在蒸餾的時候，需要通過真空控制器設(shè)置合理的真空值，保證蒸餾效率，同時避免爆沸目前隔膜真空泵的極限真空最低可達2mbar，循環(huán)水泵的極限真空大約50mbar（0.095kpa）。如果預(yù)算允許，真空控制器或真空閥就很有必要，它能控制好蒸餾所需的系統(tǒng)真空值。密封圈：作為承接蒸發(fā)管和冷凝管的關(guān)鍵密封件，其耐磨性和耐腐蝕性是關(guān)鍵。常用作密封圈的材質(zhì)是：PTFE和橡膠，顯然PTFE的耐磨性和耐腐蝕性都會更好。個別廠家在密封圈中，加了不銹鋼的緩沖彈片，耐磨性更好。真空管材質(zhì)：一般各廠家沒有標配真空管，自行選購的時候，硅膠管自然是首選了，因其老化效率比橡膠管慢。2、加熱鍋溫度加熱鍋溫度越高，溶劑的蒸餾效果越快，但考慮到目標成分的熱敏性、操作的安全性，最常用的溫度是60℃。再者80°C以上，改用硅油作為介質(zhì)會帶來清潔的問題，一般更建議降低真空值來達到更快的蒸餾效率。目前市面上，最好的隔膜真空泵，極限真空可以達到2mbar，DMF在常溫下都可以蒸餾出來。3、蒸發(fā)瓶的轉(zhuǎn)速蒸發(fā)瓶的轉(zhuǎn)速越快，瓶內(nèi)表面浸潤面積愈大，受熱面積大；但同時液膜厚度也愈厚，增大傳熱溫差。

其次，由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴重變質(zhì)，使泵不能正常工作對于普通的無油真空系統(tǒng)來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。干式機械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中，2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒，3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求，4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵，5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。近年來，干式機械真空泵得到迅速的發(fā)展，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內(nèi)的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發(fā)研制工作，如東北大學(xué)、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級壓縮比）。不同類型的干式泵具有各自的特點。

作為獨立泵（也見圖4.4），它們在低、中真空段中涵蓋了廣泛的壓力范圍由于其內(nèi)部壓縮，它們可在0.1至1000hPa整個入口壓力范圍內(nèi)以相對低的驅(qū)動電力連續(xù)進行工作。在與Okta-Line羅茨泵組合使用時，甚至可實現(xiàn)5middot，10-3hPa的極限壓力。多級羅茨泵ACP范圍內(nèi)的多級羅茨泵實現(xiàn)了緊湊型泵站，抽速高達285m3middot，h-1。將ACP前級泵與羅茨泵組合使用，可實現(xiàn)z*終壓力高達5middot，10-3hPa。。

故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小和旋片真空泵相比，他可以抽送帶有水蒸氣的氣體，這是旋片真空泵無法具備的優(yōu)勢，但是水環(huán)真空泵用水做密封溶劑，旋片真空泵使用真空油做為溶劑介質(zhì)，所以就真空度而言，略低于旋片真空泵。。

1、激光器不能開啟2、激光器不能抽真空3、羅茨泵不能運轉(zhuǎn)或運轉(zhuǎn)3秒鐘后停車4、高壓不能開啟5、放電不能正常進行6、高壓開啟后立即被過流線路切斷

2.羅茨泵基本參數(shù)應(yīng)符合表3-81規(guī)定。

　　當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時，前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作　　選用前級泵時還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體，就不能選用油封機械泵，油封機械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體，否則將會使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機械泵作為前級泵?！　榱双@得在低入口壓力（1~100pa）時的高的抽氣速率，可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級機組，此時羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。。

其型號及技術(shù)性能見表9-31。

⑥在很寬的壓力范圍內(nèi)（1times，10^3Pa～1Pa）有很大的抽速，能迅速排出突然放出的氣體，彌補了擴散泵和油封機械泵在（1times，10^3Pamdash，1Pa）耐抽速都很小的缺陷因此，它z*適合作增壓泵用?！　×_茨泵的缺點是泵的轉(zhuǎn)子制造較難，抽除氫氣的效果不如油增壓泵高?！　×_茨泵廣泛用于真空冶金工業(yè)的真空脫氣、真空熔煉、鋼水真空處理，以及空間模擬、低密度風(fēng)洞等裝置中抽除非腐蝕性氣體。也可以用于化工、食品、醫(yī)藥、電機制造等工業(yè)的蒸餾、蒸發(fā)、干燥等生產(chǎn)過程。。

在恒定抽速下，旋片式真空泵在廣泛的壓力范圍內(nèi)具有極限壓力大約為plt，1hPa在氣鎮(zhèn)閥開啟時，羅茨真空泵站實現(xiàn)的極限壓力大約為10-2hPa。使用這些類型的泵站，可抽出水蒸氣以及很多溶劑蒸汽和氣體具有足夠高蒸氣壓且沒有化學(xué)分解泵油的其他蒸汽。其中的例子包括醇類、鹵代烴類以及光的正構(gòu)烷烴等。。