（5）當(dāng)抽取氧氣的濃度大于空氣中氧氣的含量，由于氧化和工作液老化的原因，不能使用礦物油在這種情況下，必須使用經(jīng)過BAM認(rèn)證適合于氧氣的特殊用油。此時(shí)，請(qǐng)注意，在泵的工作溫度下，所使用的工作液具有非常低的蒸汽壓力，因此在總壓力（油液的蒸汽壓力）的限制下，可實(shí)現(xiàn)所需的極限壓力。3、標(biāo)注進(jìn)氣口和排氣管道的尺寸（1）進(jìn)氣口和排氣口的公稱直徑是由生產(chǎn)商根據(jù)真空泵的泵速進(jìn)行設(shè)計(jì)的。因此，進(jìn)氣管道與真空泵的公稱直徑是否符合至關(guān)重要，否則由于電導(dǎo)損耗，尤其是在分子流范圍內(nèi)的電導(dǎo)損耗會(huì)導(dǎo)致泵速嚴(yán)重下降。排氣管道也要與泵的公稱直徑相一致，否側(cè)公稱尺寸過小或氣體流量過大都會(huì)導(dǎo)致不可接受的背壓，這給真空泵帶來持續(xù)的機(jī)械壓力，并導(dǎo)致泵的磨損和故障增加。另外，噪音水平也會(huì)顯著上升。（2）如果排氣管道向上延伸，那么其點(diǎn)處應(yīng)形成虹吸管一樣的形狀，這樣管道中上升的冷凝蒸汽就不會(huì)重新流回到泵體內(nèi)。虹吸管可以通過底部出口清空。另外，在排氣管道中，冷凝分離器可以安裝在泵噴頭上方20-50cm米處，這樣也可以對(duì)冷凝液進(jìn)行收集。我們不建議將過濾器直接安裝在真空泵的排氣管道上，因?yàn)橹苯酉噙B，泵體的熱量就會(huì)傳遞到冷凝器上，導(dǎo)致冷凝效果降低。

對(duì)于抽速在高壓下的下降也有著類似的原因，因?yàn)樵谶@種情況下，氣體通過內(nèi)部壓縮被壓縮到壓力超過氣壓，且回流因高壓差而顯著增加與泵一起的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備包括：入口濾網(wǎng)、帶恒溫閥和溫計(jì)的水流冷卻、消聲器，帶止回閥和帶減震器的框架式設(shè)計(jì)。該泵由適合于50和60Hz（3000或3600rpm）的三相、溫度監(jiān)控異步電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)。配件灰塵分離器（SAS）可用作螺桿泵的配件。可提供各種類型，以適合于泵上的連接法蘭。D1類型二酯油用作工作液。。

（2）抽速為300L/s的帶旁通閥羅茨真空泵，標(biāo)記為：ZJP-3002.羅茨泵基本參數(shù)應(yīng)符合表3-81規(guī)定。。

因此，選擇微型真空泵時(shí)需要認(rèn)真考慮真空度指標(biāo)、抽氣速率指標(biāo)、自己的使用情況等，這樣才能z*好地兼顧使用性能和成本高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它對(duì)工作環(huán)境的清潔條件、溫度參數(shù)、介質(zhì)成分等均有更高的要求。振動(dòng)和噪音。泵的抽氣速率和真空度越高，振動(dòng)和噪音也越大。二、真空度單位的解釋對(duì)于真空度的標(biāo)識(shí)通常有兩種方法，一是用絕對(duì)壓力（即：絕對(duì)真空度）標(biāo)識(shí)，二是用相對(duì)壓力（即：相對(duì)真空度）標(biāo)識(shí)。所謂絕對(duì)壓力是指，真空泵與檢測容器相連，經(jīng)過足夠時(shí)間連續(xù)抽氣后，容器內(nèi)的壓力不再繼續(xù)下降而維持某一定值，這時(shí)容器內(nèi)的氣體壓力值就是泵的絕對(duì)壓力。如果容器內(nèi)絕對(duì)沒有氣體，那么絕對(duì)壓力就是零，這是理論真空狀態(tài)。在實(shí)際情況中，真空泵的絕對(duì)壓力值介于0～101.325KPa之間。絕對(duì)壓力值需要用絕對(duì)壓力儀表測量，在20℃、海拔高度＝0的地方，儀表的初始值為101.325KPa。相對(duì)真空度是指被測對(duì)象的壓力與測量地點(diǎn)大氣壓的差值。用普通真空表測量。

⑥在很寬的壓力范圍內(nèi)（1times，10^3Pa～1Pa）有很大的抽速，能迅速排出突然放出的氣體，彌補(bǔ)了擴(kuò)散泵和油封機(jī)械泵在（1times，10^3Pamdash，1Pa）耐抽速都很小的缺陷因此，它z*適合作增壓泵用?！　×_茨泵的缺點(diǎn)是泵的轉(zhuǎn)子制造較難，抽除氫氣的效果不如油增壓泵高?！　×_茨泵廣泛用于真空冶金工業(yè)的真空脫氣、真空熔煉、鋼水真空處理，以及空間模擬、低密度風(fēng)洞等裝置中抽除非腐蝕性氣體。也可以用于化工、食品、醫(yī)藥、電機(jī)制造等工業(yè)的蒸餾、蒸發(fā)、干燥等生產(chǎn)過程。。

