真空泵機(jī)組的接線，會(huì)把三芯電纜與外接電纜剝出的銅絲部分對(duì)插起來，然后用一根細(xì)銅絲按圖示樣綁扎緊，剩余部分剪去，用剪刀按平，防止扎手；就此進(jìn)行接線的時(shí)候，應(yīng)該把真空泵三個(gè)線頭分別用焊錫焊牢，要求焊頭表面光滑，無毛刺及假焊現(xiàn)象，如果沒有焊牢或不光滑，應(yīng)對(duì)真空泵重新焊接，直到達(dá)到要求為止真空泵機(jī)組的接線，必須用塑料膠帶把三跟線包在一起，包扎兩層，層超過每根導(dǎo)線絕緣層末端50mm以上，第二層超過層末端50mm；包扎好之后要取一盆涼水將包扎好的線頭安全浸泡在水中，12小時(shí)后，用500V兆歐表測(cè)量絕緣不能低于50兆歐，否則應(yīng)重新包扎直到達(dá)到要求為止。真空泵機(jī)組的接地線也須按潛水電纜接線工藝要求包扎；真空泵機(jī)組的接好線之后應(yīng)該在下井的同時(shí)不斷的搖測(cè)絕緣電阻觀測(cè)其變化以防井壁掛破電纜絕緣皮，若是發(fā)現(xiàn)絕緣程度急速下降到了0.5兆歐以下的時(shí)候必須要把機(jī)組提上來去檢測(cè)原因。。

泵內(nèi)形成冷凝物增加了極限壓力，導(dǎo)致腐蝕，且z*壞情況下，將導(dǎo)致泵故障在無氣鎮(zhèn)的情況下，ACP泵可輸送水分含量高達(dá)5%的介質(zhì)。使用標(biāo)準(zhǔn)的泵氣鎮(zhèn)，水蒸汽耐受性為10hPa且水蒸氣的能力為100gmiddot，h-1。在特殊泵版本（CV，可冷凝蒸汽）增加氣鎮(zhèn)吞吐量，可實(shí)現(xiàn)水蒸汽耐受性約為100hPa，水蒸氣的能力為700至1000gmiddot，h-1，這取決于環(huán)境溫度。至于旋片式真空泵：在排空蒸汽前，泵體必須用氣鎮(zhèn)預(yù)熱至少半個(gè)小時(shí)。較高溫度的泵體減少冷凝。減少冷凝的其他方法包括獲得盡可能低的出口壓力及分別排出冷凝物。必須使用垂直排氣管道防止出口處的背壓。如有有萃取系統(tǒng)，應(yīng)將出口與其連接?；覊m和粒子如果沒有對(duì)大粒子物質(zhì)的進(jìn)入進(jìn)行控制，在z*壞情況下，ACP系列多級(jí)羅茨泵可堵塞并徹底失效。為此，在含塵工藝或如玻璃制造中，在進(jìn)氣側(cè)安裝過濾器以防止造成破壞。

　　因此，選擇前級(jí)泵的抽速，要根據(jù)羅茨真空泵的長期工作壓力范圍考慮　　例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機(jī)組抽氣，要求在1mbar入口壓力時(shí)有600升/秒的抽速，并長期工作，問應(yīng)選擇多大抽速的前級(jí)泵?！　∠燃俣ㄓ?0升/秒的前級(jí)泵時(shí)，壓縮比K=600：30=20得出K=20時(shí)排出壓力為30mbar?！　∮纱说贸觯?dāng)選用30升/秒前級(jí)泵時(shí)，在入口壓力低于1.5mbar以下工作是可行的，但高于1.5mbar入口壓力工作時(shí)就選用大一些前級(jí)泵了。該例中，工作真空度1mbar低于1.5mbar，所以30升/秒的前級(jí)泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求?！　×硗鈶?yīng)當(dāng)考慮的是，對(duì)預(yù)抽時(shí)間的要求問題，如果正常工作時(shí)間遠(yuǎn)比預(yù)抽時(shí)間長，可選較小的前級(jí)泵，假如真空室較大，而且要求很快預(yù)抽，就要用較大的前級(jí)泵，有時(shí)為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率，機(jī)組裝有較大的預(yù)抽泵，在正常工作后停掉它，而用較小的前級(jí)泵維持，這樣做是為了節(jié)約功率?！　?duì)羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要求，也是選擇前級(jí)泵的必須考慮的，對(duì)極限真空度要求較高（達(dá)1X10-3Pa～1X10-2Pa壓力）一般選用雙級(jí)旋片式油封機(jī)械泵或雙級(jí)滑閥機(jī)械泵作為前級(jí)泵。極限真空度要求在（1X10-2Pa～1X10-1Pa）之間可選用單級(jí)油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵，極限真空度要求在133～1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級(jí)泵?！　‘?dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級(jí)泵時(shí)，前級(jí)泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作?！　∵x用前級(jí)泵時(shí)還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體，就不能選用油封機(jī)械泵，油封機(jī)械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體，否則將會(huì)使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時(shí)，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵。

該機(jī)組是以羅茨真空泵為主泵，以旋片泵為前級(jí)泵并配有電磁閥，管路等組成的真空獲得設(shè)備它具有結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、抽氣能力大、抽氣時(shí)間短等特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于真空冶金、真空脫氣、真空鍍膜以及空間模擬、低密度風(fēng)洞等裝置中，以抽除非腐蝕性氣體，還可用于醫(yī)藥、食品、電子、化工等工業(yè)的蒸餾、蒸發(fā)、干燥等生產(chǎn)過程。其型號(hào)及技術(shù)性能見表9-31。。

