污染抽真空室時(shí)，必須清潔真空室以盡快達(dá)到所需壓力。真空系統(tǒng)中的典型污染物包括：■真空系統(tǒng)產(chǎn)生的殘留物表面，螺釘和密封上的油脂■■與應(yīng)用相關(guān)的污染物過(guò)程反應(yīng)產(chǎn)物，灰塵和顆?！雠c環(huán)境相關(guān)的污染物冷凝蒸汽，尤其是被吸收的水分在容器壁上。因此，在安裝真空設(shè)備時(shí)必須確保組件盡可能清潔。真空室內(nèi)安裝的所有組件必須清潔且無(wú)油脂。安裝的所有密封件必須是干燥的。如果不可避免地要使用真空潤(rùn)滑脂，而僅僅是密封安裝而不是密封劑，則必須格外小心。如果要產(chǎn)生高真空或超高真空，則在組裝過(guò)程中必須戴上干凈，無(wú)絨且無(wú)粉塵的手套。