結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；　　　　5、壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；　　　　6、轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難羅茨真空泵近幾年在國內(nèi)外得到較快的發(fā)展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業(yè)得到了廣泛的應用。。

該廠生產(chǎn)的羅茨真空泵機組包括7個系列：①羅茨泵一滑閥泵機組，②氣冷式羅茨泵一羅茨泵直排機組，③氣冷式羅茨泵一滑閥泵機組，④氣冷式羅茨泵一往復泵機組，⑤羅茨泵一水環(huán)泵機組，⑥羅茨一水環(huán)一大氣泵機組，⑦羅茨泵一油環(huán)泵機組圖9-25為JZPS300-21P機組抽速曲線。表9-15～表9-21為羅茨泵機組型號及技術(shù)參數(shù)。

由泵的連續(xù)運轉(zhuǎn)，達到連續(xù)抽氣的目的如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級（低真空級），由低真空級抽走，再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中，即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負擔，因而提高了極限真空度。旋片式真空泵的作用：1、旋片式真空泵是用以抽除特定密封容器內(nèi)的氣體，使該容器取得肯定真空的基本裝備，因為現(xiàn)代科學技巧的高度開展，真空泵的運用普及各個科學范疇和各種企業(yè)事業(yè)單位，可供冶金、化工、輕工、石油、醫(yī)療、制藥、印染、電器、電真空、半導體、食品、原子能、紡織等科研機關(guān)、大專院校、工礦企業(yè)作科研和消費與教學之用。2、因為旋片式真空泵是用彩色金屬制作，而且對比精細，全部泵的任務都是聯(lián)絡(luò)在一起的，所以旋片式真空泵不實用于抽除含氧過高的、有毒的、有爆炸性的浸蝕彩色金屬的和對真空油起化學作用的各種氣體，也不可做為收縮機和保送泵運用。如有氣鎮(zhèn)安裝的泵，可抽除肯定地的可凝汽體。3、旋片式真空泵能夠用來間接取得真空度在10~3托以下的真空作業(yè)，以及配合其它真空作業(yè)之用。4、旋片式真空泵個別在不低于5℃的室溫及不高于90％的絕對溫度的環(huán)境內(nèi)運用。旋片式真空泵的注意事項：1、使用旋片式真空泵前，按油標指示刻度加入真空泵油。旋轉(zhuǎn)三通閥，使泵的吸氣管與大氣相通，而與被抽空容器隔絕，打開排氣口。2、用手轉(zhuǎn)動皮帶輪，檢查運轉(zhuǎn)情況，無異常情況后，再接通電源，注意轉(zhuǎn)動方向。

目前，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用隨著科學技術(shù)的發(fā)展以及真空應用領(lǐng)域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護成本。其次，由于某些工藝過程中的反應物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴重變質(zhì)，使泵不能正常工作。對于普通的無油真空系統(tǒng)來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統(tǒng)顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中，2）半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒，3）除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求，4）在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵，5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。近年來，干式機械真空泵得到迅速的發(fā)展，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內(nèi)的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發(fā)研制工作，如東北大學、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級壓縮比）。

由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得平衡，所以這種泵可以直排大氣為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡。5、分子泵分子泵在國外半導體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發(fā)各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。6、干泵國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。

8、如隔膜真空泵口安裝電磁閥時，閥與隔膜真空泵應同時動作9、當隔膜真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。隔膜真空泵用途特點為蒸發(fā)、蒸餾、結(jié)晶、干燥、升華、過濾減壓、脫氣提供真空條件，以及溶媒回收、各種劇毒、強酸、強堿抽取。1.無需任何工作介質(zhì)，工作部位無摩擦。2.真空穩(wěn)定，易于控制真空度，可根據(jù)實驗需要調(diào)節(jié)。3.所有與氣體接觸的部位都用Teflon（PTFE）表面處理，有完全的抗化學腐蝕能力。4.閥片采用進口材料。5.專用電機由知名電機制造商ODM、合理的傳動設(shè)計、自冷卻排風系統(tǒng)，可長期連續(xù)運轉(zhuǎn)。6.體積小，重量輕，移動方便，節(jié)省實驗室空間。7.方便維修和保養(yǎng)。隔膜真空泵隔膜真空泵隔膜真空泵的安裝說明_隔膜真空泵。