①XD系列單級(jí)旋片式真空泵技術(shù)性能XD系列單級(jí)旋片式真空泵技術(shù)性能見表3-54所示。②XD系列單級(jí)旋片式真空泵外形及安裝尺寸。XD-10、XD-20、XD-40、XD-63、XD-100系列單級(jí)旋片式真空泵外形及安裝尺寸見表3-55。XD-010、XD-020、XD-040、XD-063、XD-100、XD-160、XD-250型單級(jí)旋片式真空泵外形及安裝尺寸見表3-56。。

　　羅茨泵的缺點(diǎn)是泵的轉(zhuǎn)子制造較難，抽除氫氣的效果不如油增壓泵高　　羅茨泵廣泛用于真空冶金工業(yè)的真空脫氣、真空熔煉、鋼水真空處理，以及空間模擬、低密度風(fēng)洞等裝置中抽除非腐蝕性氣體。也可以用于化工、食品、醫(yī)藥、電機(jī)制造等工業(yè)的蒸餾、蒸發(fā)、干燥等生產(chǎn)過程。。

如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)?！　奶岣哒婵毡脩?yīng)用能力的基礎(chǔ)上，對(duì)于產(chǎn)品整體應(yīng)用性的不斷發(fā)揮，可以加大對(duì)產(chǎn)品各方面發(fā)展的有效性，以發(fā)展的優(yōu)勢(shì)推動(dòng)不斷擴(kuò)大其應(yīng)用能力的加強(qiáng)，做好產(chǎn)品實(shí)用性基礎(chǔ)的擴(kuò)展，以充分發(fā)揮其效果的實(shí)際應(yīng)用，做為產(chǎn)品品質(zhì)的各方面要求，是以不斷提高的方式帶動(dòng)其運(yùn)行的提升，充分發(fā)揮其各方面能力的不斷擴(kuò)大，以促進(jìn)產(chǎn)品整體利用率的提升?！　≌婵毡脵C(jī)組渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:①半導(dǎo)體行業(yè):薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備，②科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、真空泵機(jī)組極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器，③機(jī)械設(shè)備行業(yè):材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備、真空過濾設(shè)備、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備，④醫(yī)療設(shè)備行業(yè):牙科儀器、透析機(jī)，生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備，⑤包裝行業(yè):食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備，⑥真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無油真空系統(tǒng)的配置。它的主要運(yùn)動(dòng)件只有一個(gè)動(dòng)渦旋盤，因而動(dòng)力傳遞簡單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、整機(jī)尺寸小，動(dòng)、靜渦旋盤之間、動(dòng)盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小，工作可靠性高、壽命長，易于維修，維修費(fèi)用低，容積效率高。采用空氣冷卻，無需水冷。。

水環(huán)式真空泵的優(yōu)點(diǎn)1）結(jié)構(gòu)簡單，制造精度要求不高，容易加工2）結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，無須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。3）壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。4）由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。5）吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡單，維修方便。水環(huán)式真空泵的缺點(diǎn)1）效率低，一般在30%左右，較好的可達(dá)50%.2）真空度低，這不僅是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除易燃、易爆的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點(diǎn)，盡管它效率低，仍然得到了廣泛的應(yīng)用。

在短時(shí)間內(nèi)水都是循環(huán)利用的，為了包管不會(huì)因?yàn)樗疁厣叨绊懻婵毡玫男阅?，必須加冷卻塔大概散熱器包管循環(huán)用水不會(huì)過高當(dāng)園地影響而導(dǎo)致循環(huán)用水壓力不夠時(shí)可以外加增長泵對(duì)管道增長，從而讓真空泵的供水量富足。從理論上來講，真空便是不存在任何物質(zhì)的空間狀態(tài)。人們通常用帕斯卡或托爾做為壓力的單位。而我們說到工業(yè)真空并不是指不存在任何物質(zhì)的空間，以現(xiàn)在的科學(xué)技能還無法到達(dá)絕對(duì)的真空狀態(tài)。它是指具有稀薄的氣體狀態(tài)氣壓且比一尺度大氣壓小的氣體空間。一樣平常環(huán)境，一臺(tái)真空泵、一個(gè)汽水疏散器、一個(gè)真空罐和、電壓力表和控制柜都可以組成一個(gè)簡略的真空機(jī)組體系。但在抽宇量多的環(huán)境下可以增長幾臺(tái)真空泵并聯(lián)利用，同樣在真空罐上配有遠(yuǎn)傳壓力表來監(jiān)控真空的變革環(huán)境，議決智能控制柜時(shí)時(shí)調(diào)解真空泵的啟停，同樣也可以將這套理論套用至旋片式真空泵的原理上來。。

這排除了油泄漏的可能性，過程氣體和環(huán)境之間也不存在任何交換M系列標(biāo)準(zhǔn)泵適合于Table4.19中顯示的所有應(yīng)用。此外，這些泵還可用于抽吸有毒氣體的工業(yè)/化學(xué)應(yīng)用以及超潔凈氣體應(yīng)用：例如，用于半導(dǎo)體行業(yè)中的CVD和PVD工藝或排空預(yù)真空鎖/傳輸室以及用于平面屏幕的生產(chǎn)。M系統(tǒng)可提供的大小范圍從250m3middot，h-1到6000m3middot，h-1。表4.19：OktaLine性能數(shù)據(jù)。