XD系列單級(jí)旋片式真空泵技術(shù)性能見(jiàn)表3-54所示②XD系列單級(jí)旋片式真空泵外形及安裝尺寸。XD-10、XD-20、XD-40、XD-63、XD-100系列單級(jí)旋片式真空泵外形及安裝尺寸見(jiàn)表3-55。XD-010、XD-020、XD-040、XD-063、XD-100、XD-160、XD-250型單級(jí)旋片式真空泵外形及安裝尺寸見(jiàn)表3-56。。

　　激光雕刻機(jī)之使用水環(huán)真空泵雕刻機(jī)的保養(yǎng)方法：　　　　1）水箱水位確定在上水閥能夠流出水即可；工作8個(gè)小時(shí)內(nèi)就需要注一次水（工作中水蒸發(fā)很快，水位會(huì)逐漸下降）；水位低于上水閥就必須馬上注水；嚴(yán)謹(jǐn)真空泵缺水運(yùn)轉(zhuǎn)，缺水運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)熱會(huì)造成機(jī)封漏水；　　　　2）過(guò)濾罐正確安裝，吸附管口接到進(jìn)氣口處，用卡扣固定緊、防止漏氣；　　　　3）接線蓋打開，三相電分別引到U1/V1/W1三個(gè)接線柱上；　　　　4）電機(jī)進(jìn)水閥打開，5分鐘后，保證電機(jī)泵體內(nèi)水注滿后在通電試運(yùn)行；　　　　5）開動(dòng)電機(jī)，及時(shí)檢查電機(jī)正反轉(zhuǎn)，反轉(zhuǎn)時(shí)把U1和V1處上的電源線交換一下就可以了；然后打開雕刻機(jī)吸附閥門、檢驗(yàn)一下泵的吸力是否正常；　　　　6）真空吸附設(shè)備產(chǎn)品注意不要有粉塵落入真空系統(tǒng)，防治堵塞損壞真空泵，真空泵工作一周時(shí)間需要清洗過(guò)濾罐內(nèi)濾網(wǎng)；冬季保持室溫0℃以上，以防止真空泵內(nèi)循環(huán)水結(jié)冰而損壞真空泵；可以使用防凍液進(jìn)行防凍處理；　　　　7）水箱內(nèi)水溫不要高于70deg，，在高溫下長(zhǎng)時(shí)間工作會(huì)使氣量降低吸力下降，將會(huì)使密封圈過(guò)早老化，而導(dǎo)致真空泵漏水；　　　　8）水箱要經(jīng)常清洗，每周必須清洗一次。

油封機(jī)械泵不適于排除含有大量水蒸氣的氣體水蒸氣在壓縮過(guò)程中會(huì)凝結(jié)咸水滴，并與泵油混合形成懸浮液，不僅會(huì)使真空度下降，也能使泵腔與轉(zhuǎn)子生銹，破壞密封面。防止的措施有：①使用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵，當(dāng)泵溫為70℃～80℃時(shí)，可允許抽除含有水蒸氣分壓為1times，103Pamdash，4times，103Pa的氣體。②裝油分離器、離心式分離器或油水分離器，將混有水的機(jī)械泵油進(jìn)行處理，處理過(guò)的油再流入泵中使用。③使用吸水性強(qiáng)的干燥劑，如五氧化二磷、三氧化二鋁、氯化鈣、分子篩等做成捕集阱吸收水蒸氣。各種干燥劑性能見(jiàn)表9-6。④使用前級(jí)吸附阱，不僅能有效地吸附水蒸氣，還可阻擋機(jī)械泵油向高真空室的返流。工業(yè)上常用前兩種方法，實(shí)驗(yàn)室及小型抽氣系統(tǒng)常用后兩種方法。。

這種泵由于在泵腔內(nèi)沒(méi)有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡。5、分子泵分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是我國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場(chǎng)合的需要。6、干泵國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng)，其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。

2）機(jī)組運(yùn)行正常、真空穩(wěn)定情況下，高效真空泵組投入運(yùn)行、原有抽真空設(shè)備切除做備用，此時(shí)蒸汽和不凝結(jié)氣體進(jìn)入羅茨泵，加壓后經(jīng)冷卻器冷凝進(jìn)入下級(jí)水環(huán)真空泵，由于提高了水環(huán)真空泵的入口壓力，可保證水環(huán)真空泵高效穩(wěn)定運(yùn)行（見(jiàn)圖1、羅茨——水環(huán)真空泵組流程圖）3）當(dāng)機(jī)組真空系統(tǒng)發(fā)生嚴(yán)重泄漏，高效真空泵不能維持凝汽器真空時(shí)將原有抽真空設(shè)備期中一組投入運(yùn)行滿足真空要求。4）高效真空泵組在檢修或設(shè)備故障時(shí)，原有抽真空設(shè)備投入運(yùn)行，確保真空要求。目前兩臺(tái)真空泵為一運(yùn)一備方式，改造后機(jī)組正常運(yùn)行時(shí)主要以高效真空泵組維持真空，實(shí)現(xiàn)一運(yùn)兩備，設(shè)備之間有可靠的聯(lián)鎖控制系統(tǒng)。改造后機(jī)組的真空系統(tǒng)耗電量明顯降低同時(shí)安全可靠性大幅提高。具體方案如下（見(jiàn)圖2高效真空泵安裝示意圖）：1）抽氣管道安裝，真空泵組就位后，從111水環(huán)式真空泵抽汽入口手動(dòng)門前管道采用異徑三通（273*159*273mm）接出一路φ159mm管路接入羅茨泵入口，接入羅茨泵前串接一只手動(dòng)閥（DN150）和速關(guān)氣動(dòng)閥（廠家提供）。2）真空泵組水環(huán)泵工作水來(lái)自原水環(huán)式真空泵補(bǔ)水，從111水環(huán)式真空泵補(bǔ)水門前接出一路φ32mm管道（材質(zhì)304），接入自動(dòng)補(bǔ)水閥進(jìn)入分離罐，接入補(bǔ)水閥前安裝DN25手動(dòng)閥。3）工作水冷卻器冷卻水管道安裝，由閉冷水至熱網(wǎng)密封水管道接出一路φ57mm管道作為冷卻器進(jìn)水，由閉冷水回水母管接出一路φ57mm管道作為冷卻器出水，兩路管路用DN50手動(dòng)門作為隔離。4）汽水分離罐排氣管道安裝，高效真空泵組汽水分離罐排氣由一路φ89mm管道接至111水環(huán)式真空泵汽水分離罐排氣管路上。4.改造后的效果運(yùn)行參數(shù)對(duì)比如下：由以上表實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)表明，在工況近似的情況下，改造后抽真空系統(tǒng)與原抽真空系統(tǒng)相比，均能滿足維持凝汽器真空的要求，且改造后抽真空系統(tǒng)能耗水平僅是原有抽真空系統(tǒng)能耗水平的16.8%，即節(jié)電率達(dá)到近83.2%，每小時(shí)折合節(jié)約電量1.732×380×183×0.85÷1000≈102kW.h，即每小時(shí)節(jié)約102度電。按年平均運(yùn)行6000小時(shí)計(jì)算每年節(jié)約電量61.2萬(wàn)度。

