范圍從200m3middot，h-1到幾千m3middot，h-1。典型的K0值在10和75之間。壓縮比受到兩方面的不利影響：■■回流到活塞和殼體之間的間隙■■通過活塞表面吸附而沉積在出口側(cè)并在轉(zhuǎn)向吸入側(cè)后又重新解吸的氣體。在出口壓力為10-2至1hPa的情況下，分子流在密封間隙中占主導(dǎo)地位，由于其低電導(dǎo)率，這導(dǎo)致少量回流。然而，通過吸附被吸回的氣體體積，這與泵送的氣體體積相比相對(duì)較高，降低了壓縮比。在1至10hPa范圍內(nèi)，K0是z*高的，因?yàn)榉肿恿饕虮妹芊忾g隙的低入口壓力而仍然占主導(dǎo)地位，因此回流較低。由于通過吸附的氣體輸送不是壓力的作用，它遠(yuǎn)沒有通過抽速輸送的壓力比例氣體流量重要。在壓力超過10hPa時(shí)，間隙中出現(xiàn)層流且間隙電導(dǎo)率顯著增加，這導(dǎo)致壓縮比下降。這種影響在氣冷羅茨泵中特別明顯，該泵實(shí)現(xiàn)的壓縮比僅約為K0=10。間隙寬度對(duì)壓縮比具有重大影響。