處理之道：放干凈泵內(nèi)的一切真空泵油，替換同類型的真空泵油，并處理被抽氣體中水蒸氣和雜質(zhì)不進入泵內(nèi)3、被抽氣體的溫度也許過高。處理之道：下降被抽氣體的溫度，或能夠加一個相應的換熱器。4、泵內(nèi)的油路不通或許不暢，泵腔內(nèi)沒有保持一定量的油量。處理之道：查看油路是不是暢通，并加同類型的真空泵油。5、配合的空隙改大。這是長時間被抽氣體內(nèi)富含粉塵等，形成旋片和定子之間磨損后的空隙增大。處理之道：查看空隙是不是過大，替換新的零部件。。

按其工作范圍，它介于油封機械泵（1times，10^5Pamdash，10^-2Pa）和油擴散泵（10^-2Pamdash，10^-6Pa）的工作壓力范圍之間該泵的優(yōu)點是在1Pamdash，10^-1Pa壓力范圍內(nèi)有較大的抽速，可以彌補油封機械泵和高真空油擴散泵在此區(qū)間抽速較小的缺點（因為在10^-1Pa低壓力范圍油封機械泵的抽速有明顯的降低，而大多數(shù)高真空油擴散泵在此壓力范圍內(nèi)的抽速也較?。?。此外，它的z*大反壓力較油擴散泵高（大于10^2Pa），所以油擴散噴射泵除可用作真空系統(tǒng)主泵使用之外，還可以用到油擴散泵的出口處來增加其出口壓力，在排除一定量的氣體時，能相對地減少所配置的前級泵的容量，使前級機械泵能有效地工作，故油擴散噴射泵又稱為油增壓泵?！　　　∮蛿U散噴射泵與羅茨式真空泵相比較，結(jié)構(gòu)簡單，無機械轉(zhuǎn)動部分，運轉(zhuǎn)可靠，維護方便，使用壽命長，廣泛用于真空冶金爐，如真空感應爐，真空電弧爐，電容器的真空干燥和浸漬，真空蒸餾設(shè)備，石油化工、塑料連續(xù)噴鍍，低密度風洞設(shè)備，固體火箭發(fā)動機點火模擬設(shè)備和固體發(fā)動機高空試車臺等設(shè)備中。　　　　但是，油擴散噴射泵不適用于抽除對金屬有腐蝕作用或與泵油產(chǎn)生化學反應的氣體。。

設(shè)備故障一直是設(shè)備使用過程中非常令人頭疼的問題，對于無油真空泵工作者來說，面對無油真空泵故障時，我們需要像戰(zhàn)士一樣去戰(zhàn)斗。

　　XG-6型干式旋片真空泵外形及安裝尺寸見表3-116。

無油往復活塞式真空泵的構(gòu)造和原理與往復式壓縮機相同，但它們的目的不同壓縮機是為了提高氣體的壓強，而w型往復活塞式真窄泵則是為了降低入口氣體的壓強，從而得到盡可能高的真空度。無油往復活塞式真空泵的構(gòu)造與往復式壓縮機相同，是由泵體、氣缸、氣閥組件、活塞、活塞桿、十字頭、連桿、曲軸等零件組成。。

SZ型水環(huán)式真空泵技術(shù)性能分別見表3-15、表3-16；SZ型單級水環(huán)式真空泵特征曲線見圖3-7，圖中水溫為攝氏27deg，時的實測值；SZ-1、SZ-2型水環(huán)式真空泵外形及安裝尺寸分別見表3-18、表3-19所示；SZ-0.5、SZ-1、SZ-2、SZ-6型水環(huán)式真空泵外形及安裝尺寸分別見表3-20。

水環(huán)式真空泵機械密封的更換拆裝步驟：　　1、拆掉水環(huán)式真空泵兩端機械密封的冷卻水管，　　2、拆卸動力端皮帶輪（更換非動力端機械密封時無這一步），　　3、分別把動力端和非動力端的機械密封拆下掛在軸上，注意輕拆輕放，這一步尤其重要，避免了損壞完好端的機械密封（注意：如果是單獨檢修兩端的軸承，這一步也是必須的），　　4、拆下要更換機械密封端的軸承壓蓋，卸下軸承鎖緊背帽，　　5、用頂絲把軸承座連同軸承一起頂出拆下。（此時需要用葫蘆從拆裝端吊住軸，方便軸承的頂出），　　6、把舊機械密封從軸上取下，　　7、把檢查完好后的新機械密封小心地套在軸上，　　8、清洗檢查軸承是否完好、檢查軸承間隙是否合適，　　9、把軸承、軸承座回裝軸上，并為軸承加上潤滑油脂，上緊內(nèi)圈鎖緊背帽，裝上軸承壓蓋（這一步也需要葫蘆吊軸配合），　　10、試盤車看看是否輕松，特別注意此盤車過程中別損壞機械密封，　　11、分別把兩端的機械密封從軸上回裝至密封箱里面，　　12、回裝皮帶輪（檢修非動力端時無這一步），　　13、回裝冷凝水管，通進冷凝水后盤車試漏，　　14、檢修完畢，工完場清。。

在干燥過程中，泵的大小并非是由泵速按照蒸汽量的大小而決定，而是由每單位時間收集的水量決定因此，當務(wù)之急是使用封閉的真空側(cè)閥和開啟的氣鎮(zhèn)閥對泵進行預熱大約15至30分鐘，以達到其的工作溫度（油）（大約為70-80°C）。只有在正確的工作溫度下才可經(jīng)由開啟的氣鎮(zhèn)閥將蒸汽泵出。延遲開啟的高真空閥很容易被集成到控制系統(tǒng)中。（2）泵壓過程結(jié)束后，建議開啟氣鎮(zhèn)閥讓真空泵繼續(xù)運行15分鐘左右，這樣那些殘留在泵體內(nèi)的蒸汽就可以通過排氣裝置排出。這一過程重新生成工作液，防止停頓腐蝕和可能出現(xiàn)的泵故障。（3）必要的泵前泵后操作可以通過計時工具輕易地集成到控制器中。如果系統(tǒng)需要氣鎮(zhèn)低于1至2hPa的極限壓力，則需要使用雙級旋片式真空泵。值得注意的是，真空技術(shù)人員認為雙級旋片式真空泵的蒸汽耐受性和蒸汽容量將會低于單級泵。2、工作液（1）在旋片式真空泵中，工作液（即真空泵油）主要擔負三項重要功能：密封、潤滑閥門和軸承以及將鋁殼上的壓縮和摩擦熱傳導出去以實現(xiàn)對泵體的冷卻。（2）使用傳動裝置和潤滑劑保持油位是所有油封旋片式泵和真空泵重要的預防性維護和日常維護。

　　　?、踆L系列油擴散噴射泵技術(shù)性能見表4-18。

不過，進氣閥的作用是為了消除水環(huán)真空泵在達到極限真空是的異響聲水環(huán)真空泵在運轉(zhuǎn)過程中水與葉輪快速摩擦，當達到極限真空的時候，會產(chǎn)生刺耳的聲音，當然這不影響正常使用。但是這種聲音會對有人的環(huán)境產(chǎn)生影響，所以當打開放氣閥的時候會相應削弱這種聲音，所以水環(huán)真空泵的放氣閥的作用就在于此。。