由于通過吸附的氣體輸送，在范圍低于10-4hPa下使用羅茨泵不再可行具有各種前級泵的泵站的抽速和極限壓力表現(xiàn)如Figure4.19所示。該曲線清楚地表明，這種泵組合的抽速上升了8倍，其極限壓力相對于前級泵下降了15倍。。

因其可以直接在大氣壓下啟動，很多時候作為分子泵與小型低溫泵的前級泵出現(xiàn)。

　　XG-6型干式旋片真空泵外形及安裝尺寸見表3-116。

那么無油真空泵故障有哪些呢？面對這些棘手的問題，我們是否有相應(yīng)的解決辦法呢？　　1、泵不排液　　故障分析：灌泵不足；泵軸轉(zhuǎn)向不對；濾網(wǎng)堵塞，底閥不靈；　　解決辦法：重新灌裝；調(diào)整泵軸轉(zhuǎn)向；停機檢查，清楚雜物；　　2、泵排液后中斷　　故障分析：吸入管路漏氣；灌泵時吸入側(cè)氣體未排凈；吸入側(cè)突然被異物堵塞；　　解決辦法：檢查吸入管連接處及機械密封的密封情況；重新按要求灌泵；停機并清理雜物；　　3、流量不足　　故障分析：管路漏氣，漏液；阻力損失增加；葉輪磨損，堵塞，腐蝕；　　解決辦法：重新灌裝；調(diào)整泵軸轉(zhuǎn)向；停機檢查，清楚雜物；　　綜上所述，我們可以發(fā)現(xiàn)即使是同一個問題，產(chǎn)生的原因可能也不止一個，對于無油真空泵使用者來說，這不僅增大了解決問題的難度，同時也可能耽誤生產(chǎn)設(shè)備故障一直是設(shè)備使用過程中非常令人頭疼的問題，對于無油真空泵工作者來說，面對無油真空泵故障時，我們需要像戰(zhàn)士一樣去戰(zhàn)斗。。

①Z型系列油擴散噴射泵主要技術(shù)性能見表4-16　　　　　　　　②WZ系列臥式擴散噴射泵技術(shù)性能見表4-17　　　　該系列臥式擴散噴射泵為新型泵，具有先進的結(jié)構(gòu)和優(yōu)良的技術(shù)性能。主要特點：a.主泵擴散級為立式結(jié)構(gòu)，噴射級為臥式，能量損失小，裝拆維修方便。b.采用圓筒臥式油鍋，相對方形油鍋而言，油鍋壓力穩(wěn)定。c.油鍋內(nèi)設(shè)有不銹鋼快速水冷管，停止加熱60min后，通水冷卻60min即可關(guān)閉前級泵，節(jié)能降耗顯著。d.設(shè)有油標(biāo)觀察裝置，可直觀地觀察油量、油清潔度、油氧化程度，以便及時添加或更換油。e.特殊的前級冷凝結(jié)構(gòu)，使冷凝效果好，前級反壓力高。f.泵配有三點測溫孔，可對該泵或真空系統(tǒng)實現(xiàn)自動啟動和停泵的自動化控制?！　　　、踆L系列油擴散噴射泵技術(shù)性能見表4-18。。

這就是羅茨真空泵的分子作用原理。

在特殊泵版本（CV，可冷凝蒸汽）增加氣鎮(zhèn)吞吐量，可實現(xiàn)水蒸汽耐受性約為100hPa，水蒸氣的能力為700至1000gmiddot，h-1，這取決于環(huán)境溫度至于旋片式真空泵：在排空蒸汽前，泵體必須用氣鎮(zhèn)預(yù)熱至少半個小時。較高溫度的泵體減少冷凝。減少冷凝的其他方法包括獲得盡可能低的出口壓力及分別排出冷凝物。必須使用垂直排氣管道防止出口處的背壓。如有有萃取系統(tǒng)，應(yīng)將出口與其連接。灰塵和粒子如果沒有對大粒子物質(zhì)的進入進行控制，在z*壞情況下，ACP系列多級羅茨泵可堵塞并徹底失效。為此，在含塵工藝或如玻璃制造中，在進氣側(cè)安裝過濾器以防止造成破壞。腐蝕性氣體ACP系列泵不適合于抽空大量的腐蝕性氣體。在這方面多級羅茨泵可用于半導(dǎo)體、太陽能和涂料行業(yè)中的腐蝕性氣體工藝（見第4.6節(jié)）。然而，ACP系列泵至少可用于處理少量的腐蝕性氣體。

沖洗裝置沖洗裝置可用于在吸入室有沉積物形成的過程該裝置的設(shè)計可根據(jù)具體要求與客戶進行單獨協(xié)調(diào)。標(biāo)準泵的沖洗裝置要求使用密封氣體，防止沖洗液體達到軸承或齒輪室。表面保護如果要泵送的介質(zhì)是腐蝕性的，可為與產(chǎn)品接觸的部件提供耐用的表面保護。等離子聚合物薄膜層系統(tǒng)包括一個粘接劑層、一個防腐蝕保護層和一個非粘性涂層。層的厚度小于1mm。根據(jù)要求，吸入室可被磷酸化、使用氮排空以及進行真空密封，以便提供短期表面保護，如用于倉儲和運輸。密封件羅茨真空泵出廠配置FKM制成的O型圈。對于特殊的應(yīng)用，所有的泵都可配置具體的O型圈或相應(yīng)應(yīng)用要求的密封件。。

無油往復(fù)活塞式真空泵的構(gòu)造和原理與往復(fù)式壓縮機相同，但它們的目的不同壓縮機是為了提高氣體的壓強，而w型往復(fù)活塞式真窄泵則是為了降低入口氣體的壓強，從而得到盡可能高的真空度。無油往復(fù)活塞式真空泵的構(gòu)造與往復(fù)式壓縮機相同，是由泵體、氣缸、氣閥組件、活塞、活塞桿、十字頭、連桿、曲軸等零件組成。。

當(dāng)園地影響而導(dǎo)致循環(huán)用水壓力不夠時可以外加增長泵對管道增長，從而讓真空泵的供水量富足從理論上來講，真空便是不存在任何物質(zhì)的空間狀態(tài)。人們通常用帕斯卡或托爾做為壓力的單位。而我們說到工業(yè)真空并不是指不存在任何物質(zhì)的空間，以現(xiàn)在的科學(xué)技能還無法到達絕對的真空狀態(tài)。它是指具有稀薄的氣體狀態(tài)氣壓且比一尺度大氣壓小的氣體空間。一樣平常環(huán)境，一臺真空泵、一個汽水疏散器、一個真空罐和、電壓力表和控制柜都可以組成一個簡略的真空機組體系。但在抽宇量多的環(huán)境下可以增長幾臺真空泵并聯(lián)利用，同樣在真空罐上配有遠傳壓力表來監(jiān)控真空的變革環(huán)境，議決智能控制柜時時調(diào)解真空泵的啟停，同樣也可以將這套理論套用至旋片式真空泵的原理上來。。