冷凝物與油的混合將導致極限壓力增加，并降低工作液的潤滑能力這些因素可導致泵內(nèi)發(fā)生腐蝕。在排空蒸汽前，泵必須用氣鎮(zhèn)預熱至少半個小時。較高溫度的工作液會減少冷凝。減少冷凝的其他方法包括獲得僅可能低的出口壓力及分別排出冷凝物。為此，應(yīng)在入口和出口側(cè)使用凝析油分離器。必須使用油霧過濾器和垂直排氣管防止出口處的背壓。如有有萃取系統(tǒng)，應(yīng)將出口與其連接?；覊m、粒子和化學物質(zhì)在一定的限制條件內(nèi)，過濾器和分離器可以保護真空泵不受到磨損和腐蝕。裝有聚酯纖維（SAS）或環(huán)氧樹脂玻璃微纖維（DFT）濾芯的分離器能夠過濾粘合灰塵?；钚蕴窟^濾器（FAK）粘合無機蒸汽，濾芯填充是可更換的。

由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用?！　?、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求?！　?、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作?！　?、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

真空泵機組的接地線也須按潛水電纜接線工藝要求包扎；真空泵機組的接好線之后應(yīng)該在下井的同時不斷的搖測絕緣電阻觀測其變化以防井壁掛破電纜絕緣皮，若是發(fā)現(xiàn)絕緣程度急速下降到了0.5兆歐以下的時候必須要把機組提上來去檢測原因。

傳統(tǒng)工業(yè)用真空泵體積普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和潤滑機油，介質(zhì)氣體內(nèi)會含有大量油霧　　　　2、極限真空（通常稱為真空度）：將真空泵與檢測容器相連，放入待測的氣體后，進行長時間連續(xù)抽氣，當容器內(nèi)的氣體壓力不再下降而維持某一定值時，此壓力稱為泵的極限真空。該值越小則表明越接近理論真空?！　　　‰S著儀器儀表工業(yè)的發(fā)展以及人們對環(huán)保的要求，各國的微型無油真空泵應(yīng)運而生，普遍有以下規(guī)律：泵的價格和真空度指標密切相關(guān)。真空度指標是各國生產(chǎn)商努力追求的主要指標，它反應(yīng)了相應(yīng)的機械加工、密封技術(shù)、材料科學等領(lǐng)域的整體實力，也是生產(chǎn)商獲取利潤的重要手段。要提高真空度指標，就必須有更高的密封條件，因此就需要采用尺寸更、材料性能更優(yōu)異的零部件，于是生產(chǎn)成本就大幅度提高了。而且價格的增幅遠遠大于真空度指標的增幅。當然，抽氣速率的提高也會引起價格的攀升，但其增幅不大。因此，選擇微型真空泵時需要認真考慮真空度指標、抽氣速率指標、自己的使用情況等，這樣才能z*好地兼顧使用性能和成本。高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它對工作環(huán)境的清潔條件、溫度參數(shù)、介質(zhì)成分等均有更高的要求。振動和噪音。

　　激光雕刻機之使用水環(huán)真空泵雕刻機的保養(yǎng)方法：　　　　1）水箱水位確定在上水閥能夠流出水即可；工作8個小時內(nèi)就需要注一次水（工作中水蒸發(fā)很快，水位會逐漸下降）；水位低于上水閥就必須馬上注水；嚴謹真空泵缺水運轉(zhuǎn)，缺水運轉(zhuǎn)過熱會造成機封漏水；　　　　2）過濾罐正確安裝，吸附管口接到進氣口處，用卡扣固定緊、防止漏氣；　　　　3）接線蓋打開，三相電分別引到U1/V1/W1三個接線柱上；　　　　4）電機進水閥打開，5分鐘后，保證電機泵體內(nèi)水注滿后在通電試運行；　　　　5）開動電機，及時檢查電機正反轉(zhuǎn)，反轉(zhuǎn)時把U1和V1處上的電源線交換一下就可以了；然后打開雕刻機吸附閥門、檢驗一下泵的吸力是否正常；　　　　6）真空吸附設(shè)備產(chǎn)品注意不要有粉塵落入真空系統(tǒng)，防治堵塞損壞真空泵，真空泵工作一周時間需要清洗過濾罐內(nèi)濾網(wǎng)；冬季保持室溫0℃以上，以防止真空泵內(nèi)循環(huán)水結(jié)冰而損壞真空泵；可以使用防凍液進行防凍處理；　　　　7）水箱內(nèi)水溫不要高于70deg，，在高溫下長時間工作會使氣量降低吸力下降，將會使密封圈過早老化，而導致真空泵漏水；　　　　8）水箱要經(jīng)常清洗，每周必須清洗一次。