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了抽速為30L/smdash，5000L/s的羅茨真空泵機(jī)組的型式與基本參數(shù)、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存　　　　本標(biāo)準(zhǔn)適用于以羅茨真空泵為主泵或主泵和中間泵，以滑閥真空泵、旋片真空泵、液（水、油）環(huán)真空泵為前級(jí)泵所組成的二級(jí)或三級(jí)羅茨真空泵機(jī)組（以下簡稱機(jī)組）o。

當(dāng)代真空技術(shù)在半導(dǎo)體工業(yè)、電子工業(yè)、薄膜制備等工藝過程中的應(yīng)用，迫切要求無油蒸氣污染的清潔真空此外在這些制造工藝中，被抽氣體往往有腐蝕性蒸氣或固體顆粒，嚴(yán)重影響油封泵的使用壽命。因此，近年來世界各國相繼研制出工作在10^5Pamdash，0.1Pa區(qū)域內(nèi)的干式真空泵，以滿足對(duì)無油排氣工藝的要求?！　「墒秸婵毡弥两駴]有明確定義，就代替油封式機(jī)械泵而言，一般通用的說法是：能在10^5Pa（1大氣壓）mdash，10^-2Pa的壓力范圍內(nèi)工作；在泵腔內(nèi)不使用任何油類和液體，排氣口與大氣相通，能直接向大氣排氣的泵稱為干式兵空泵，又稱無油真空泵。　　干式真空泵種類很多，按工作原理可分為兩類：①容積式干式真空泵，例如：多級(jí)羅茨泵、爪型泵、往復(fù)式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等，這種干式泵的極限壓力一般為0.1Pamdash，10Pa，抽速為0.01msup3，/smdash，0.04msup3，/s。②動(dòng)量傳遞式干式真空泵，例如：渦輪式干泵。排氣側(cè)與大氣相接，在粘滯流狀態(tài)下壓縮比較高。可從10^5Pa（1大氣壓）抽到10^-2Pa在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和軸向流復(fù)合式結(jié)構(gòu)，多級(jí)串聯(lián)。這種渦輪式干泵的極限壓力約為10^-2Pa，抽速為0.02msup3，/smdash，0.15msup3，/s牽引型干泵也屬于動(dòng)量傳輸式干式泵?！　∵@些干式泵和油封式機(jī)械泵相比，在各自的極限壓力條件下，其殘余氣體成分全然不同。分析結(jié)果表明，油封泵的殘余氣體，主要成分為CnHm（碳?xì)浠衔铮?，而于式泵的殘余氣體的主要成分為空氣，這就證實(shí)了用干式泵抽氣基本上不被油蒸氣污染。

M系列可用于對(duì)密封有z*嚴(yán)格要求且要求z*長維修間隔的工藝該系列的大部分與標(biāo)準(zhǔn)系列相同，但是，其特點(diǎn)是額外的嚴(yán)密密封的磁耦合代替了徑向軸密封環(huán)。這意味著，它在操作中基本無磨損。泵的整體泄漏率小于1middot，10-6Pamiddot，m3middot，s-1。這排除了油泄漏的可能性，過程氣體和環(huán)境之間也不存在任何交換。M系列標(biāo)準(zhǔn)泵適合于Table4.19中顯示的所有應(yīng)用。此外，這些泵還可用于抽吸有毒氣體的工業(yè)/化學(xué)應(yīng)用以及超潔凈氣體應(yīng)用：例如，用于半導(dǎo)體行業(yè)中的CVD和PVD工藝或排空預(yù)真空鎖/傳輸室以及用于平面屏幕的生產(chǎn)。M系統(tǒng)可提供的大小范圍從250m3middot，h-1到6000m3middot，h-1。表4.19：OktaLine性能數(shù)據(jù)。

使用這些類型的泵站，可抽出水蒸氣以及很多溶劑蒸汽和氣體具有足夠高蒸氣壓且沒有化學(xué)分解泵油的其他蒸汽其中的例子包括醇類、鹵代烴類以及光的正構(gòu)烷烴等。。

一個(gè)軸由電機(jī)（1）驅(qū)動(dòng)另一軸通過齒輪室中的一對(duì)齒輪（6）同步進(jìn)行。潤滑僅限于兩個(gè)軸承和齒輪室，它們通過具有壓縮環(huán)的迷宮密封（5）與吸入室（8）密封開來。由于吸入室中無摩擦，羅茨真空泵可在高轉(zhuǎn)速（1500ndash，3000rpm）下操作。無往復(fù)運(yùn)動(dòng)質(zhì)量還能提供無故障的動(dòng)態(tài)平衡，這意味著，羅茨真空泵的運(yùn)轉(zhuǎn)極其安靜，盡管其具有高轉(zhuǎn)速。設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)子軸軸承安排在兩個(gè)側(cè)蓋中。它們?cè)谝粋?cè)被設(shè)計(jì)為固定軸承，在另一側(cè)被設(shè)計(jì)為可動(dòng)（松動(dòng)）軸承，以實(shí)現(xiàn)殼體和轉(zhuǎn)子之間不平衡熱膨脹。軸承使用通過飛濺圓盤置換到軸承和齒輪的油進(jìn)行潤滑。標(biāo)準(zhǔn)版本上驅(qū)動(dòng)軸饋通與外部通過浸入在密封油中、由FPM制成的徑向軸密封環(huán)密封。為保護(hù)軸，密封環(huán)在保護(hù)套上運(yùn)行，該保護(hù)套在磨損后可更換。如果與外部之間需要進(jìn)行嚴(yán)密密封，泵還可通過帶有罐裝置的永磁體耦合方式驅(qū)動(dòng)。