一、定片式真空泵　　其結(jié)構(gòu)簡單且使用壽命長，檢修容易，雙級泵的極限真空度可達10ndash，3Torr，但抽速較小，應用很少　　二、旋片式真空泵　　分為單級旋片式真空泵（由定子、旋片、轉(zhuǎn)子等組成，只有一個工作室）和雙級旋片式真空泵（它由兩個工作室組成，兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，Ⅰ室為Ⅱ室的前級）?！　∪⒒y式真空泵　　主要由泵體及內(nèi)部做偏心轉(zhuǎn)動的滑閥部件、半圓形的滑閥導軌、排氣閥、軸等組成。。

　　　　　　先假定用30升/秒的前級泵時，壓縮比K＝600：30＝20，查得K＝20時z*大排出壓力為30mbar　　　　　由此得出，當選用30升/秒前級泵時，在入口壓力低于1.5mbar以下工作是可行的，但高于1.5mbar入口壓力工作時就選用大一些前級泵了。該例中，工作真空度1mbar低于1.5mbar，所以30升/秒的前級泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求?！　　　　　×硗鈶斂紤]的是，對預抽時間的要求問題，如果正常工作時間遠比預抽時間長，可選較小的前級泵；假如真空室較大，而且要求很快預抽，就要用較大的前級泵，有時為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率，機組裝有較大的預抽泵，在正常工作后停掉它，而用較小的前級泵維持，這樣做是為了節(jié)約功率。　　　　　　對羅茨真空泵機組的極限壓力的要求，也是選擇前級泵的必須考慮的，對極限真空度要求較高（達1X10－3Pa～1X10－2Pa壓力）一般選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作為前級泵。極限真空度要求在（1X10－2Pa～1X10－1Pa）之間可選用單級油封機械泵作為前級泵，極限真空度要求在133～1333Pa之間可選用往復式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵?！　　　　　‘斶x用往復式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時，前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2－1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作?！　　　　　∵x用前級泵時還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體，就不能選用油封機械泵，油封機械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體，否則將會使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機械泵作為前級泵。　　　　　　為了獲得在低入口壓力（1~100pa）時的高的抽氣速率，可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級機組，此時羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。。

一、水環(huán)式真空泵類型的確定　　　　泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定　　　　泵工作時，需要注意以下兩個方面：　　　　1.盡可能要求在高效區(qū)內(nèi)，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運行。　　　　2.應避免在z*大真空度或z*大排氣壓力附近運行。在此區(qū)域內(nèi)運行，不僅效率極低，而且工作很不穩(wěn)定，易產(chǎn)生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內(nèi)運行，往往還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標志是泵內(nèi)有噪音和振動。汽蝕會導致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無法工作?！　　　「鶕?jù)以上原則，當泵所需的真空度或氣體壓力不高時，可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高，單級泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時較平坦，可選用兩級泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可選用水環(huán)－大氣泵或水環(huán)－羅茨真空機組作為抽真空裝置。　　　　如果只作真空泵用，則選用單作用泵比較好。因為單作用泵的構(gòu)造簡單，容易制造和維護，且在高真空情況下抗汽蝕性好。

由于內(nèi)部壓縮，脈沖氣體量較低這將導致耗電量降低、操作無噪音、泵內(nèi)溫度均勻分布以及冷卻水耗量降低。這使得這些泵極具成本效益，雖然其設(shè)計堅固耐用。。

中真空——干泵、雙級旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵粗/低真空——單級旋片泵、滑閥泵、液環(huán)泵、往復式真空泵。真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化。市場增長的主要驅(qū)動力來自于半導體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應用領(lǐng)域的日益擴大。目前，全球真空泵市場的年銷售額約20億美元，年增長率在7％左右。我國生產(chǎn)真空泵的廠家很多，全部真空泵的年銷售額大約在1、5億元左右（2015年），僅相當于美國Kinney公司一家真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。我國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ)，國產(chǎn)真泵已經(jīng)在各個不同領(lǐng)域得到應用并經(jīng)過驗證，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認可并受到好評，應該說我國真空泵制造業(yè)在國內(nèi)外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間。1、液環(huán)泵雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵，但在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場。在國外，液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14％，僅次于干泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我國投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡(luò)，不斷擴大在我國的市場份額。由于液環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動密集型產(chǎn)品，所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要改進設(shè)計，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。

它除了具有一般羅茨真空泵機組的一些特點外，由于采用水環(huán)式真空泵作前級泵，因此，它特別適用于抽除含較多蒸氣及有一定腐蝕性氣體的工業(yè)流程中例如：化工產(chǎn)品的真空蒸餾、真空蒸發(fā)、脫水結(jié)晶，輕紡工業(yè)的滌綸切片干燥，食品工業(yè)的冷凍干燥等工藝均可采用。表9-24給出了JZJS型羅茨泵一水環(huán)泵真空機組型號及技術(shù)參數(shù)。圖9-34為該機組抽速曲線。。

真空安全閥在有意或意外停頓的情況下將泵與真空室隔離，并使用置換氣體對泵系統(tǒng)進行排氣，防止油液上升到真空室中在開啟泵后，一旦泵中的壓力已達到真空室中的近似壓力，它稍作延遲就打開。。

解決之道：冒煙說明泵的進氣口外，包括管道、閥門、容器有修理的情況檢漏以后處理了，冒煙會結(jié)束。渦街流量計　　2、噴油，說明進氣口外有大量的漏點，甚至是進氣口暴露大氣。解決之道：封住泵的進氣口使泵運轉(zhuǎn)，如果不噴油的話，說明有漏點，排氣閥片損壞，檢查排氣閥片是否損壞，更換壞的排氣閥片。。

　　　?、萦邢铝星闆r之一時，應進行型式檢驗：　　　　a.新產(chǎn)品試制定型鑒定，　　　　b.正式生產(chǎn)后，當結(jié)構(gòu)、材料、工藝有較大改變，可能影響產(chǎn)品性能時，　　　　c.正常生產(chǎn)并形成一定批量時，每年抽檢1臺～2臺，　　　　d.產(chǎn)品長期停產(chǎn)后，恢復生產(chǎn)時，　　　　e.國家質(zhì)量監(jiān)督機構(gòu)提出進行型式檢驗時。

SZ型水環(huán)式真空泵技術(shù)性能分別見表3-15、表3-16；SZ型單級水環(huán)式真空泵特征曲線見圖3-7，圖中水溫為攝氏27deg，時的實測值；SZ-1、SZ-2型水環(huán)式真空泵外形及安裝尺寸分別見表3-18、表3-19所示；SZ-0.5、SZ-1、SZ-2、SZ-6型水環(huán)式真空泵外形及安裝尺寸分別見表3-20。