外延技術(shù)是制備納米半導(dǎo)體薄膜的新技術(shù)。利用這種技術(shù)，可以制備具有完全相同的晶體取向和襯底以及完整的字符結(jié)構(gòu)的納米半導(dǎo)體單晶薄膜。典型的外延技術(shù)包括氣相外延（VPE），液相外延（LPE）和分子束外延（MBE）。近年來(lái)，諸如金屬有機(jī)氣相外延（MOCPE），等離子體輔助外延（IV正），原子層外延（ALE），選擇性區(qū)域外延（SAE）和金屬有機(jī)分子束外延等技術(shù)，或化學(xué)束外延技術(shù)（CBE）已經(jīng)應(yīng)用于納米技術(shù)。半導(dǎo)體薄膜的制備越來(lái)越受到關(guān)注。