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干式真空泵至今沒有明確定義

* 來源: * 作者: * 發(fā)表時(shí)間: 2022-10-17 14:52:54 * 瀏覽: 78

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真空脫水哪家好  XG-6型干式旋片真空泵外形及安裝尺寸見表3-116。

2BV2真空泵價(jià)格對(duì)于普通的無油真空系統(tǒng)來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵,則可以達(dá)到理想的使用效果。干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個(gè)方面:1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中,2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒,3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求,4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵,5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。近年來,干式機(jī)械真空泵得到迅速的發(fā)展,國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干式機(jī)械真空泵的開發(fā)研制工作,如東北大學(xué)、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前,干式機(jī)械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等,這類泵的速度較低,適用于小容量高壓縮比(單級(jí)壓縮比)。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等,其速度較高,適用大容量,低壓縮比(指單級(jí)壓縮比)。不同類型的干式泵具有各自的特點(diǎn)。使用時(shí)可根據(jù)不同的用途加以選擇。

真空過濾哪家好當(dāng)代真空技術(shù)在半導(dǎo)體工業(yè)、電子工業(yè)、薄膜制備等工藝過程中的應(yīng)用,迫切要求無油蒸氣污染的清潔真空此外在這些制造工藝中,被抽氣體往往有腐蝕性蒸氣或固體顆粒,嚴(yán)重影響油封泵的使用壽命。因此,近年來世界各國相繼研制出工作在10^5Pamdash,0.1Pa區(qū)域內(nèi)的干式真空泵,以滿足對(duì)無油排氣工藝的要求。  干式真空泵至今沒有明確定義,就代替油封式機(jī)械泵而言,一般通用的說法是:能在10^5Pa(1大氣壓)mdash,10^-2Pa的壓力范圍內(nèi)工作;在泵腔內(nèi)不使用任何油類和液體,排氣口與大氣相通,能直接向大氣排氣的泵稱為干式兵空泵,又稱無油真空泵。  干式真空泵種類很多,按工作原理可分為兩類:①容積式干式真空泵,例如:多級(jí)羅茨泵、爪型泵、往復(fù)式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等,這種干式泵的極限壓力一般為0.1Pamdash,10Pa,抽速為0.01msup3,/smdash,0.04msup3,/s。②動(dòng)量傳遞式干式真空泵,例如:渦輪式干泵。排氣側(cè)與大氣相接,在粘滯流狀態(tài)下壓縮比較高??蓮?0^5Pa(1大氣壓)抽到10^-2Pa在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和軸向流復(fù)合式結(jié)構(gòu),多級(jí)串聯(lián)。這種渦輪式干泵的極限壓力約為10^-2Pa,抽速為0.02msup3,/smdash,0.15msup3,/s牽引型干泵也屬于動(dòng)量傳輸式干式泵?! ∵@些干式泵和油封式機(jī)械泵相比,在各自的極限壓力條件下,其殘余氣體成分全然不同。分析結(jié)果表明,油封泵的殘余氣體,主要成分為CnHm(碳?xì)浠衔铮谑奖玫臍堄鄽怏w的主要成分為空氣,這就證實(shí)了用干式泵抽氣基本上不被油蒸氣污染。

廈門佶締納士真空泵價(jià)格  由于干式旋片泵在無油狀態(tài)下工作,所以旋片材料需具備自潤滑功能目前,國內(nèi)外一般采用碳素材料;同時(shí)也因其無油,為減少氣體的泄漏,該泵采用多個(gè)旋片結(jié)構(gòu)。。

因此,泵工作時(shí),相互之間無磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無需潤滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn)而日前,一種全新型干式螺桿真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功,用國產(chǎn)車床替代價(jià)格昂貴的國外設(shè)備生產(chǎn)出螺桿轉(zhuǎn)子,不僅節(jié)能30%,還具有設(shè)備易損件少、真空度高、抽速大、使用壽命長等特點(diǎn),可在冶金、電子、石油化工、航空航天等100多個(gè)領(lǐng)域替代進(jìn)口產(chǎn)品?! ?。