而我們說(shuō)到工業(yè)真空并不是指不存在任何物質(zhì)的空間，以現(xiàn)在的科學(xué)技能還無(wú)法到達(dá)絕對(duì)的真空狀態(tài)它是指具有稀薄的氣體狀態(tài)氣壓且比一尺度大氣壓小的氣體空間。一樣平常環(huán)境，一臺(tái)真空泵、一個(gè)汽水疏散器、一個(gè)真空罐和、電壓力表和控制柜都可以組成一個(gè)簡(jiǎn)略的真空機(jī)組體系。但在抽宇量多的環(huán)境下可以增長(zhǎng)幾臺(tái)真空泵并聯(lián)利用，同樣在真空罐上配有遠(yuǎn)傳壓力表來(lái)監(jiān)控真空的變革環(huán)境，議決智能控制柜時(shí)時(shí)調(diào)解真空泵的啟停，同樣也可以將這套理論套用至旋片式真空泵的原理上來(lái)。。

這排除了油泄漏的可能性，過(guò)程氣體和環(huán)境之間也不存在任何交換M系列標(biāo)準(zhǔn)泵適合于Table4.19中顯示的所有應(yīng)用。此外，這些泵還可用于抽吸有毒氣體的工業(yè)/化學(xué)應(yīng)用以及超潔凈氣體應(yīng)用：例如，用于半導(dǎo)體行業(yè)中的CVD和PVD工藝或排空預(yù)真空鎖/傳輸室以及用于平面屏幕的生產(chǎn)。M系統(tǒng)可提供的大小范圍從250m3middot，h-1到6000m3middot，h-1。表4.19：OktaLine性能數(shù)據(jù)。

①每臺(tái)機(jī)組均應(yīng)經(jīng)檢驗(yàn)合格并附帶產(chǎn)品合格證方可出廠　　　?、跈C(jī)組的檢驗(yàn)分為出廠檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)。　　　?、鄢鰪S檢驗(yàn)：　　　　檢驗(yàn)項(xiàng)目見(jiàn)[4.技術(shù)要求⑤、⑦、⑧、⑨、⑩和⑩]各條款。其中第⑤條按ZBJ78013的規(guī)定進(jìn)行檢測(cè)，其余各條用目測(cè)方法檢查?！　　　、苄褪綑z驗(yàn)：　　　　檢驗(yàn)項(xiàng)目除按出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目檢查外，還應(yīng)檢查第4中的第⑥條，檢測(cè)方法按ZBJ78013的規(guī)定?！　　　、萦邢铝星闆r之一時(shí)，應(yīng)進(jìn)行型式檢驗(yàn)：　　　　a.新產(chǎn)品試制定型鑒定，　　　　b.正式生產(chǎn)后，當(dāng)結(jié)構(gòu)、材料、工藝有較大改變，可能影響產(chǎn)品性能時(shí)，　　　　c.正常生產(chǎn)并形成一定批量時(shí)，每年抽檢1臺(tái)～2臺(tái)，　　　　d.產(chǎn)品長(zhǎng)期停產(chǎn)后，恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)，　　　　e.國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督機(jī)構(gòu)提出進(jìn)行型式檢驗(yàn)時(shí)。。

而日前，一種全新型干式螺桿真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功，用國(guó)產(chǎn)車床替代價(jià)格昂貴的國(guó)外設(shè)備生產(chǎn)出螺桿轉(zhuǎn)子，不僅節(jié)能30%，還具有設(shè)備易損件少、真空度高、抽速大、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)，可在冶金、電子、石油化工、航空航天等100多個(gè)領(lǐng)域替代進(jìn)口產(chǎn)品　　。