羅茨真空泵命名規(guī)則和基本參數(shù)（摘自ZB/T7674-95），本標(biāo)準(zhǔn)適用于抽速為30L/smdash，20000L/s，工作時(shí)必須有前級(jí)泵的單級(jí)雙葉羅茨真空泵1.羅茨泵型號(hào)表示方法說(shuō)明如下：標(biāo)記示例：（1）抽速為1200L/s的羅茨真空泵，標(biāo)記為：ZJ-1200。（2）抽速為300L/s的帶旁通閥羅茨真空泵，標(biāo)記為：ZJP-300。2.羅茨泵基本參數(shù)應(yīng)符合表3-81規(guī)定。。

這意味著，它在操作中基本無(wú)磨損泵的整體泄漏率小于1middot，10-6Pamiddot，m3middot，s-1。這排除了油泄漏的可能性，過(guò)程氣體和環(huán)境之間也不存在任何交換。M系列標(biāo)準(zhǔn)泵適合于Table4.19中顯示的所有應(yīng)用。此外，這些泵還可用于抽吸有毒氣體的工業(yè)/化學(xué)應(yīng)用以及超潔凈氣體應(yīng)用：例如，用于半導(dǎo)體行業(yè)中的CVD和PVD工藝或排空預(yù)真空鎖/傳輸室以及用于平面屏幕的生產(chǎn)。M系統(tǒng)可提供的大小范圍從250m3middot，h-1到6000m3middot，h-1。表4.19：OktaLine性能數(shù)據(jù)。

多級(jí)羅茨泵ACP范圍內(nèi)的多級(jí)羅茨泵實(shí)現(xiàn)了緊湊型泵站，抽速高達(dá)285m3middot，h-1將ACP前級(jí)泵與羅茨泵組合使用，可實(shí)現(xiàn)z*終壓力高達(dá)5middot，10-3hPa。。

　　二、羅茨泵用途　　可廣泛用于輸送石油及石油產(chǎn)品（汽油可換銅泵葉）和工廠輸送各種油類和液體如原油，油漆，潤(rùn)滑油，玻璃膠，油脂酸，牙膏和淡堿性（肥皂加工）液體等，食品加工可輸送各種液體，如豆醬，醺母，糖稀等。裝卸各種油槽車及油輪等速度快、效率高，使用方便，可以正反轉(zhuǎn)工作。。

當(dāng)呈現(xiàn)這種現(xiàn)象時(shí)兩轉(zhuǎn)子嚙合變得過(guò)緊以至卡死停機(jī)后再啟動(dòng)時(shí)非常艱難或基本不轉(zhuǎn)動(dòng)燒壞電機(jī)的毛病時(shí)有發(fā)作所以必需經(jīng)常清洗泵殼內(nèi)壁和葉輪轉(zhuǎn)子表面面。清洗液可運(yùn)用5%氫氧化鈉溶液也可運(yùn)用5%的鹽酸溶液酸洗后再用清水沖洗潔凈以免腐蝕。　　二、經(jīng)常檢查泵軸的密封狀態(tài)　　泵軸的密封作用是避免泵內(nèi)被緊縮的氣體從泵軸與泵殼體之間漏出同時(shí)也避免外界空氣浸入泵內(nèi)。常采用機(jī)械密封和反螺旋密封、石棉盤根密封和橡膠密封圈密封。其中機(jī)械密封效果。近期東北工業(yè)大學(xué)新研制的磁粉密封效果很好。　　三、合理選用羅茨泵的轉(zhuǎn)數(shù)　　在羅茨泵的運(yùn)用中必需按實(shí)踐需求調(diào)整其轉(zhuǎn)數(shù)。顯然轉(zhuǎn)數(shù)的進(jìn)步可增加理論排氣量使容積效率上升出力明顯增加但是由此而來(lái)的噪音的增加將惡化操作環(huán)境。消費(fèi)中必需以增加轉(zhuǎn)數(shù)來(lái)進(jìn)步泵的才能時(shí)應(yīng)在車間噪音允許的范圍內(nèi)調(diào)整。通常不采用進(jìn)步轉(zhuǎn)數(shù)的作法。