④使用前級(jí)吸附阱，不僅能有效地吸附水蒸氣，還可阻擋機(jī)械泵油向高真空室的返流工業(yè)上常用前兩種方法，實(shí)驗(yàn)室及小型抽氣系統(tǒng)常用后兩種方法。。

在氣泡凝結(jié)破裂的同時(shí)，液體質(zhì)點(diǎn)以很高的速度填充空穴，在此瞬間產(chǎn)生很強(qiáng)烈的水擊作用，并以很高的沖擊頻率打擊金屬表面，沖擊應(yīng)力達(dá)到幾百至幾千個(gè)大氣壓，沖擊頻率達(dá)到每秒幾萬次，嚴(yán)重時(shí)會(huì)將壁厚擊穿　　　　在真空泵中產(chǎn)生氣泡和氣泡破裂使過流部件遭受到破壞的過程就是真空泵中的汽蝕過程。真空泵產(chǎn)生汽蝕后除了對(duì)過流部件產(chǎn)生破壞作用，還會(huì)產(chǎn)生噪聲和振動(dòng)并導(dǎo)致泵的性能下降，嚴(yán)重時(shí)會(huì)使泵中液體中斷，不能正常工作?！　　　∷h(huán)泵的汽蝕損壞都是在氣泡產(chǎn)生和破裂的部位，金屬表面出現(xiàn)點(diǎn)蝕現(xiàn)象，嚴(yán)重的會(huì)出現(xiàn)蜂窩狀損壞。如果真空泵葉輪在汽蝕部位有較大的殘余應(yīng)力，還會(huì)引起應(yīng)力釋放，產(chǎn)生裂紋。由于泵汽蝕時(shí)氣泡在高壓區(qū)連續(xù)發(fā)生突然破裂，以及伴隨著強(qiáng)烈水擊產(chǎn)生的噪聲和振動(dòng)，可以聽到像爆豆似的劈劈啪啪的聲音。如果上述氣泡在金屬表面上破裂，金屬表面將受到連續(xù)強(qiáng)烈的水擊出現(xiàn)麻點(diǎn)，金屬晶粒松動(dòng)并剝落而成蜂窩狀甚至穿孔。汽蝕破壞除機(jī)械作用外，還伴隨著電解、化學(xué)腐蝕等多種復(fù)雜的作用。實(shí)際破壞效果表明，泵過流部件汽蝕破壞的部位，正是氣泡消失的地方。真空泵需要用液體作為工作介質(zhì)。每種液體　　　　在某一溫度下都有對(duì)應(yīng)的飽和蒸汽壓。

1、國產(chǎn)2XZ型直連旋片式真空泵技術(shù)性能見表3-60~表3-622、國產(chǎn)XZ型直連旋片式真空泵技術(shù)性能見表3-63。3、TRP型直連旋片式真空泵技術(shù)性能見表3-64。。

　　干式真空泵至今沒有明確定義，就代替油封式機(jī)械泵而言，一般通用的說法是：能在10^5Pa（1大氣壓）mdash，10^-2Pa的壓力范圍內(nèi)工作；在泵腔內(nèi)不使用任何油類和液體，排氣口與大氣相通，能直接向大氣排氣的泵稱為干式兵空泵，又稱無油真空泵　　干式真空泵種類很多，按工作原理可分為兩類：①容積式干式真空泵，例如：多級(jí)羅茨泵、爪型泵、往復(fù)式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等，這種干式泵的極限壓力一般為0.1Pamdash，10Pa，抽速為0.01msup3，/smdash，0.04msup3，/s。②動(dòng)量傳遞式干式真空泵，例如：渦輪式干泵。排氣側(cè)與大氣相接，在粘滯流狀態(tài)下壓縮比較高?？蓮?0^5Pa（1大氣壓）抽到10^-2Pa在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和軸向流復(fù)合式結(jié)構(gòu)，多級(jí)串聯(lián)。這種渦輪式干泵的極限壓力約為10^-2Pa，抽速為0.02msup3，/smdash，0.15msup3，/s牽引型干泵也屬于動(dòng)量傳輸式干式泵?！　∵@些干式泵和油封式機(jī)械泵相比，在各自的極限壓力條件下，其殘余氣體成分全然不同。分析結(jié)果表明，油封泵的殘余氣體，主要成分為CnHm（碳?xì)浠衔铮?，而于式泵的殘余氣體的主要成分為空氣，這就證實(shí)了用干式泵抽氣基本上不被油蒸氣污染?！　∮行└墒奖迷诮Y(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上（例如泵的傳動(dòng)齒輪和軸承等）仍在使用潤滑油，也有用合成油如PFPE油和其它油脂，不過采取一定的措施可使油蒸氣在泵腔內(nèi)幾乎不存在。嚴(yán)格來說這種泵不是全無油泵。經(jīng)分析，這種合成油的成分在泵入口處是微乎其微的，對(duì)大多數(shù)電子產(chǎn)業(yè)來講并無影響。

