激光雕刻機之使用水環(huán)真空泵雕刻機的保養(yǎng)方法：　　　　1）水箱水位確定在上水閥能夠流出水即可；工作8個小時內(nèi)就需要注一次水（工作中水蒸發(fā)很快，水位會逐漸下降）；水位低于上水閥就必須馬上注水；嚴謹真空泵缺水運轉(zhuǎn)，缺水運轉(zhuǎn)過熱會造成機封漏水；　　　　2）過濾罐正確安裝，吸附管口接到進氣口處，用卡扣固定緊、防止漏氣；　　　　3）接線蓋打開，三相電分別引到U1/V1/W1三個接線柱上；　　　　4）電機進水閥打開，5分鐘后，保證電機泵體內(nèi)水注滿后在通電試運行；　　　　5）開動電機，及時檢查電機正反轉(zhuǎn)，反轉(zhuǎn)時把U1和V1處上的電源線交換一下就可以了；然后打開雕刻機吸附閥門、檢驗一下泵的吸力是否正常；　　　　6）真空吸附設(shè)備產(chǎn)品注意不要有粉塵落入真空系統(tǒng)，防治堵塞損壞真空泵，真空泵工作一周時間需要清洗過濾罐內(nèi)濾網(wǎng)；冬季保持室溫0℃以上，以防止真空泵內(nèi)循環(huán)水結(jié)冰而損壞真空泵；可以使用防凍液進行防凍處理；　　　　7）水箱內(nèi)水溫不要高于70deg，，在高溫下長時間工作會使氣量降低吸力下降，將會使密封圈過早老化，而導(dǎo)致真空泵漏水；　　　　8）水箱要經(jīng)常清洗，每周必須清洗一次。

由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓力高于蒸氣流中該氣體的分壓力，所以被抽氣體分子就不斷地擴散到蒸氣流中油蒸氣撞擊被抽氣體分子，使被抽氣體分子沿蒸氣流束的方向高速運動。氣體分子碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流的碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣流進行多級壓縮，z*后由前級真空泵抽走。而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到油鍋中重新被加熱，如此循環(huán)工作。。

這是長時間被抽氣體內(nèi)富含粉塵等，形成旋片和定子之間磨損后的空隙增大處理之道：查看空隙是不是過大，替換新的零部件。。

該例中，工作真空度1mbar低于1.5mbar，所以30升/秒的前級泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求　　另外應(yīng)當(dāng)考慮的是，對預(yù)抽時間的要求問題，如果正常工作時間遠比預(yù)抽時間長，可選較小的前級泵，假如真空室較大，而且要求很快預(yù)抽，就要用較大的前級泵，有時為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率，機組裝有較大的預(yù)抽泵，在正常工作后停掉它，而用較小的前級泵維持，這樣做是為了節(jié)約功率?！　α_茨真空泵機組的極限壓力的要求，也是選擇前級泵的必須考慮的，對極限真空度要求較高（達1X10-3Pa～1X10-2Pa壓力）一般選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作為前級泵。極限真空度要求在（1X10-2Pa～1X10-1Pa）之間可選用單級油封機械泵作為前級泵，極限真空度要求在133～1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵。　　當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時，前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作?！　∵x用前級泵時還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體，就不能選用油封機械泵，油封機械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體，否則將會使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機械泵作為前級泵?！　榱双@得在低入口壓力（1~100pa）時的高的抽氣速率，可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級機組，此時羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。。

因此，泵工作時，相互之間無磨擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點而日前，一種全新型干式螺桿真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功，用國產(chǎn)車床替代價格昂貴的國外設(shè)備生產(chǎn)出螺桿轉(zhuǎn)子，不僅節(jié)能30%，還具有設(shè)備易損件少、真空度高、抽速大、使用壽命長等特點，可在冶金、電子、石油化工、航空航天等100多個領(lǐng)域替代進口產(chǎn)品。　　。

國內(nèi)的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發(fā)研制工作，如東北大學(xué)、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級壓縮比）。不同類型的干式泵具有各自的特點。使用時可根據(jù)不同的用途加以選擇。。