當容積減少時，氣體被壓縮，直到氣體的壓力大于一個大氣壓，排氣閥被打開，將氣體排出　　　　用油作密封泵液的必要性　　　　當前大量使用的機械真空泵，即使設(shè)計得z*好，相向運動的零件間配合精度即使很高。在泵達到極限真空時，也難以阻止氣體由低真空端向入口端ldquo，突破返流。另外，由于泵在設(shè)計制造及裝配中不可避免地存在有害空間，這也降低泵的極限真空度。油封式真空泵就是用油將相向運動的零部件和排氣閥零件間密封起來；將有害空間充填，使得高壓氣體反ldquo，突破的機會少得多，密封性能也就好得多，從而使泵能達到較高的真空度?！　　　∮头馐秸婵毡玫膽?yīng)用　　　　油封式真空泵按照結(jié)構(gòu)型式可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式四種。目前，油封式真空泵是國內(nèi)真空獲得技術(shù)中應(yīng)用z*廣的一種泵，它可單獨用作低真空設(shè)備的排氣用泵，也可用作高真空排氣時的前級真空泵。真空行業(yè)中廣泛使用的油封式機械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑閥泵。因此，它已在國民經(jīng)濟的很多部門，例如電真空、電子、輕化工、鋼鐵、有色冶煉等工業(yè)部門中發(fā)揮著越來越大的作用。由于油封式真空泵均裝有氣鎮(zhèn)裝置，故也可以抽除潮濕氣體。但現(xiàn)在還不適于抽除含氧過高、有爆炸性、對黑色金屬有腐蝕性，對泵密封油起化學作用、及含有顆?；覊m的氣體。

泊通過泵體上的縫隙、油孔及排氣閥進入泵腔，使泵腔內(nèi)所有的運動表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔之間的密封同時，油還充滿了泵腔內(nèi)的一切有害空腔，以消除它們對極限真空的影響。　?、陔p級旋片式真空泵的工作原理（圖3-23）?！　‰p級旋片式真空泵由兩個工作室組成。兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，工室是Ⅱ室的前級，工室是低真空級，Ⅱ室是較高真空級。被抽氣體由進氣管道進入Ⅱ室。當進入氣體壓力較高時，氣體經(jīng)Ⅱ室壓縮、壓強急增，被壓縮的氣體除經(jīng)通道2進人工室外，還能推開排氣閥1，從排氣閥1排出。　　當進入Ⅱ室的氣體壓力較低時，雖經(jīng)Ⅱ室的壓縮也推不開排氣閥1，氣體全部經(jīng)通道2進入工室，經(jīng)I室的繼續(xù)壓縮，由排氣閥3排出。因而雙級旋片式真空泵比單級旋片式真空泵的極限真空高。。

功率小，運轉(zhuǎn)維護費用低⑥在很寬的壓力范圍內(nèi)（1times，10^3Pa～1Pa）有很大的抽速，能迅速排出突然放出的氣體，彌補了擴散泵和油封機械泵在（1times，10^3Pamdash，1Pa）耐抽速都很小的缺陷。因此，它z*適合作增壓泵用。　　羅茨泵的缺點是泵的轉(zhuǎn)子制造較難，抽除氫氣的效果不如油增壓泵高。　　羅茨泵廣泛用于真空冶金工業(yè)的真空脫氣、真空熔煉、鋼水真空處理，以及空間模擬、低密度風洞等裝置中抽除非腐蝕性氣體。也可以用于化工、食品、醫(yī)藥、電機制造等工業(yè)的蒸餾、蒸發(fā)、干燥等生產(chǎn)過程。。

　　　　　　例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機組抽氣，要求在1mbar入口壓力時有600升/秒的抽速，并長期工作，問應(yīng)選擇多大抽速的前級泵　　　　　　先假定用30升/秒的前級泵時，壓縮比K＝600：30＝20，查得K＝20時z*大排出壓力為30mbar?！　　　　∮纱说贸觯斶x用30升/秒前級泵時，在入口壓力低于1.5mbar以下工作是可行的，但高于1.5mbar入口壓力工作時就選用大一些前級泵了。該例中，工作真空度1mbar低于1.5mbar，所以30升/秒的前級泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求?！　　　　　×硗鈶?yīng)當考慮的是，對預抽時間的要求問題，如果正常工作時間遠比預抽時間長，可選較小的前級泵；假如真空室較大，而且要求很快預抽，就要用較大的前級泵，有時為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率，機組裝有較大的預抽泵，在正常工作后停掉它，而用較小的前級泵維持，這樣做是為了節(jié)約功率?！　　　　　α_茨真空泵機組的極限壓力的要求，也是選擇前級泵的必須考慮的，對極限真空度要求較高（達1X10－3Pa～1X10－2Pa壓力）一般選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作為前級泵。極限真空度要求在（1X10－2Pa～1X10－1Pa）之間可選用單級油封機械泵作為前級泵，極限真空度要求在133～1333Pa之間可選用往復式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵?！　　　　　‘斶x用往復式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時，前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2－1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。　　　　　　選用前級泵時還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體，就不能選用油封機械泵，油封機械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體，否則將會使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機械泵作為前級泵?！　　　　　榱双@得在低入口壓力（1~100pa）時的高的抽氣速率，可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級機組，此時羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。

水蒸氣在壓縮過程中會凝結(jié)咸水滴，并與泵油混合形成懸浮液，不僅會使真空度下降，也能使泵腔與轉(zhuǎn)子生銹，破壞密封面防止的措施有：①使用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機械泵，當泵溫為70℃～80℃時，可允許抽除含有水蒸氣分壓為1times，103Pamdash，4times，103Pa的氣體。②裝油分離器、離心式分離器或油水分離器，將混有水的機械泵油進行處理，處理過的油再流入泵中使用。③使用吸水性強的干燥劑，如五氧化二磷、三氧化二鋁、氯化鈣、分子篩等做成捕集阱吸收水蒸氣。各種干燥劑性能見表9-6。④使用前級吸附阱，不僅能有效地吸附水蒸氣，還可阻擋機械泵油向高真空室的返流。工業(yè)上常用前兩種方法，實驗室及小型抽氣系統(tǒng)常用后兩種方法。。