也可以用于化工、食品、醫(yī)藥、電機(jī)制造等工業(yè)的蒸餾、蒸發(fā)、干燥等生產(chǎn)過程。

泵參數(shù)可實(shí)時(shí)顯示接口泵和系統(tǒng)控制之間可配置定制接口，以提供到生產(chǎn)設(shè)備控制單元的連接。水連接泵的水連接和連接冷卻水管道的適當(dāng)快速接頭耦合可提供黃銅和不銹鋼版本，以提供z*好的耐腐蝕性。所列配件不一定建議用于或適用于本節(jié)所描述的泵的各個(gè)型號(hào)。根據(jù)要求，可提供其他配件，如用于其他接口、電氣安全、連接或安全運(yùn)送的配件。。

在實(shí)際情況中，真空泵的絕對(duì)壓力值介于0～101.325KPa之間絕對(duì)壓力值需要用絕對(duì)壓力儀表測(cè)量，在20℃、海拔高度＝0的地方，儀表的初始值為101.325KPa。相對(duì)真空度是指被測(cè)對(duì)象的壓力與測(cè)量地點(diǎn)大氣壓的差值。用普通真空表測(cè)量。在沒有真空的狀態(tài)下，表的初始值為0。當(dāng)測(cè)量真空時(shí)，它的值介于0到－101.325KPa（一般用負(fù)數(shù)表示）之間。比如，測(cè)量值為－30KPa，則表示泵可以抽到比測(cè)量地點(diǎn)的大氣壓低30KPa的真空狀態(tài)。同一臺(tái)泵在不同的地點(diǎn)測(cè)量，其相對(duì)壓力值可能是不同的，因?yàn)椴煌瑴y(cè)量地點(diǎn)的大氣壓是不同的，這是各地的海拔高度、溫度等不同客觀條件造成的。國際真空行業(yè)通用的、也是z*科學(xué)的是用絕對(duì)壓力標(biāo)識(shí)；由于測(cè)量相對(duì)真空度的方法簡便、測(cè)量儀器非產(chǎn)普遍、容易買到且價(jià)格便宜，因此它也得到廣泛應(yīng)用。當(dāng)然，理論上二者是可以相互換算的。換算方法如下：絕對(duì)壓力＝測(cè)量地點(diǎn)的氣壓－相對(duì)壓力。

當(dāng)葉輪順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，此時(shí)泵體的水會(huì)隨著葉輪的轉(zhuǎn)動(dòng)而被甩向四周，由于離心力的作用，水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)水環(huán)的上部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的下部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度）。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的上部0°為起點(diǎn)，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時(shí)氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí)，氣體便被排出泵外。水環(huán)式真空泵的特點(diǎn)：優(yōu)點(diǎn)：1、結(jié)構(gòu)簡單，制造精度要求不高，容易加工。2、結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，無須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。3、壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。4、由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。5、吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡單，維修方便。

1、激光器不能開啟2、激光器不能抽真空3、羅茨泵不能運(yùn)轉(zhuǎn)或運(yùn)轉(zhuǎn)3秒鐘后停車4、高壓不能開啟5、放電不能正常進(jìn)行6、高壓開啟后立即被過流線路切斷

　　一、定片式真空泵　　其結(jié)構(gòu)簡單且使用壽命長，檢修容易，雙級(jí)泵的極限真空度可達(dá)10ndash，3Torr，但抽速較小，應(yīng)用很少　　二、旋片式真空泵　　分為單級(jí)旋片式真空泵（由定子、旋片、轉(zhuǎn)子等組成，只有一個(gè)工作室）和雙級(jí)旋片式真空泵（它由兩個(gè)工作室組成，兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，Ⅰ室為Ⅱ室的前級(jí)）?！　∪?、滑閥式真空泵　　主要由泵體及內(nèi)部做偏心轉(zhuǎn)動(dòng)的滑閥部件、半圓形的滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等組成。。