無油往復活塞式真空泵的構造與往復式壓縮機相同，是由泵體、氣缸、氣閥組件、活塞、活塞桿、十字頭、連桿、曲軸等零件組成。

　　　?、踆L系列油擴散噴射泵技術性能見表4-18。

間隙寬度對壓縮比具有重大影響然而，由于活塞與殼體不同的熱膨脹，它們不得低于一定的z*小值，以避免轉子和定子接觸。。

圖9-25為JZPS300-21P機組抽速曲線表9-15～表9-21為羅茨泵機組型號及技術參數(shù)。

　　工作時，被抽氣體由進氣口進入轉子與泵體之間，這時一個轉子和泵體把氣體與進氣口隔開，被隔開的氣體（如圖上影線部分所示）在轉子連續(xù)不斷的一旋轉過程中，被送到排氣口在圖3-57（a）中，Vo空間是處在封閉狀態(tài)的，因此，沒有壓縮和膨脹。但當轉子的峰部轉到排氣口邊緣時，由于VO部分的壓力較之排氣口處的壓力低，為了使相連體積內壓力均勻，氣體就會從排氣口處擴散到Vo區(qū)域，其擴散方向與轉子旋轉方向相反。當轉子再轉動時，把VO處的氣體壓縮到排氣口將其排出。這時轉子的另一面與進氣口相連部分則吸入氣體，當轉子不斷地旋轉時，重復上述抽氣過程不斷地排出流進來的氣體。這種工作過程相當于轉子空間由某一z*小值蝤加到z*大值，然后再由z*大值減小到z*小值。這就是羅茨真空泵的容積作用原理。　　羅茨泵在入口壓力很低情況下工作時，由于轉子轉速很高（1000r/min～3000r/min），轉子表面的線速度接近于分子的熱運動速度，這時碰撞在轉子上的氣體分子被轉子攜帶到壓力較高的排氣口，再被預真空泵排除。這就是羅茨真空泵的分子作用原理。。

羅茨真空泵命名規(guī)則和基本參數(shù)（摘自ZB/T7674-95），本標準適用于抽速為30L/smdash，20000L/s，工作時必須有前級泵的單級雙葉羅茨真空泵1.羅茨泵型號表示方法說明如下：標記示例：（1）抽速為1200L/s的羅茨真空泵，標記為：ZJ-1200。（2）抽速為300L/s的帶旁通閥羅茨真空泵，標記為：ZJP-300。2.羅茨泵基本參數(shù)應符合表3-81規(guī)定。。

1、激光器不能開啟2、激光器不能抽真空3、羅茨泵不能運轉或運轉3秒鐘后停車4、高壓不能開啟5、放電不能正常進行6、高壓開啟后立即被過流線路切斷

　　　　④型式檢驗：　　　　檢驗項目除按出廠檢驗項目檢查外，還應檢查第4中的第⑥條，檢測方法按ZBJ78013的規(guī)定　　　?、萦邢铝星闆r之一時，應進行型式檢驗：　　　　a.新產品試制定型鑒定，　　　　b.正式生產后，當結構、材料、工藝有較大改變，可能影響產品性能時，　　　　c.正常生產并形成一定批量時，每年抽檢1臺～2臺，　　　　d.產品長期停產后，恢復生產時，　　　　e.國家質量監(jiān)督機構提出進行型式檢驗時。。

M系列可用于對密封有z*嚴格要求且要求z*長維修間隔的工藝該系列的大部分與標準系列相同，但是，其特點是額外的嚴密密封的磁耦合代替了徑向軸密封環(huán)。這意味著，它在操作中基本無磨損。泵的整體泄漏率小于1middot，10-6Pamiddot，m3middot，s-1。這排除了油泄漏的可能性，過程氣體和環(huán)境之間也不存在任何交換。M系列標準泵適合于Table4.19中顯示的所有應用。此外，這些泵還可用于抽吸有毒氣體的工業(yè)/化學應用以及超潔凈氣體應用：例如，用于半導體行業(yè)中的CVD和PVD工藝或排空預真空鎖/傳輸室以及用于平面屏幕的生產。M系統(tǒng)可提供的大小范圍從250m3middot，h-1到6000m3middot，h-1。表4.19：OktaLine性能數(shù)據(jù)。

而日前，一種全新型干式螺桿真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功，用國產車床替代價格昂貴的國外設備生產出螺桿轉子，不僅節(jié)能30%，還具有設備易損件少、真空度高、抽速大、使用壽命長等特點，可在冶金、電子、石油化工、航空航天等100多個領域替代進口產品　　。