　　　?、鄢鰪S檢驗：　　　　檢驗項目見[4.技術(shù)要求⑤、⑦、⑧、⑨、⑩和⑩]各條款其中第⑤條按ZBJ78013的規(guī)定進行檢測，其余各條用目測方法檢查?！　　　、苄褪綑z驗：　　　　檢驗項目除按出廠檢驗項目檢查外，還應檢查第4中的第⑥條，檢測方法按ZBJ78013的規(guī)定?！　　　、萦邢铝星闆r之一時，應進行型式檢驗：　　　　a.新產(chǎn)品試制定型鑒定，　　　　b.正式生產(chǎn)后，當結(jié)構(gòu)、材料、工藝有較大改變，可能影響產(chǎn)品性能時，　　　　c.正常生產(chǎn)并形成一定批量時，每年抽檢1臺～2臺，　　　　d.產(chǎn)品長期停產(chǎn)后，恢復生產(chǎn)時，　　　　e.國家質(zhì)量監(jiān)督機構(gòu)提出進行型式檢驗時。。

　　三、合理選用羅茨泵的轉(zhuǎn)數(shù)　　在羅茨泵的運用中必需按實踐需求調(diào)整其轉(zhuǎn)數(shù)顯然轉(zhuǎn)數(shù)的進步可增加理論排氣量使容積效率上升出力明顯增加但是由此而來的噪音的增加將惡化操作環(huán)境。消費中必需以增加轉(zhuǎn)數(shù)來進步泵的才能時應在車間噪音允許的范圍內(nèi)調(diào)整。通常不采用進步轉(zhuǎn)數(shù)的作法。由于泵的抽速高于額定運用值時除了用旁路閥門停止調(diào)整外還應降低轉(zhuǎn)速減少無功功耗。這樣對設(shè)備自身來說能夠減少毛病減輕振動增加功率儲藏進步過載才能同時改善操作環(huán)境降低噪音?！　∷?、羅茨真空泵的串聯(lián)運用　　在消費中常常會由于泵的出力達不到請求而將兩臺泵串聯(lián)起來運用。普通羅茨泵的高效率工作區(qū)為-300～-400mmHg柱之間要到達-500mmHg柱以上單臺泵的真空度較難完成因而可運用兩臺泵串聯(lián)。順應這種工藝所采用的串聯(lián)方式應使放在前面的泵起預抽作用后面的泵的抽速必需大于前吸泵的1.5～2倍。這樣才干發(fā)揮應有的效能?！　獾牧_茨泵串聯(lián)不只運用同類型的才能大小不同的兩泵而且也常采用不同型號的兩泵依然是使前吸泵容量小后吸泵容量大設(shè)計成同軸傳動這樣同軸補償兩泵電流變化幅度小操作便當。

圖3-81為干式旋片真空泵的工作原理圖　　干式旋片泵的轉(zhuǎn)子偏心地置于泵殼內(nèi)，上端靠近泵殼內(nèi)，形成進排氣口間的密封。當電機帶動轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動時，旋片在離心力的作用下貼緊泵腔的內(nèi)壁。在泵體內(nèi)形成多個空腔，進氣口側(cè)的空腔容積，隨轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動而增加產(chǎn)生真空而吸氣；排氣口側(cè)的空腔容積隨轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動而縮小，產(chǎn)生壓力而排氣?！　∮捎诟墒叫迷跓o油狀態(tài)下工作，所以旋片材料需具備自潤滑功能。目前，國內(nèi)外一般采用碳素材料；同時也因其無油，為減少氣體的泄漏，該泵采用多個旋片結(jié)構(gòu)。。

其工作原理類似于具有雙齒齒輪的齒輪泵，該泵從將氣體從入口（3）泵送到出口（12）一個軸由電機（1）驅(qū)動。另一軸通過齒輪室中的一對齒輪（6）同步進行。潤滑僅限于兩個軸承和齒輪室，它們通過具有壓縮環(huán)的迷宮密封（5）與吸入室（8）密封開來。由于吸入室中無摩擦，羅茨真空泵可在高轉(zhuǎn)速（1500ndash，3000rpm）下操作。無往復運動質(zhì)量還能提供無故障的動態(tài)平衡，這意味著，羅茨真空泵的運轉(zhuǎn)極其安靜，盡管其具有高轉(zhuǎn)速。設(shè)計轉(zhuǎn)子軸軸承安排在兩個側(cè)蓋中。它們在一側(cè)被設(shè)計為固定軸承，在另一側(cè)被設(shè)計為可動（松動）軸承，以實現(xiàn)殼體和轉(zhuǎn)子之間不平衡熱膨脹。軸承使用通過飛濺圓盤置換到軸承和齒輪的油進行潤滑。標準版本上驅(qū)動軸饋通與外部通過浸入在密封油中、由FPM制成的徑向軸密封環(huán)密封。為保護軸，密封環(huán)在保護套上運行，該保護套在磨損后可更換。