它壓縮葉片和工作室之間的間隙，此外還通過熱傳遞確保z*佳溫度平衡多級泵旋片式真空泵是內(nèi)置的單級和兩極版。二極泵比單級泵實現(xiàn)相對更低的極限壓力。此外，氣鎮(zhèn)對極限壓力的影響較低，因為氣鎮(zhèn)僅允許在高壓力級使用。真空安全閥根據(jù)所涉及的泵類型，旋片式真空泵可能配備真空安全閥。真空安全閥在有意或意外停頓的情況下將泵與真空室隔離，并使用置換氣體對泵系統(tǒng)進行排氣，防止油液上升到真空室中。在開啟泵后，一旦泵中的壓力已達到真空室中的近似壓力，它稍作延遲就打開。。

1、激光器不能開啟2、激光器不能抽真空3、羅茨泵不能運轉(zhuǎn)或運轉(zhuǎn)3秒鐘后停車4、高壓不能開啟5、放電不能正常進行6、高壓開啟后立即被過流線路切斷

如果工作液的顏色達到了第6種顏色（從左邊數(shù)），必須立即更換工作液顏色的變化范圍適用于P3泵油。為防止該現(xiàn)象的發(fā)生，建議每12個月更換一次真空泵油。（4）如果用戶不確定使用的工作液是否耐工藝氣體，則需向生產(chǎn)商進行咨詢，以確定正確的工作液和泵設(shè)計。（5）當(dāng)抽取氧氣的濃度大于空氣中氧氣的含量，由于氧化和工作液老化的原因，不能使用礦物油。在這種情況下，必須使用經(jīng)過BAM認證適合于氧氣的特殊用油。此時，請注意，在泵的工作溫度下，所使用的工作液具有非常低的蒸汽壓力，因此在總壓力（油液的蒸汽壓力）的限制下，可實現(xiàn)所需的極限壓力。3、標(biāo)注進氣口和排氣管道的尺寸（1）進氣口和排氣口的公稱直徑是由生產(chǎn)商根據(jù)真空泵的泵速進行設(shè)計的。因此，進氣管道與真空泵的公稱直徑是否符合至關(guān)重要，否則由于電導(dǎo)損耗，尤其是在分子流范圍內(nèi)的電導(dǎo)損耗會導(dǎo)致泵速嚴重下降。排氣管道也要與泵的公稱直徑相一致，否側(cè)公稱尺寸過小或氣體流量過大都會導(dǎo)致不可接受的背壓，這給真空泵帶來持續(xù)的機械壓力，并導(dǎo)致泵的磨損和故障增加。另外，噪音水平也會顯著上升。

通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級　　從提高真空泵應(yīng)用能力的基礎(chǔ)上，對于產(chǎn)品整體應(yīng)用性的不斷發(fā)揮，可以加大對產(chǎn)品各方面發(fā)展的有效性，以發(fā)展的優(yōu)勢推動不斷擴大其應(yīng)用能力的加強，做好產(chǎn)品實用性基礎(chǔ)的擴展，以充分發(fā)揮其效果的實際應(yīng)用，做為產(chǎn)品品質(zhì)的各方面要求，是以不斷提高的方式帶動其運行的提升，充分發(fā)揮其各方面能力的不斷擴大，以促進產(chǎn)品整體利用率的提升?！　≌婵毡脵C組渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:①半導(dǎo)體行業(yè):薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備，②科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機、電子顯微鏡、真空泵機組極光試驗設(shè)備、分析測試儀器，③機械設(shè)備行業(yè):材料制備設(shè)備、真空檢測設(shè)備、真空過濾設(shè)備、材料提純設(shè)備、超高真空排氣設(shè)備，④醫(yī)療設(shè)備行業(yè):牙科儀器、透析機，生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備，⑤包裝行業(yè):食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備，⑥真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統(tǒng)的配置。它的主要運動件只有一個動渦旋盤，因而動力傳遞簡單，相同尺寸下運動半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、整機尺寸小，動、靜渦旋盤之間、動盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運動件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動損失小，工作可靠性高、壽命長，易于維修，維修費用低，容積效率高。采用空氣冷卻，無需水冷。。