無(wú)油渦旋真空泵的渦旋盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線螺旋形成一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤組成的一對(duì)渦旋盤付構(gòu)成了無(wú)油渦旋真空泵的基本抽氣單元。動(dòng)渦旋盤由偏心軸驅(qū)動(dòng)與靜渦旋盤做相對(duì)擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。　　與其他種類的無(wú)油真空泵相比無(wú)油渦旋真空泵具有下述特點(diǎn)：　?、贌o(wú)油，無(wú)摩擦---非接觸，無(wú)磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；　?、诔闅饬看?--雙渦旋盤結(jié)構(gòu)與單級(jí)相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；　?、鄢闅庑矢?--帶有3-4個(gè)抽氣單元，壓差??；大氣與真空之間由0型圈密封，泄漏低；　?、芊墙佑|，良好平衡，力矩影響小，噪音低，振動(dòng)??；　　⑤結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，相同尺寸下，運(yùn)動(dòng)半徑小，運(yùn)行平穩(wěn)；　?、摅w積小，維修方便，維護(hù)費(fèi)用低；　　　?、卟捎每諝饫鋮s，無(wú)需水冷。　　該渦旋真空泵主要應(yīng)用于下述領(lǐng)域：　?、侔雽?dǎo)體行業(yè)mdash，mdash，薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；　?、诳茖W(xué)儀器行業(yè)mdash，mdash，同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器；　?、蹤C(jī)械設(shè)備行業(yè)mdash，mdash，材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)、材料提純?cè)O(shè)備；　?、芑瘜W(xué)工業(yè)；　?、葆t(yī)療設(shè)備mdash，mdash，牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備；　?、薨b行業(yè)mdash，mdash，食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備?！　≡摐u旋真空泵能夠給用戶解決真空系統(tǒng)的污染與振動(dòng)等基礎(chǔ)、共性問(wèn)題，并且使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低。因此在國(guó)外市場(chǎng)擴(kuò)展迅速，僅日本一個(gè)公司產(chǎn)品在中國(guó)z*近3年間銷售額就增長(zhǎng)了10倍。是一項(xiàng)不容忽視的技術(shù)與產(chǎn)品?！　”疚目偨Y(jié)了無(wú)油渦旋真空泵的技術(shù)發(fā)展與應(yīng)用，內(nèi)容包括從渦旋技術(shù)的發(fā)展到無(wú)油渦旋真空泵的工作原理、制造工藝、技術(shù)指標(biāo)、特點(diǎn)、基本用途和實(shí)際應(yīng)用方法；對(duì)無(wú)油渦旋真空泵技術(shù)有一個(gè)系統(tǒng)的介紹。。

本章描述的多級(jí)羅茨泵屬于ACP范圍（阿迪克森清潔泵）在一個(gè)泵中，兩個(gè)同步反向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子（1）在單個(gè)殼體中非接觸旋轉(zhuǎn)（圖4.9）。該轉(zhuǎn)子具有8字形結(jié)構(gòu)，且相互之間由窄間隙分離開(kāi)來(lái)。有四到六對(duì)轉(zhuǎn)子位于轉(zhuǎn)子軸上。每個(gè)轉(zhuǎn)子腔通過(guò)帶有噴氣口的定子盤與其他轉(zhuǎn)子分離開(kāi)來(lái)。輸送的氣體從入口（3）被抽到出口（4）、一個(gè)軸由電機(jī)（5）驅(qū)動(dòng)。另一軸通過(guò)齒輪箱中的正時(shí)齒輪（6）同步進(jìn)行。潤(rùn)滑僅限于齒輪箱和封裝的低壓和高壓軸承（9），其與吸入室（7）通過(guò)軸封（8）密封開(kāi)來(lái)。風(fēng)冷式多級(jí)羅茨泵的工作原理由于吸入室中無(wú)摩擦，羅茨真空泵可在高達(dá)6000rpm的高轉(zhuǎn)速下操作。轉(zhuǎn)子質(zhì)量圍繞軸線對(duì)稱分布還產(chǎn)生完美的動(dòng)態(tài)平衡，這意味著，盡管其轉(zhuǎn)速很高，泵的運(yùn)行卻極為安靜。。

高真空油擴(kuò)散泵的主要部件有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣流導(dǎo)管和加熱器等，如圖4-30所示　　　　擴(kuò)散泵油鍋中的泵油在真空中加熱到沸騰溫度（約200℃），產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管由各級(jí)噴嘴定向高速噴出。由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓力高于蒸氣流中該氣體的分壓力，所以被抽氣體分子就不斷地?cái)U(kuò)散到蒸氣流中。油蒸氣撞擊被抽氣體分子，使被抽氣體分子沿蒸氣流束的方向高速運(yùn)動(dòng)。氣體分子碰到泵壁又反射回來(lái)，再受到蒸氣流的碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過(guò)幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級(jí)噴嘴噴出的蒸氣流進(jìn)行多級(jí)壓縮，z*后由前級(jí)真空泵抽走。而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到油鍋中重新被加熱，如此循環(huán)工作。。

