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另外，干式真空泵的轉(zhuǎn)速越高，其壓縮比越大，因此非接觸型干式真空泵的轉(zhuǎn)速多為3000r/min。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒，3）除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求，4）在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵，5）用做一般無油清潔真空...

這就是羅茨真空泵的容積作用原理　　羅茨泵在入口壓力很低情況下工作時，由于轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速很高（1000r/min～3000r/min），轉(zhuǎn)子表面的線速度接近于分子的熱運動速度，這時碰撞在轉(zhuǎn)子上的氣體分子被轉(zhuǎn)子攜帶到壓力較高的排氣口，再被預真空泵排除。這就是羅茨真空泵的分子作用原理。這就是羅茨真空泵的容積作用原理　　羅茨泵在入口壓力很低情況下工作時，由于轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速很高（1000r/min～3000r/min）...

為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等?！　　　　　α_茨真空泵機組的極限壓力的要求，也是選擇前級泵的必須考慮的，對極限真空度要求較高（達1X10－3Pa～1X10－2Pa壓力）一般選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作為前級泵?！　　　　　α_茨真空泵機組的極限壓力的要求，也是選擇前級泵的...

另外，干式真空泵的轉(zhuǎn)速越高，其壓縮比越大，因此非接觸型干式真空泵的轉(zhuǎn)速多為3000r/min。另外，干式真空泵的轉(zhuǎn)速越高，其壓縮比越大，因此非接觸型干式真空泵的轉(zhuǎn)速多為3000r/min?！　「墒秸婵毡冒崔D(zhuǎn)子接觸與否又可分為非接觸型（羅茨式、爪式、螺桿式）和接觸式（葉片式、凸輪式、活塞式）兩類。

真空泵停泵：　　1、旋片式真空泵停泵應(yīng)先關(guān)閉出口閥，以防逆止閥失靈致使出水管壓力水倒灌進泵內(nèi)，引起葉輪反轉(zhuǎn)，造成泵損壞?！　、陔p級旋片式真空泵的工作原理（圖3-23）。XD型旋片式真空泵（ModelXDSlidingVaneRotaryVacuumPump）可以在任意入口壓強下工作，已普遍應(yīng)用于食品的真空包裝，塑料工業(yè)的真空吸塑成形印刷行業(yè)的紙張輸送，真空夾具，以及真空吸引等。