然而，要實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)，羅茨真空泵必須配備相應(yīng)強(qiáng)大的電機(jī)，并且必須提供向大氣側(cè)的出口閥，而不是溢流閥。

它于1944年s*先出現(xiàn)于德國(guó)，是為適應(yīng)在10～1000Pa壓力范圍內(nèi)具有大抽速的真空熔煉系統(tǒng)而作為機(jī)械增壓泵使用　　　　2、分類：根據(jù)羅茨真空泵工作壓力范圍的不同，分為：　　　　（1）、直排大氣的低真空羅茨泵；　　　?。?）、中真空羅茨泵（機(jī)械增壓泵）；　　　　（3）、高真空多級(jí)羅茨泵?！　　　?guó)內(nèi)用量z*多的為中真空羅茨泵?！　　　《?、羅茨真空泵的特點(diǎn)：　　　　與其它油封式真空泵相比有以下特點(diǎn)：　　　　1、在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；　　　　2、轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤(rùn)滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動(dòng)功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；　　　　3、泵腔內(nèi)無(wú)需用油密封和潤(rùn)滑，可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染；　　　　4、泵腔內(nèi)無(wú)壓縮，無(wú)排氣閥。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；　　　　5、壓縮比較低，對(duì)氫氣抽氣效果差；　　　　6、轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。羅茨真空泵近幾年在國(guó)內(nèi)外得到較快的發(fā)展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。。

此外，氣鎮(zhèn)對(duì)極限壓力的影響較低，因?yàn)闅怄?zhèn)僅允許在高壓力級(jí)使用真空安全閥根據(jù)所涉及的泵類型，旋片式真空泵可能配備真空安全閥。真空安全閥在有意或意外停頓的情況下將泵與真空室隔離，并使用置換氣體對(duì)泵系統(tǒng)進(jìn)行排氣，防止油液上升到真空室中。在開(kāi)啟泵后，一旦泵中的壓力已達(dá)到真空室中的近似壓力，它稍作延遲就打開(kāi)。。

表9-22給出了機(jī)組型號(hào)及技術(shù)參數(shù)圖9-27為抽速曲線，圖9-28及圖9-29為外形尺寸。。

　　3、被抽氣體的溫度可能過(guò)高解決之道：降低被抽氣體的溫度，或可以加一個(gè)相應(yīng)的換熱器?！　?、泵內(nèi)的油路不通或者不暢，泵腔內(nèi)沒(méi)有保持一定量的油量。解決之道：檢查油路是否暢通，并加同類型的真空泵油?！　?、配合的間隙改大。這是長(zhǎng)期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等，造成旋片式真空泵和定子之間磨損后的間隙增大。解決之道：檢查間隙是否過(guò)大，更換新的零部件。。

由于使用了特殊材料，這些泵的腐蝕性氣體設(shè)備使其還可使用強(qiáng)氧化劑，如NF3該泵廣泛的溫度范圍使其能夠適應(yīng)各種不同的工藝，如低溫下的鎢沉積或高溫下的氮化物沉積。高效的電機(jī)產(chǎn)生低壓力下的能源節(jié)約，并因其高扭矩，在泵停機(jī)后提供良好的啟動(dòng)性能。得益于它們相同的接口和相同的介質(zhì)連接，A3H系列型號(hào)可與P系列泵理想兼容。這意味著，如果現(xiàn)有生產(chǎn)設(shè)備上發(fā)生工藝改變，通過(guò)更換泵，使用z*小的安裝工作就可獲得優(yōu)化的泵解決方案。使用第三級(jí)羅茨輔助A1803H型號(hào)，可提供緊湊、極其強(qiáng)大的泵站，具有z*大抽速，適合于CVD工藝。AD73KH在空運(yùn)行流程泵上采用變頻控制的羅茨泵，羅茨泵在其本身的框架內(nèi)具有額定抽速4500m3middot，h-1。由于模塊化結(jié)構(gòu)，安裝很容易，且泵站中的各個(gè)泵可單獨(dú)取出，并在維修工作進(jìn)行的情況下進(jìn)行保養(yǎng)。進(jìn)氣側(cè)的羅茨泵變頻器允許在廣泛的氣體吞吐量范圍對(duì)過(guò)程參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，并允許各種不同的過(guò)程氣體。普發(fā)真空不斷監(jiān)測(cè)行業(yè)各個(gè)領(lǐng)域中工藝的動(dòng)態(tài)發(fā)展，并在未來(lái)將繼續(xù)提供優(yōu)化的泵解決方案以滿足這些需求。。