多級(jí)羅茨泵ACP范圍內(nèi)的多級(jí)羅茨泵實(shí)現(xiàn)了緊湊型泵站，抽速高達(dá)285m3middot，h-1將ACP前級(jí)泵與羅茨泵組合使用，可實(shí)現(xiàn)z*終壓力高達(dá)5middot，10-3hPa。。

（2）兩級(jí)水環(huán)式真空泵有兩個(gè)葉輪串聯(lián)工作，可以獲得更大的排出壓力或更高的真空大多是單作用泵串聯(lián)而成。實(shí)質(zhì)上是兩個(gè)單級(jí)單作用的水環(huán)泵的葉輪共用一根心軸聯(lián)接而成。它的主要特點(diǎn)是在較高真空度下，仍然具有較大的抽速，而且工作狀況穩(wěn)定。二、按吸氣和排氣方式：水環(huán)式真空泵有軸向吸排氣和徑向吸排氣之分。（1）軸向吸排氣方式，氣體的吸人和排出是通過(guò)殼體側(cè)蓋上的吸氣口和排出口進(jìn)行的，其優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、維修方便，缺點(diǎn)是氣體進(jìn)入和排出葉輪時(shí)，氣體流動(dòng)方向與葉輪葉片運(yùn)動(dòng)方向相垂直，而且氣體不能在整個(gè)葉片寬度上均勻地進(jìn)出葉輪，這就加大了氣體進(jìn)入葉輪和流出葉輪時(shí)的水力損失，降低了泵的效率。（2）采用徑向吸排氣方式時(shí)，氣體進(jìn)入和排出葉輪是通過(guò)設(shè)置在葉輪內(nèi)圓處（相當(dāng)于輪轂處）的氣體分配器上的吸氣口和排氣口來(lái)實(shí)現(xiàn)的，其優(yōu)點(diǎn)是氣體可以在葉片全寬范圍內(nèi)進(jìn)入和流出葉輪，而且還可以借助吸氣口和排氣口的形狀使氣體進(jìn)入和排出葉輪的方向與葉輪運(yùn)動(dòng)方向大體一致，這就降低了水力損失，提高了泵的效率，缺點(diǎn)是氣俸分配器結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜、加工和安裝精度較高。水環(huán)式真空泵的特點(diǎn)（1）水環(huán)式真空泵的結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單、緊湊，容易制造及方便維修。（2）水環(huán)式真空泵它的排氣量比較均勻，工作運(yùn)行可靠，使用方便。（3）水環(huán)式真空泵葉輪與泵體之間沒(méi)有摩擦，機(jī)器壽命很長(zhǎng)。（4）SK型直聯(lián)式水環(huán)真空泵與電動(dòng)機(jī)直接連接，轉(zhuǎn)速較高，內(nèi)部不需潤(rùn)滑液，輸送氣體無(wú)污染。

清洗液可運(yùn)用5%氫氧化鈉溶液也可運(yùn)用5%的鹽酸溶液酸洗后再用清水沖洗潔凈以免腐蝕　　二、經(jīng)常檢查泵軸的密封狀態(tài)　　泵軸的密封作用是避免泵內(nèi)被緊縮的氣體從泵軸與泵殼體之間漏出同時(shí)也避免外界空氣浸入泵內(nèi)。常采用機(jī)械密封和反螺旋密封、石棉盤根密封和橡膠密封圈密封。其中機(jī)械密封效果。近期東北工業(yè)大學(xué)新研制的磁粉密封效果很好?！　∪?、合理選用羅茨泵的轉(zhuǎn)數(shù)　　在羅茨泵的運(yùn)用中必需按實(shí)踐需求調(diào)整其轉(zhuǎn)數(shù)。顯然轉(zhuǎn)數(shù)的進(jìn)步可增加理論排氣量使容積效率上升出力明顯增加但是由此而來(lái)的噪音的增加將惡化操作環(huán)境。消費(fèi)中必需以增加轉(zhuǎn)數(shù)來(lái)進(jìn)步泵的才能時(shí)應(yīng)在車間噪音允許的范圍內(nèi)調(diào)整。通常不采用進(jìn)步轉(zhuǎn)數(shù)的作法。由于泵的抽速高于額定運(yùn)用值時(shí)除了用旁路閥門停止調(diào)整外還應(yīng)降低轉(zhuǎn)速減少無(wú)功功耗。這樣對(duì)設(shè)備自身來(lái)說(shuō)能夠減少毛病減輕振動(dòng)增加功率儲(chǔ)藏進(jìn)步過(guò)載才能同時(shí)改善操作環(huán)境降低噪音。