在Pascal系列中，抽氣速度在5至21m3middot（h-1）之間的旋片式真空泵具有內置的交流或直流電動機。入口和出口法蘭可以垂直或水平完美結合，也可以連接附件。除標準范圍外，I系列還提供強制潤滑和兩種不同腐蝕性氣體。 SD系列設計用于非腐蝕性氣體。天然潤滑（泵送速度為21m3middot，h-1）。在長期運行期間，泵的低溫可將z *最終壓力下的回流降低到z *低。就像其他泵的抽速為21m3middot（h-1）一樣，無需拆開泵體就可以接近泵軸密封件，因此現(xiàn)場維護非常容易。 I系列I系列泵配有強制潤滑。與SD系列相比，這提高了耐水蒸氣性。強制潤滑可使I系列達到極低的噪音水平和低振動。由于C1系列FPM密封件和鍍鉻軸以及外殼，葉片，套筒和觀察鏡使用的特殊材料，C1系列的強制潤滑泵特別適合腐蝕性氣體應用。該系列的兩個z *大型型號還集成了機油濾清器和機油箱沖洗裝置。 C1系列裝有礦物油。 C2系列C2系列泵還配備了強制潤滑。這些泵在使用防腐氣體設備，帶軸承潤滑的泵，用于對工作流體進行脫氣的中性氣體沖洗設備以及特殊葉片材料方面優(yōu)于C1系列。該系列的兩個z *大型型號還配備了機油壓力傳感器和機油溫度傳感器的連接。借助這種防腐氣體設備，PascalC2泵特別適合在半導體制造中使用蝕刻和涂層工藝。 C2系列配備了全氟化工作液。