粗/低真空——單級(jí)旋片泵、滑閥泵、液環(huán)泵、往復(fù)式真空泵真空泵的市場(chǎng)根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來(lái)自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。目前，全球真空泵市場(chǎng)的年銷售額約20億美元，年增長(zhǎng)率在7％左右。我國(guó)生產(chǎn)真空泵的廠家很多，全部真空泵的年銷售額大約在1、5億元左右（2015年），僅相當(dāng)于美國(guó)Kinney公司一家真空泵的年銷售額。通過(guò)對(duì)全球真空泵市場(chǎng)的分析我們可以看出，各類真空泵的市場(chǎng)及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。我國(guó)真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ)，國(guó)產(chǎn)真泵已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過(guò)驗(yàn)證，有些泵還出口國(guó)外，得到國(guó)外用戶的認(rèn)可并受到好評(píng)，應(yīng)該說(shuō)我國(guó)真空泵制造業(yè)在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)仍然有著巨大的發(fā)展空間。1、液環(huán)泵雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵，但在我國(guó)的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場(chǎng)。在國(guó)外，液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場(chǎng)的14％，僅次于干泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我國(guó)投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡(luò)，不斷擴(kuò)大在我國(guó)的市場(chǎng)份額。由于液環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動(dòng)密集型產(chǎn)品，所以國(guó)產(chǎn)液環(huán)泵在價(jià)格上有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì)，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。2、滑閥泵由于滑閥泵比較耐用、可靠，國(guó)內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級(jí)泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國(guó)外各真空廠都在中國(guó)尋找合作伙伴。

抽速范圍從200m3middot，h-1到幾千m3middot，h-1典型的K0值在10和75之間。壓縮比受到兩方面的不利影響：■■回流到活塞和殼體之間的間隙■■通過(guò)活塞表面吸附而沉積在出口側(cè)并在轉(zhuǎn)向吸入側(cè)后又重新解吸的氣體。在出口壓力為10-2至1hPa的情況下，分子流在密封間隙中占主導(dǎo)地位，由于其低電導(dǎo)率，這導(dǎo)致少量回流。然而，通過(guò)吸附被吸回的氣體體積，這與泵送的氣體體積相比相對(duì)較高，降低了壓縮比。在1至10hPa范圍內(nèi)，K0是z*高的，因?yàn)榉肿恿饕虮妹芊忾g隙的低入口壓力而仍然占主導(dǎo)地位，因此回流較低。由于通過(guò)吸附的氣體輸送不是壓力的作用，它遠(yuǎn)沒(méi)有通過(guò)抽速輸送的壓力比例氣體流量重要。在壓力超過(guò)10hPa時(shí)，間隙中出現(xiàn)層流且間隙電導(dǎo)率顯著增加，這導(dǎo)致壓縮比下降。這種影響在氣冷羅茨泵中特別明顯，該泵實(shí)現(xiàn)的壓縮比僅約為K0=10。間隙寬度對(duì)壓縮比具有重大影響。然而，由于活塞與殼體不同的熱膨脹，它們不得低于一定的z*小值，以避免轉(zhuǎn)子和定子接觸。

由于水流冷卻，幾乎沒(méi)有熱被耗散到大氣中這減少了任何現(xiàn)有空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的熱負(fù)荷并降低其能量消耗。初級(jí)螺桿泵的應(yīng)用概述：■■干燥、冷凍干燥■■電子束焊接■■冶金■■涂料■■預(yù)真空鎖■■化學(xué)應(yīng)用。

為此，應(yīng)在入口和出口側(cè)使用凝析油分離器必須使用油霧過(guò)濾器和垂直排氣管防止出口處的背壓。如有有萃取系統(tǒng)，應(yīng)將出口與其連接?；覊m、粒子和化學(xué)物質(zhì)在一定的限制條件內(nèi)，過(guò)濾器和分離器可以保護(hù)真空泵不受到磨損和腐蝕。裝有聚酯纖維（SAS）或環(huán)氧樹(shù)脂玻璃微纖維（DFT）濾芯的分離器能夠過(guò)濾粘合灰塵。活性炭過(guò)濾器（FAK）粘合無(wú)機(jī)蒸汽，濾芯填充是可更換的。流入的烴（油蒸汽）可在加熱催化陷阱（URB）中進(jìn)行催化焚燒，并在沸石陷阱（ZFO或ST）中吸收各種蒸汽。當(dāng)達(dá)到飽和時(shí)，可通過(guò)烘烤它們使其再生。冷凝物可收集在凝析分離器（KAS或CT）中，并手動(dòng)排出。化學(xué)除油過(guò)濾器（OFC）借助集成在旋片式真空泵中的油泵清理泵油。在氣體吞吐量高且使用氣鎮(zhèn)操作時(shí)，油霧被夾帶出泵。