它由濺射離子泵，分子篩吸附泵，機械泵和一些超高真空閥組成。分子篩吸附泵或機械泵為濺射離子泵提供必要的啟動壓力，并在冷凝泵的初始烘烤階段充當排氣泵。啟動濺射離子泵后，系統(tǒng)的真空度可達到10 ^ 7Pa。