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技術(shù)知識

當前位置:技術(shù)知識

國內(nèi)的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發(fā)研制工作,如東北大學(xué)、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等

* 來源: * 作者: * 發(fā)表時間: 2021-02-02 0:00:52 * 瀏覽: 141

兩室前后串聯(lián),同向等速旋轉(zhuǎn),工室是Ⅱ室的前級,工室是低真空級,Ⅱ室是較高真空級被抽氣體由進氣管道進入Ⅱ室。當進入氣體壓力較高時,氣體經(jīng)Ⅱ室壓縮、壓強急增,被壓縮的氣體除經(jīng)通道2進人工室外,還能推開排氣閥1,從排氣閥1排出。  當進入Ⅱ室的氣體壓力較低時,雖經(jīng)Ⅱ室的壓縮也推不開排氣閥1,氣體全部經(jīng)通道2進入工室,經(jīng)I室的繼續(xù)壓縮,由排氣閥3排出。因而雙級旋片式真空泵比單級旋片式真空泵的極限真空高。。

  2、由于水環(huán)式真空泵電動機的軸承或者軸磨損所致,解決辦法檢查更換新的軸承和電機轉(zhuǎn)子軸  3、水環(huán)式真空泵的泵體與電動機的軸中心沒有校正好,導(dǎo)致聯(lián)軸器磨損損壞而發(fā)出振動及噪聲大的現(xiàn)象,解決辦法重新更換新的聯(lián)軸器或者校正好軸中心線?! ?、當真空太大時水環(huán)式真空泵也會發(fā)出一種特別刺耳的噪聲,解決辦法這時開一下水環(huán)式真空泵的氣震閥放點空氣進去.泵又能進入正常狀態(tài)了。。

2.羅茨泵基本參數(shù)應(yīng)符合表3-81規(guī)定。

由于模塊化結(jié)構(gòu),安裝很容易,且泵站中的各個泵可單獨取出,并在維修工作進行的情況下進行保養(yǎng)進氣側(cè)的羅茨泵變頻器允許在廣泛的氣體吞吐量范圍對過程參數(shù)進行調(diào)整,并允許各種不同的過程氣體。普發(fā)真空不斷監(jiān)測行業(yè)各個領(lǐng)域中工藝的動態(tài)發(fā)展,并在未來將繼續(xù)提供優(yōu)化的泵解決方案以滿足這些需求。。

2XZ型旋片式真空泵(Model2XZSlidingVaneRotaryVacuumPump)具有結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,重量輕,噪音低,振動小等優(yōu)點所以,它適用于作擴散泵的前級泵,而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如:質(zhì)譜儀器,冰箱流水線,真空冷凍干燥機等。XD型旋片式真空泵(ModelXDSlidingVaneRotaryVacuumPump)可以在任意入口壓強下工作,已普遍應(yīng)用于食品的真空包裝,塑料工業(yè)的真空吸塑成形。印刷行業(yè)的紙張輸送,真空夾具,以及真空吸引等。SZ、SK系列水環(huán)式真空泵(ModelSZWaterRingVacuumPump)主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕,不溶于水,含有少量固體顆粒的氣體,以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被廣泛應(yīng)用于機械、制藥、食品、石油化工等行業(yè)中。2SK、2SK-P1系列雙級水環(huán)式真空泵(Model2SK、2SK-P1WaterRingVacuumPump)主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。

圖9-30為該機組抽速曲線。

對于普通的無油真空系統(tǒng)來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜而使用適當型式的干式機械真空泵,則可以達到理想的使用效果。干式機械真空泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個方面:1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中,2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒,3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求,4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵,5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。近年來,干式機械真空泵得到迅速的發(fā)展,國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內(nèi)的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發(fā)研制工作,如東北大學(xué)、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前,干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等,這類泵的速度較低,適用于小容量高壓縮比(單級壓縮比)。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等,其速度較高,適用大容量,低壓縮比(指單級壓縮比)。不同類型的干式泵具有各自的特點。使用時可根據(jù)不同的用途加以選擇。

4.吸程太高,解決方法:檢查現(xiàn)有的凈壓頭(入口管線太小或太長會造成很大的磨擦損失)5.葉輪或管線受堵,解決方法:檢查有無障礙物。6.轉(zhuǎn)動方向不對,解決方法:檢查轉(zhuǎn)動方向。工作原理:1.s*先應(yīng)該充分了解被抽氣體成分。如氣體中含不含可凝蒸氣、有無顆粒灰塵、有無腐蝕性、爆炸性等。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。如抽取氣體還有腐蝕性,則須選用不銹鋼材質(zhì)。若抽取的氣體具有爆炸性,則應(yīng)該選擇水環(huán)式真空泵并且配防爆電機,因為水環(huán)式真空泵整個工作過程是等溫的。2.真空設(shè)備或者零部件對油污染的要求。若設(shè)備嚴格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)式真空泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。若要求不嚴格,可以選擇有油泵,并且加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。

全新QSV205-110(55-37kW)變頻螺桿真空泵系列相比傳統(tǒng)真空泵,可實現(xiàn)節(jié)能約50%據(jù)了解,QSV系列真空泵的新設(shè)計不僅堅固耐用,且可實現(xiàn)在客戶需要的工作壓力段提供的性能,可滿足不同客戶的需求,適用于印刷與造紙、木工行業(yè)、橡膠及塑料、食品加工、肉類包裝、研發(fā)系統(tǒng)、電子工業(yè)、制藥、材料處理等領(lǐng)域。該款新產(chǎn)品擁有其先進的技術(shù)優(yōu)勢和良好的性能特點,這將會為更多的客戶提供高效的真空解決方案,從應(yīng)用的角度可給用戶帶來極為簡便而且堅固耐用的產(chǎn)品,其市場的需求量也會大幅度提升。。

一個軸由電機(1)驅(qū)動另一軸通過齒輪室中的一對齒輪(6)同步進行。潤滑僅限于兩個軸承和齒輪室,它們通過具有壓縮環(huán)的迷宮密封(5)與吸入室(8)密封開來。由于吸入室中無摩擦,羅茨真空泵可在高轉(zhuǎn)速(1500ndash,3000rpm)下操作。無往復(fù)運動質(zhì)量還能提供無故障的動態(tài)平衡,這意味著,羅茨真空泵的運轉(zhuǎn)極其安靜,盡管其具有高轉(zhuǎn)速。設(shè)計轉(zhuǎn)子軸軸承安排在兩個側(cè)蓋中。它們在一側(cè)被設(shè)計為固定軸承,在另一側(cè)被設(shè)計為可動(松動)軸承,以實現(xiàn)殼體和轉(zhuǎn)子之間不平衡熱膨脹。軸承使用通過飛濺圓盤置換到軸承和齒輪的油進行潤滑。標準版本上驅(qū)動軸饋通與外部通過浸入在密封油中、由FPM制成的徑向軸密封環(huán)密封。為保護軸,密封環(huán)在保護套上運行,該保護套在磨損后可更換。如果與外部之間需要進行嚴密密封,泵還可通過帶有罐裝置的永磁體耦合方式驅(qū)動。